Химическое нанесение покрытия путем разложения газообразных соединений, причем продукты реакции материала поверхности не остаются в покрытии, т.е. способы химического осаждения паров (ХОП): ...с использованием пульсирующих разрядов – C23C 16/515
Патенты в данной категории
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
Изобретение относится к устройству и способу для нанесения покрытия методом химического осаждения из газовой фазы (CVD) и может найти использование при изготовлении пластмассовых контейнеров с защитным покрытием. Устройство содержит транспортерное средство, по меньшей мере одну станцию для нанесения покрытия на по меньшей мере две обрабатываемые детали, по меньшей мере одно средство вакуумирования и средства для генерации плазмы по меньшей мере в одном подрайоне станции нанесения покрытия. Имеется устройство для соединения средства для генерации электромагнитных волн с по меньшей мере одной станцией для нанесения покрытия. Транспортерное средство выполнено с возможностью перемещения по меньшей мере одной станции нанесения покрытия. Изобретение позволяет осуществить более экономически выгодное нанесение CVD покрытия в процессе его длительного нанесения. 2 н. и 26 з.п. ф-лы, 4 ил. |
2338006 патент выдан: опубликован: 10.11.2008 |
|