Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей: ......для образования на них диэлектрических слоев, например для маскирования или с использованием фотолитографической технологии, последующая обработка этих слоев – H01L 21/469
Раздел H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
H01 Основные элементы электрического оборудования
H01L Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам
H01L 21/00 Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей
H01L 21/469 ......для образования на них диэлектрических слоев, например для маскирования или с использованием фотолитографической технологии; последующая обработка этих слоев