Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей: ..с использованием специальных держателей – H01L 21/673

Предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в транспортировочный держатель. Половину пластин в виде первого штабеля переносят из транспортировочного держателя в позицию готовности, находящуюся за его пределами. Другую половину пластин в виде второго штабеля выводят из транспортировочного держателя. Второй штабель поворачивают таким образом, что полупроводниковые пластины второго штабеля оказываются в повернутом на 180° положении относительно положения полупроводниковых пластин первого штабеля. Второй штабель полупроводниковых пластин переносят к позиции первого штабеля полупроводниковых пластин, ориентируют относительно него и объединяют с первым штабелем полупроводниковых пластин, прикладывая нелегируемые стороны согласованных друг с другом первого и второго штабелей полупроводниковых пластин друг к другу. В качестве транспортирующего устройства для штабелей используют модуль с вакуумным захватом с захватными гребенками и центрирующим устройством. Увеличивается плотность упаковки в технологической лодочке и повышается производительность диффузионного процесса. 3 н. и 3 з.п. ф-лы, 12 ил.