Химическое нанесение покрытия путем разложения газообразных соединений, причем продукты реакции материала поверхности не остаются в покрытии, т.е. способы химического осаждения паров (ХОП): ....с использованием внутренних электродов – C23C 16/509

Изобретение относится к устройству для вакуумной плазменной обработки гибкого обрабатываемого целевого изделия. Камера (15) способна поддерживать состояние вакуума. Первый электрод (18) в форме ролика установлен в камере (15) с возможностью вращения. Электрод (18) имеет часть, с которой гибкое обрабатываемое целевое изделие (5) находится в контакте, и часть, с которой изделие (5) не находится в контакте. Блок (20) газоснабжения включает в себя второй электрод (23), установленный напротив первого электрода (18) в камере и способный подавать технологический газ в область между изделием (5) и вторым электродом (23). Третий электрод (6) имеет поверхность, расположенную напротив части первого электрода (18), с которой изделие (5) не находится в контакте. Источник (3) переменного тока для подачи напряжения переменного тока в область между третьим электродом (6) и первым электродом (18). Напряжение переменного тока подают к роликовому электроду (18) неконтактным образом, поэтому износ, вызываемый контактом, не происходит, и, таким образом, достигается повышение срока службы электродов. 7 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к устройству и способу для создания барьерной пленки на внутренней поверхности обрабатываемого контейнера (12) (варианты) и контейнеру с покрытием барьерной пленкой (варианты), создающей барьер против проникновения газа в контейнере, например, из полимерного материала. Контейнер (12) имеет вогнутый или выпуклый участок (12а). Диэлектрический элемент (50) устройства имеет полость, размеры которой позволяют заключить в нее указанный контейнер (12). Наружный электрод (13) закрывает наружный контур указанного диэлектрического элемента (50). Устройство откачки установлено на торцевой поверхности указанного наружного электрода (13), где находится горлышко (11) указанного контейнера (12). Между устройством откачки и торцевой поверхностью помещен изолятор (26). Давление внутри указанного контейнера снижается через откачную трубку (14). Внутренний электрод (17) вставлен со стороны указанной откачной трубки (14) и служит устройством для выпуска газа, выпускающим газообразное рабочее вещество (19) для создания барьерной пленки внутрь указанного контейнера (12). Устройство для подачи электрического поля подает электрическое поле для зажигания электрического разряда между указанным наружным электродом (13) и заземленным электродом. Изобретение позволяет формировать равномерную пленку на контейнере с вогнутыми и выпуклыми поверхностями. 15 н. и 23 з.п. ф-лы, 38 ил., 3 табл.

Внутренний электрод для формирования защитной пленки представляет собой внутренний электрод для формирования защитной пленки, который вставлен внутрь пластикового контейнера с отверстием, подает газовую среду внутрь пластикового контейнера, подает высокочастотную энергию к внешнему электроду, расположенному вне пластикового контейнера, тем самым образуется плазма разряда на внутренней поверхности пластикового контейнера с целью формирования защитной пленки на внутренней поверхности пластикового контейнера. Внутренний электрод для формирования защитной пленки содержит трубку подачи газа, содержащую путь прохождения газа и предназначенную для подачи газовой среды, и изоляционный элемент, который так вкручен в концевую часть трубки подачи газа, что он расположен с ней заподлицо, и который содержит газоотвод, сообщающийся с путем прохождения газа. 4 н. и 8 з.п. ф-лы, 9 ил.

Изобретение относится к технологии изготовления многослойного электрода для выделения газа и может быть использовано в различных электрохимических процессах, включая электрометаллургию меди, обработку сточных вод и водопроводной воды. Способ включает нанесение на подложку из вентильного металла в, по меньшей мере, двух попеременных циклах раствора, содержащего предшественник, по меньшей мере, одного благородного металла или его оксида и раствора, содержащего предшественник, по меньшей мере, одного оксида неблагородного переходного металла с промежуточной термообработкой между покрытиями и завершающую термообработку при 300-700°С. Соотношение между неблагородным переходным металлом и благородным металлом является определенным и различным в указанных слоях. Причем соотношение между неблагородным переходным металлом и благородным металлом является более высоким в наружном защитном слое, чем в промежуточном слое активации. Анод получают указанным способом из растворов, содержащих тантал, иридий, олово, сурьму и/или медь в различных соотношениях. Ячейка для нанесения гальванических покрытий из металла и для обработки сточных вод содержит электролитическую ванну и вышеупомянутый анод. Изобретение позволяет значительно увеличить срок службы анода и электрода для выделения газа. 5 н. и 11 з.п. ф-лы.