Химическое нанесение покрытия путем разложения газообразных соединений, причем продукты реакции материала поверхности не остаются в покрытии, т.е. способы химического осаждения паров (ХОП): ..прохождение реакционноспособных газов через форсунки или горелки, например ХОП при атмосферном давлении – C23C 16/453

Изобретение относится к способу химического осаждения из паровой фазы для нанесения покрытия из оксида цинка, имеющего низкое удельное сопротивление, на прозрачное изделие и изделие с покрытием, изготовленное этим способом. Способ, в котором используют перемещаемую прозрачную основу с поверхностью, имеющей температуру не более 400°С, и подают смесь исходных веществ из газовой смесительной камеры. Смесь исходных веществ включает цинксодержащее соединение и одно или более кислородсодержащих соединений. Цинксодержащее соединение и соединения, являющиеся источником кислорода, перемешивают вместе в смесительной камере в течение промежутка времени менее 500 мс до выхода смеси исходных веществ из смесительной камеры и ее контакта с поверхностью подложки, так что на этой поверхности формируется покрытие из оксида цинка посредством химического осаждения из паровой фазы при атмосферном давлении и скорости осаждения по меньшей мере 5 нм/с. Получается покрытие, обладающее высоким коэффициентом пропускания излучения в видимой области спектра, низкой излучательной способностью и/или солнцезащитными свойствами, высокой электропроводностью или низким удельным поверхностным сопротивлением слоя. 2 н. и 15 з.п. ф-лы, 1 ил., 1 табл., 21 пр.