Химическое нанесение покрытия путем разложения газообразных соединений, причем продукты реакции материала поверхности не остаются в покрытии, т.е. способы химического осаждения паров (ХОП): ...с использованием пульсирующих разрядов – C23C 16/515

МПКРаздел CC23C23CC23C 16/00C23C 16/515
Раздел C ХИМИЯ; МЕТАЛЛУРГИЯ
C23 Покрытие металлических материалов; покрытие других материалов металлическим материалом; химическая обработка поверхности; диффузионная обработка металлического материала; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще; способы предотвращения коррозии металлического материала, образования накипи или корок вообще
C23C Покрытие металлического материала; покрытие других материалов металлическим материалом; поверхностная обработка металлического материала диффузией в поверхность путем химического превращения или замещения; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще
C23C 16/00 Химическое нанесение покрытия путем разложения газообразных соединений, причем продукты реакции материала поверхности не остаются в покрытии, т.е. способы химического осаждения паров (ХОП)
C23C 16/515 ...с использованием пульсирующих разрядов

Патенты в данной категории

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

Изобретение относится к устройству и способу для нанесения покрытия методом химического осаждения из газовой фазы (CVD) и может найти использование при изготовлении пластмассовых контейнеров с защитным покрытием. Устройство содержит транспортерное средство, по меньшей мере одну станцию для нанесения покрытия на по меньшей мере две обрабатываемые детали, по меньшей мере одно средство вакуумирования и средства для генерации плазмы по меньшей мере в одном подрайоне станции нанесения покрытия. Имеется устройство для соединения средства для генерации электромагнитных волн с по меньшей мере одной станцией для нанесения покрытия. Транспортерное средство выполнено с возможностью перемещения по меньшей мере одной станции нанесения покрытия. Изобретение позволяет осуществить более экономически выгодное нанесение CVD покрытия в процессе его длительного нанесения. 2 н. и 26 з.п. ф-лы, 4 ил.

2338006
патент выдан:
опубликован: 10.11.2008
Наверх