Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей: ......из жидкости, например способом электролитического осаждения – H01L 21/288

Изобретение относится к технологии формирования медных дорожек на диэлектрических подложках. Сущность изобретения: на слой раствора галогенида меди в органическом растворителе, лежащий на подложке, проецируют негативное изображение дорожек, вследствие чего в слое возникает концентрационно-капиллярное течение, которое переносит раствор в освещенные участки подложки, где после испарения растворителя остаются дорожки из галогенида меди. Эти дорожки восстанавливают до медных в токе водорода при температуре достаточной для протекания реакции восстановления. Техническим результатом изобретения является упрощение и удешевление процесса формирования медных дорожек на диэлектрических дорожках, экономия меди и исключение образования отходов в ходе процесса, т.е. устранение загрязнения окружающей среды. 3 ил.