Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей: ...с неорганическими слоями – H01L 21/033

Изобретение относится к изготовлению рентгеношаблонов, преимущественно для «мягкой» литографии. Сущность изобретения: в рентгеношаблоне, представляющем собой рентгенопоглощающую структуру, сформированную на полимерной пленке, закрепленной на опорном кольце, опорное кольцо выполнено из двух и более колец, образующих собой пяльца, в которых зафиксирована полимерная пленка, а рентгенопоглощающая структура выполнена сложносоставной, и одним из ее элементов является резистивная маска. В способе изготовления рентгеношаблона, включающем формирование литографическими способами на используемой в качестве несущей мембраны полимерной пленке резистивной маски и рентгенопоглощающей структуры и фиксацию несущей мембраны на опорном кольце, фиксацию производят до формирования рентгенопоглощающей структуры, которая включает составным элементом резистивную маску. Изобретение обеспечивает минимизацию геометрических искажений рентгенопоглощающей структуры шаблона и уменьшение себестоимости его изготовления. 2 н. и 9 з.п. ф-лы, 4 ил.