Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей: .......из органических веществ, например слоев фоторезиста – H01L 21/47
Раздел H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
H01 Основные элементы электрического оборудования
H01L Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам
H01L 21/00 Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей
H01L 21/47 .......из органических веществ, например слоев фоторезиста
Патенты в данной категории
| ЭЛЕКТРОМАГНИТ ДЛЯ СОЗДАНИЯ СТРУКТУРИРОВАННОГО МАГНИТНОГО ПОЛЯ, УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОТЖИГА КРИСТАЛЛОВ БЕРИЛЛА И СПОСОБ ЕГО РАБОТЫ Изобретение относится к термообработке кристаллов и может быть использовано в ювелирной промышленности. Электромагнит содержит обмотку, размещенную на тороидальной катушке, радиусы которой относятся как R1 : R2 = 1 : 2, последовательно соединенные сектора уложены на катушку по образующей поверхности тора, их ширина с шириной зон, свободных от обмотки, относится по "золотому сечению" S1 : S2 = 3 : 5. В устройстве для отжига кристаллов имеется электромагнит, теплоизолирующий корпус печи, рабочая камера с помещенными в ней образцами и электродом и источник питания. Нагреватель выполнен немагнитным в виде бифилярной обмотки. Кристаллы берилла очищают от загрязняющих примесей, промывают в дистиллированной воде, сушат в сушильном шкафу при 105 - 120oC в течение 24 - 72 ч. Затем подвергают протонированию в расплавленной бензойной кислоте при 130 - 140°С. Далее образцы помещают в рабочую камеру печи и ведут нагрев со скоростью 5 - 15 град/ч до 450 - 500°С с последующей выдержкой при этой температуре 24 - 72 ч. Образцы охлаждают в печи со скоростью 5 - 15 град/ч до комнатной температуры. Одновременно с нагревом в печи образцы экспонируют в постоянном магнитном поле напряженностью 400 - 450 А/м и электростатическом поле напряженностью 3000 В/м. После охлаждения образцы выдерживают в воде 72 - 120 ч и сравнивают с эталоном. Технический результат заключается в восстановлении природных свойств естественных кристаллов из отбракованного сырья и увеличение выхода годных и использованных кристаллов. 3 н.п. ф-лы, 9 ил., 1 табл. | 2145453 патент выдан: опубликован: 10.02.2000 |
|