Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей: ..для позиционирования, ориентирования и центрирования – H01L 21/68

Изобретение относится к контрольно-испытательному оборудованию изделий электронной техники, а именно к устройствам для сортировки на группы по вольт-амперным характеристикам (ВАХ) фотопреобразователей (ФП) в спутниках, и может быть использовано при производстве фотоэлектрических панелей. Устройство содержит вертикальный пенал для сортируемых ФП с механизмом выгрузки и подачи изделий по транспортирующему горизонтальному каналу в узел контактирования, солнечный имитатор, измеритель ВАХ, узел позиционирования в виде горизонтального поворотного диска с приемными гнездами для изделий, приемные вертикальные пеналы в количестве N групп сортировки и загрузочные толкатели для загрузки последних. Приемные пеналы выполнены с возможностью загрузки изделий снизу вверх, толкатели установлены оппозитно их входным отверстиям. Приемные сквозные гнезда выполнены в количестве N плюс одно для загрузки изделия на диск узла позиционирования. Узел позиционирования установлен между приемными пеналами и толкателями и снабжен приводом поворота с фиксированным шагом, равным углу 360°/(N+l). Технический результат - повышение производительности и сокращение брака за счет механических повреждений ФП. 2 ил.

Изобретение относится к нанотехнологиям. Способ включает эксфолиацию заготовок из слоистых кристаллических материалов, закрепленных с одной стороны на опоре из глипталя, с использованием клейкой ленты, глипталь по окончании эксфолиации растворяют в ацетоне, где образуется взвесь кристаллических пластин (слоев) халькогенидов металлов, которые выделяют из взвеси путем осаждения их на подложку. Изобретение позволяет получать слои наноразмерной толщины из слоистых кристаллов с возможностью последующего осаждения на различные подложки. 3 ил., 2 пр.

Изобретение относится к солнечной энергетике, а именно к технологическому оборудованию для производства фотоэлектрических панелей, и, в частности, технологической таре для хрупких пластин фотопреобразователей (ФП) при позиционировании, фиксации, обработке, транспортировании, контроле, испытаниях и хранении. Спутник-носитель пластин ФП имеет жесткий корпус из изоляционного материала в виде рамки с опорными выступами для размещения пластины, пазами для контактов и выемками для не менее трех фиксирующих и двух базирующих элементов. Последние выполнены с возможностью пружинного контакта с торцами пластины. Фиксирующие и базирующие элементы могут быть выполнены в виде цилиндра на пружинном держателе из материала корпуса. При этом поверхность цилиндра фиксирующего элемента в зоне контакта с торцевой поверхностью пластины скошена с образованием острого угла с плоскостью пластины. Изобретение обеспечивает простоту конструкции спутника-носителя и возможность автоматического позиционирования, надежность фиксации и беспрепятственный доступ к рабочей поверхности пластины 2 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к устройству и способу управления температурой поверхности, по меньшей мере, одной подложки, лежащей в технологической камере реактора CVD. Подложка размещена в опорной выемке (20) опоры держателей подложки на удерживаемом образованной газовым потоком динамической газовой подушкой (8) держателе подложки (9). Подвод тепла к подложке (9) осуществляют, по меньшей мере, частично с помощью теплопроводности через газовую подушку. Для уменьшения боковых отклонений температуры поверхности подложки от среднего значения образующий газовую подушку (8) газовый поток создают из двух или более газов с различно высокой удельной теплопроводностью и состав газов изменяют в зависимости от измеренных температур подложки. В результате достигается эффективное уменьшение боковых отклонений температуры поверхности подложки от среднего значения и соответственно повышается качество получаемого покрытия. 2 н. и 14 з.п. ф-лы, 5 ил.

Предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в транспортировочный держатель. Половину пластин в виде первого штабеля переносят из транспортировочного держателя в позицию готовности, находящуюся за его пределами. Другую половину пластин в виде второго штабеля выводят из транспортировочного держателя. Второй штабель поворачивают таким образом, что полупроводниковые пластины второго штабеля оказываются в повернутом на 180° положении относительно положения полупроводниковых пластин первого штабеля. Второй штабель полупроводниковых пластин переносят к позиции первого штабеля полупроводниковых пластин, ориентируют относительно него и объединяют с первым штабелем полупроводниковых пластин, прикладывая нелегируемые стороны согласованных друг с другом первого и второго штабелей полупроводниковых пластин друг к другу. В качестве транспортирующего устройства для штабелей используют модуль с вакуумным захватом с захватными гребенками и центрирующим устройством. Увеличивается плотность упаковки в технологической лодочке и повышается производительность диффузионного процесса. 3 н. и 3 з.п. ф-лы, 12 ил.

Изобретение относится к технологии нанесения покрытий и может быть использовано в качестве приспособления для закрепления пластинчатых деталей в технологическом оборудовании при нанесении на пластинах различных покрытий и тонких пленок, например на подложках полупроводниковых элементов. Техническим результатом является возможность нанесения покрытия на обе стороны пластины как на вакуумных, так и в объемных установках. Приспособление для закрепления пластины содержит основание и установленные на нем держатели в виде пружинистой скобы, прижимное плечо которых наклонено в плоскости держателя с дополнительным изгибом на конце, для чего в основании выполнены паз и отверстие, которые геометрическими осями расположены в плоскости держателя, последний прижимным плечом размещен в пазу и пружинит относительно опорного плеча, размещенного в отверстии, на конце которого выполнен изгиб для закрепления держателя в отверстии основания. Дополнительный изгиб на конце прижимного плеча выполнен в плоскости держателя в сторону, противоположную наклону прижимного плеча, с возможностью отжима его торцом пластины при укладке ее на основание. Держатель изготовлен из пружинной проволоки или из пружинной пластины. 18 з.п. ф-лы, 13 ил.

Изобретение относится к электростатическому держателю, используемому для обработки подложек, таких как полупроводниковые пластины. Сущность изобретения: электростатический держатель для использования в вакуумной камере высокотемпературной обработки содержит корпус держателя, содержащий электростатический фиксирующий электрод и нагревательный элемент, при этом электрод выполнен с возможностью электростатического фиксирования подложки на наружной поверхности корпуса держателя, теплопередающий корпус, отделенный от корпуса держателя камерой повышенного давления, расположенной между находящимися на расстоянии друг от друга поверхностями корпуса держателя и теплопередающего корпуса, при этом теплопередающий корпус выполнен с возможностью отвода тепла от корпуса держателя через теплопроводный газ в камере повышенного давления, и прикрепленный съемно расширительный узел, соединяющий наружную периферию корпуса держателя с теплопередающим корпусом, при этом расширительный узел согласовывает различное тепловое расширение корпуса держателя и теплопередающего корпуса. Предложены также способ обработки подложки и расширительный узел электростатического держателя. Техническим результатом изобретения является создание держателя улучшенной конструкции, удовлетворяющего требованиям циклической тепловой нагрузки. 3 н. и 27 з.п. ф-лы, 6 ил.

Лодочка для удержания кремниевых пластин при изготовлении полупроводниковых приборов относится к устройствам, предназначенным для удержания кремниевых пластин во время термообработки. Лодочка состоит из четырех параллельных кварцевых стержней с нарезанными в них пазами, соединенных между собой определенным образом, где два стержня расположены выше по отношению к двум другим стержням, причем горизонтальные оси поперечного сечения двух верхних стержней находятся на высоте горизонтальной оси кремниевых пластин равной 0,5 диаметра пластины, пазы верхних стержней имеют П-образную форму, а пазы нижних стержней имеют V-образную форму. Технический результат заключается в том, что при такой конструкции лодочки исключаются потери пластин на операции перегрузки пластин. 1 ил.