Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей: ..для транспортировки, например между различными рабочими местами – H01L 21/677

Изобретение относится к устройству для перемещения подложек согласно технологии производства микропроцессорной техники без образования частиц в миниатюрных рабочих средах в условиях чистого помещения. Устройство для перемещения подложек выполнено с возможностью перемещения подложки вдоль нескольких осей с помощью манипулятора, снабженного на своем свободном конце электромагнитной подвижной вилкой, причем манипулятор расположен на подъемно-вращательном узле, электромагнитная направляющая опора снабжена активным подвижным элементом, который установлен на неподвижном пассивном элементе с помощью закрепленных в поперечном направлении магнитных опор, которые удерживают активный подвижный элемент на пассивном элементе в равновесии и в подвешенном состоянии, при этом активный элемент снабжен подъемно-вращательным узлом, который содержит внешнюю трубку, вертикально закрепленную на активном элементе, внутри внешней трубки расположены магнитные опоры, установленные с равными интервалами на внутренней поверхности внешней трубки для бесконтактного направления внутренней трубки в вертикальном направлении между двумя крайними положениями. Изобретение позволяет осуществлять перемещение подложек без трения и, следовательно, без образования частиц. 20 з.п. ф-лы, 14 ил.

Изобретение относится к устройствам для удержания полупроводниковых пластин во время транспортировки в процессе изготовления. Сущность изобретения: кассета для групповой транспортировки полупроводниковых пластин содержит четыре фторопластовых стержня с пазами и два крепления с торцов стержней, каждый из четырех стержней представляет собой фторопластовую трубу с плотной резиновой вставкой по всей длине трубы, толщина стенки трубы составляет (30-40)% глубины пазов, глубина всех пазов одинаковая, два боковых стержня размещены по бокам располагаемых в кассете полупроводниковых пластин, один нижний стержень, выполняющий роль дна кассеты, размещен внизу располагаемых в кассете полупроводниковых пластин, пазы в обоих боковых стержнях имеют в сечении П-образную форму, ширина боковых пазов больше толщины пластины на 50-70%, глубина боковых пазов составляет 2-4,5 ширины боковых пазов, пазы в нижнем стержне для размещения пластин имеют в сечении форму полукруга с радиусом, составляющим 0,6-0,8 толщины пластины, четвертый стержень также выполнен с пазами, форма пазов в четвертом стержне является зеркальным отражением формы пазов в нижнем стержне для обеспечения фиксации пластин в процессе транспортировки, при этом пазы во фторопластовой трубе и резиновой вставке каждого стержня сформированы одновременно за один рез. Изобретение обеспечивает исключение потерь пластин на операции транспортировки при обеспечении ускорения и возможности свободы манипулирования.

Изобретение относится к устройствам для удержания полупроводниковых пластин во время транспортировки в процессе изготовления. Сущность изобретения: кассета для групповой транспортировки полупроводниковых пластин содержит четыре фторопластовых стержня с пазами и два крепления с торцов стержней, каждый из четырех стержней представляет собой фторопластовую трубу с плотной резиновой вставкой по всей длине трубы, толщина стенки трубы составляет (30-40)% глубины пазов, глубина всех пазов одинаковая, два боковых стержня размещены по бокам располагаемых в кассете полупроводниковых пластин, один нижний стержень, выполняющий роль дна кассеты, размещен внизу располагаемых в кассете полупроводниковых пластин, пазы в обоих боковых стержнях имеют в сечении П-образную форму, ширина боковых пазов больше толщины пластины на 30-50%, пазы в нижнем стержне имеют в сечении форму перевернутой равнобедренной трапеции так, что верхнее (большее) основание трапеции больше толщины полупроводниковой пластины на (100-120)%, а нижнее (меньшее) основание трапеции при этом больше толщины пластины на (30-50)%, четвертый стержень также выполнен с пазами, форма пазов в четвертом стержне является зеркальным отражением формы пазов в нижнем стержне, при этом пазы во фторопластовой трубе и резиновой вставке каждого стержня сформированы одновременно за один рез. Изобретение позволяет исключить потери пластин на операции транспортировки за счет исключения залипания пластин в пазах, при одновременном ускорении проводимых перемещений и повышении свободы манипулирования.

Изобретение относится к транспортной и операционной таре изделий микроэлектроники, в частности к кассетам для технологических спутников фотопреобразователей (ФП), и может быть использовано в испытательном и сборочном оборудовании при изготовлении солнечных батарей. Технический результат - повышение надежности загрузки и выдачи спутников, сокращение брака за счет исключения травмирования ФП, снижение веса корпуса за счет уменьшения толщины боковых стенок. Достигается тем, что кассета содержит трехстенный корпус с продольными ребрами жесткости и направляющими выступами на боковых стенках соответственно с наружной и внутренней поверхностей и фиксаторы спутников. Последние выполнены в виде пары поворотных упоров с общей горизонтальной осью. Размещены упоры в окнах симметрично относительно продольной и поперечной осей на каждой из боковых стенок. Горизонтальные оси фиксаторов закреплены с наружной стороны стенок на опорах в виде ползунов, выполненных с возможностью перемещения по продольным ребрам жесткости с профилем «ласточкин хвост». Окна выполнены с возможностью установки в их проемах концов упоров при вертикальном перемещении осей и повороте упоров фиксатор. Кассета может быть снабжена элементами для штабелирования в виде выступов на крайних ребрах жесткости. 3 з.п. ф-лы, 4 ил.

Предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в транспортировочный держатель. Половину пластин в виде первого штабеля переносят из транспортировочного держателя в позицию готовности, находящуюся за его пределами. Другую половину пластин в виде второго штабеля выводят из транспортировочного держателя. Второй штабель поворачивают таким образом, что полупроводниковые пластины второго штабеля оказываются в повернутом на 180° положении относительно положения полупроводниковых пластин первого штабеля. Второй штабель полупроводниковых пластин переносят к позиции первого штабеля полупроводниковых пластин, ориентируют относительно него и объединяют с первым штабелем полупроводниковых пластин, прикладывая нелегируемые стороны согласованных друг с другом первого и второго штабелей полупроводниковых пластин друг к другу. В качестве транспортирующего устройства для штабелей используют модуль с вакуумным захватом с захватными гребенками и центрирующим устройством. Увеличивается плотность упаковки в технологической лодочке и повышается производительность диффузионного процесса. 3 н. и 3 з.п. ф-лы, 12 ил.

Изобретение относится к устройствам для удержания полупроводниковых пластин во время транспортировки в процессе изготовления. Сущность изобретения: кассета для групповой транспортировки полупроводниковых пластин выполнена из четырех фторопластовых стержней, два боковых стержня размещены по бокам располагаемых в кассете полупроводниковых пластин и один нижний стержень, выполняющий роль дна кассеты, размещен внизу располагаемых в кассете полупроводниковых пластин, боковые стержни размещены так, что их продольные оси и центры обрабатываемых в кассете пластин находятся в одной плоскости, пазы в стержнях совмещены таким образом, что обеспечивают размещение каждой обрабатываемой пластины в вертикальной плоскости, перпендикулярной продольным осям стержней, пазы в обоих боковых стержнях имеют П-образную форму, крепления с торцов стержней выполнены с возможностью закрепления в них, после размещения в кассете полупроводниковых пластин, четвертого стержня, выполняющего роль крышки, при этом четвертый стержень также выполнен с пазами, совмещенными с пазами в боковых и нижнем стержнях, форма пазов в четвертом стержне является зеркальным отражением формы паза в нижнем стержне для обеспечения фиксации пластин в процессе транспортировки. Изобретение обеспечивает исключение потерь пластин при транспортировке за счет исключения залипания пластин в пазах после высокотемпературных операций, а также при перегрузке пластин.

Изобретение относится к устройствам для удержания полупроводниковых пластин во время транспортировки в процессе изготовления. Сущность изобретения: кассета для групповой транспортировки полупроводниковых пластин выполнена из четырех фторопластовых стержней, два боковых стержня размещены по бокам располагаемых в кассете полупроводниковых пластин и один нижний стержень, выполняющий роль дна кассеты, размещен внизу располагаемых в кассете полупроводниковых пластин, боковые стержни размещены так, что их продольные оси и центры обрабатываемых в кассете пластин находятся в одной плоскости, пазы для размещения каждой полупроводниковой пластины совмещены таким образом, что находятся в одной вертикальной плоскости, и выполнены для размещения пластин в этой плоскости, перпендикулярной оси стержней, пазы в обоих боковых стержнях имеют П-образную форму, крепления с торцов стержней выполнены с возможностью закрепления в них, после размещения в кассете полупроводниковых пластин, четвертого стержня, выполняющего роль крышки, при этом четвертый стержень также выполнен с пазами, совмещенными с пазами в боковых и нижнем стержнях, форма пазов в четвертом стержне является зеркальным отражением формы паза в нижнем стержне для обеспечения фиксации пластин в процессе транспортировки. Изобретение обеспечивает исключение потерь пластин при транспортировке за счет исключения залипания пластин в пазах.