Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей: ....подготовка пластины основания – H01L 21/08

Изобретение относится к области производства пластин. Сущность изобретения: установка для двухсторонней вертикальной очистки поверхности круглых пластин полупроводниковых и оптических материалов содержит чистящие элементы, размещаемые по обеим сторонам обрабатываемой пластины, устройства для подачи моющего раствора на обе стороны обрабатываемой пластины, опорно-направляющий механизм для поддержки обрабатываемой пластины и приводной механизм для чистящих элементов. Установка также включает в себя механизм поочередной выгрузки подлежащих обработке пластин из кассеты и перемещения их на позицию обработки, центрифугу, с одной из сторон которой на расстоянии 5÷20 мм от поверхности пластины размещена форсунка генератора мегазвуковых колебаний, выполненная с возможностью возвратно-поступательного движения от центра к краю обрабатываемой пластины для очистки поверхности обрабатываемой пластины струей деионизованной воды с наложением мегазвуковых колебаний с последующей двухсторонней промывкой деионизованной водой и сушкой центрифугованием в среде азота, и механизм поочередной выгрузки пластин с позиции обработки и загрузки их в кассету. Изобретение позволяет повысить степень чистоты пластин, увеличить производительность и повысить срок службы чистящих элементов. 1 ил.