Устройства вообще, специально предназначенные для выращивания, получения или последующей обработки монокристаллов или гомогенного поликристаллического материала с определенной структурой – C30B 35/00
Патенты в данной категории
РЕАКТОР ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ СТЕРЖНЕЙ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
Изобретение относится к устройствам, предназначенным для выращивания стержней поликристаллического кремния, а именно для выращивания поликристаллического кремния преимущественно путем осаждения из газовой фазы на подогреваемые стержневые подложки. Реактор содержит охлаждаемый поддон 1, цилиндрический колпак 2, закрепленный на поддоне, состоящий из внутренней и наружной рубашек 3, 4, с образованием между ними канала 5 охлаждения, в котором размещено средство увеличения скорости циркуляции охлаждающей среды в виде змеевика 6. Змеевик 6 снабжен средством 7 подвода рабочего газа и средством 8 его отвода. Обеспечивается использование тепла, направляемого на поддержание процесса восстановления кремния и снижение удельных затрат на проведение процесса. 2 з.п. ф-лы, 4 ил. |
2457177 выдан: опубликован: 27.07.2012 |
|
РЕАКТОР ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ СТЕРЖНЕЙ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
Изобретение относится к устройствам для выращивания поликристаллического кремния, преимущественно, путем осаждения из газовой фазы на подогреваемые стержневые подложки (основы). Реактор содержит охлаждаемый поддон 1, установленный на опорной конструкции, цилиндрический колпак 2, состоящий из внутренней рубашки охлаждения 3 и наружной рубашки охлаждения 4, направляющих ребер охлаждения 5. Наружная рубашка охлаждения 4 состоит из сегментов, которые жестко связаны между собой и посредством направляющих ребер 5 с внутренней рубашкой 3 сваркой. Конструкция снабжена средствами для подвода 7 и отвода 8 охлаждающей среды и шпангоутом 9 для крепления колпака к поддону 1. Между наружной 4, внутренней 3 рубашками охлаждения и направляющими ребрами 5 образованы кольцевые каналы, переходящие с одного уровня на другой по спирали. Технический результат изобретения заключается в уменьшении массы колпака реактора и улучшении условий охлаждения внутренней рубашки 3. 5 ил. |
2455401 выдан: опубликован: 10.07.2012 |
|
СИСТЕМА ОХЛАЖДЕНИЯ КОЛПАКА РЕАКТОРА ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
Изобретение относится к устройствам, специально предназначенным для выращивания поликристаллического кремния, а именно к системе охлаждения колпака реактора для выращивания поликристаллического кремния, преимущественно путем осаждения из газовой фазы на подогреваемые стержневые подложки (основы). Система охлаждения колпака реактора состоит из двух жидкостных циркуляционных контуров. Первый жидкостный циркуляционный контур 1 образован между внутренней 2 и наружной 3 рубашками охлаждения и снабжен патрубками ввода 4 и вывода 5 охлаждающей среды, второй жидкостный циркуляционный контур 6, образован цилиндрической обечайкой 7, установленной внутри колпака реактора и жестко связанной с внутренней 2 рубашкой охлаждения и шпангоутом 8. Система снабжена дополнительными патрубками ввода 9 и вывода 10 охлаждающей среды. Цилиндрическая обечайка 7 может быть выполнена из аустенитной стали, внутренняя рубашка охлаждения 2 - из биметалла: аустенитная сталь - углеродистая сталь, а шпангоут - из углеродистой стали. Образование второго контура охлаждения обеспечивает охлаждение шпангоута с внутренней стороны реактора, что улучшает температурные условия работы шпангоута. 1 з.п. ф-лы, 2 ил. |
2451118 выдан: опубликован: 20.05.2012 |
|
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ БИОЛОГИЧЕСКИХ МАКРОМОЛЕКУЛ
Изобретение относится к кристаллографии, а более конкретно - к устройству для выращивания кристаллов биологических макромолекул, например кристаллов белка. В настоящее время весьма перспективным направлением в области выращивания кристаллов биологических макромолекул является кристаллизация биопрепаратов в условиях космического полета, которая может выполняться при орбитальных полетах на международной космической станции. Устройство для выращивания кристаллов биологических макромолекул содержит кристаллизационный контейнер 1, который имеет корпус 2 с крышкой 3, внутри контейнера 1 размещен капилляр 5 с образцом макромолекулярного вещества 6, заполненный гелем 7 трубчатый элемент 4, сопрягающийся с капилляром 5, который установлен таким образом, что гель 7 может вступать в соприкосновение как с образцом макромолекулярного вещества 6, находящегося внутри капилляра 5, так и осадителем. Капилляр 5 размещен внутри трубчатого элемента 4, полость которого, не занятая капилляром 5, заполнена гелем 7, причем сторона капилляра 5, противоположная полости, заполненной гелем 7, заглушена, крышка 3 контейнера 1 установлена со стороны заглушенной части капилляра 5. В теле корпуса контейнера 1 со стороны, противоположной крышке 3, выполнен сквозной канал 10, полость которого сообщается с полостью трубчатого элемента 4, заполненной гелем 7. Одно из выходных отверстий сквозного канала 10 подключено через гидравлическую линию к нагнетательной стороне насоса, а другое отверстие - к всасывающей стороне насоса с образованием герметически замкнутого гидравлического контура. В полости линии нагнетания размещен осадитель, причем между осадителем и гелем 7 имеется газовая прослойка, а в линии связи нагнетательной стороны насоса с контейнером до полости, занятой осадителем, установлен датчик перемещения осадителя. Устройство обеспечивает контроль и завершение процесса кристаллизации биомакромолекул при проведении экспериментов в космическом пространстве непосредственно после вывода аппарата (особенно беспилотного) на орбиту, имеет достаточную жесткость конструкции, которая обеспечивает надежную защиту капилляра с образцом и кристаллами при вибрациях космического аппарата и в случае его жесткого приземления. 8 з.п. ф-лы, 4 ил. |
2424383 выдан: опубликован: 20.07.2011 |
|
ПОДВЕСКА-ТОКОПОДВОД ДЛЯ СТЕРЖНЕВЫХ ПОДЛОЖЕК
Изобретение относится к получению полупроводниковых материалов, преимущественно поликристаллического кремния, путем осаждения из газовой фазы на подогреваемые подложки и может быть использовано в реакторах с резистивным подогревом стержневых подложек и с верхним токоподводом. Подвеска-токоподвод для стержневых подложек включает обойму 1 с гнездом 2 в виде сужающегося книзу канала с вертикальной стенкой 4 и вкладыш 3 с вертикальной стенкой 6, противолежащей стенке 4 гнезда, пространство между которыми является рабочим зевом клинового зажимного механизма, образованного обоймой и вкладышем. Жесткость конструкции подвески и возможность в клиновом зажимном механизме получить большое удерживающее усилие при равномерном прижиме по всей поверхности контакта зажимаемой стержневой подложки с подвеской позволяет увеличить грузоподъемность подвески. Кроме того, ввиду того что канал гнезда суживается книзу, под действием увеличивающегося веса наращиваемого стержня в клиновом зажимном механизме пропорционально увеличивается удерживающее усилие. Равномерное поджатие по всей длине контактных поверхностей обеспечивает надежный электрический контакт. 12 з.п. ф-лы, 7 ил. |
2409709 выдан: опубликован: 20.01.2011 |
|
НАСОС ДЛЯ ПОДАЧИ ЖИДКИХ СРЕД В УСТАНОВКАХ ВЫРАЩИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ
Изобретение относится к технике, связанной с выращиванием кристаллов из пересыщенных водных растворов, и может быть использовано при скоростном выращивании профилированных кристаллов (например, типа KH2PO4, KD2PO4 , Ва(NO3)2 и др.). Насос для нагнетания пересыщенных водных растворов в установках скоростного выращивания кристаллов изготовлен из химически стойкого материала и содержит выполненный в виде единой детали корпус 1 с расположенным в его нижней части, по крайней мере, одним отводящим и направляющим жидкость соплом 5 и установленное в корпусе рабочее колесо 6 с лопастями 7, закрепленное на приводном валу 8. Нижняя часть корпуса насоса открыта снизу и в ней на уровне входных сопловых отверстий установлено рабочее колесо 6, имеющее дисковое основание 9, в центральной части которого выполнено отверстие 10 для входа жидкости, при этом диаметр d дискового основания 9 и его установка выполнены таким образом, что образуют минимально возможные вертикальный а и радиальный b кольцевые зазоры с корпусом 1 насоса (в пределах от 0,1% до 1% от величины d), что позволяет уменьшить гидравлические потери при работе насоса. Изготовленный таким образом насос обеспечивает высокую устойчивость процесса выращивания кристаллов и создает высокую интенсивность подачи питающего раствора на грани растущего кристалла. 3 з.п. ф-лы, 2 ил. |
2402645 выдан: опубликован: 27.10.2010 |
|
РОТОРНЫЙ ОСЕВОЙ НАСОС ДЛЯ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ПРЕИМУЩЕСТВЕННО В КРИСТАЛЛИЗАЦИОННЫХ УСТАНОВКАХ
Изобретение относится к технике, связанной с выращиванием кристаллов из растворов, и может быть использовано при скоростном выращивании профилированных кристаллов (например, КН 2РО4, KD2PO 4, BaNO3 и др.). Роторный осевой насос содержит ротор и выполненный из химически стойкого материала корпус с впускными окнами, входными и выходными сепараторами, снабженный, по крайней мере, одним направляющим раствор соплом. Корпус выполнен в виде одной неразборной детали с сепараторами в виде радиальных пластин, а ротор изготовлен таким образом, что содержит не более двух деталей из химически стойкого материала, при этом количество и размеры лопастей винта ротора соответствуют размерам секций входного сепаратора корпуса. Дополнительно ось ротора может армироваться металлическим стержнем, не имеющим контакта с раствором. Изготовленный таким образом насос имеет минимальное число щелей и резьбовых соединений, что уменьшает вероятность массовой кристаллизации и обеспечивает устойчивый рост кристаллов из раствора за счет устранения источников образования паразитных кристаллов. 7 з.п. ф-лы, 1 ил. |
2323280 выдан: опубликован: 27.04.2008 |
|
РЕЗЕРВУАР ДЛЯ ПРИЕМА РАСПЛАВЛЕННОГО КРЕМНИЯ ИЛИ ДЛЯ ПЛАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ
Изобретение относится к созданию резервуара для хранения расплавленного кремния и способа его изготовления. Способ изготовления резервуара для приема расплавленного кремния или для плавления кремния включает напыление материала в виде кремниевого композитного термета, который содержит металлический кремний, нитрид кремния и оксид кремния, на внутреннюю стенку указанного резервуара. Напыленное покрытие имеет следующее отношение содержания металлического кремния (X) к нитриду кремния (Y) и к оксиду кремния (Z): X:Y:Z=20-50:77-30:3-20. Результат изобретения: создание резервуара для хранения ванны расплавленного кремния, который не загрязняет расплав кремния, а также имеет отличную спекаемость, механическую прочность и обеспечивает высокую производительность. 2 н. и 5 з.п. ф-лы, 1 ил., 2 табл. |
2303663 выдан: опубликован: 27.07.2007 |
|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЦИРКОНИЕВОГО ЭЛЕКТРОКОРУНДА И КРИСТАЛЛИЗАТОР ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ
Изобретение предназначено для использования в абразивной промышленности, в частности для получения высокопрочных корундовых материалов, применяемых для изготовления абразивных кругов. Способ получения циркониевого электрокорунда включает приготовление шихты из оксидов алюминия и циркония, ее плавление под слоем шихты с введением восстановителя под поверхность расплава через слой шихты во второй половине плавки, слив расплава, его кристаллизацию и охлаждение. При этом в процессе разливки и кристаллизации ограничивают контакт материала с кислородом воздуха. Кристаллизатор содержит металлическую емкость с вертикальными металлическими пластинами, установленными внутри емкости с зазором друг относительно друга. Кристаллизатор содержит кассету для установки комплекта пластин. При этом контур нижней части пластин повторяет контур донной части емкости. В верхней части каждой пластины выполнен V-образный вырез, а вырезы всех пластин образуют продольный лоток для заливки расплава. Способ и устройство позволяют обеспечить стабильность физической структуры при охлаждении, повышение прочности зерна и служебных характеристик абразивного инструмента, снижение трудозатрат и потерь материала в процессе кристаллизации, экономию металла-восстановителя, повышение срока службы кристаллизатора. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 1 табл., 1 ил. |
2271334 выдан: опубликован: 10.03.2006 |
|
УСТРОЙСТВО ДЛЯ МИКРОВОЛНОВОЙ ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННОЙ С ЭЛЕКТРОННО-ЦИКЛОТРОННЫМ РЕЗОНАНСОМ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ Использование: вакуумно-плазменная обработка потоками частиц поверхности материалов микроэлектроники, металлов и сплавов. Техническим результатом изобретения является создание устройства для ионной обработки поверхности материалов с высокой степенью однородности и значительным диапазоном плотностей потока частиц. Сущность изобретения: открытый низкодобротный резонатор в форме усеченного конуса, согласующий импедансы плазмы нагрузки и генератора СВЧ-мощности, формирует переменное электромагнитное поле с рабочей модой E01 направленного в область электронно-циклотронного резонанса и вместе с магнитной системой формирует однородный направленный поток ионов плазмы на обрабатываемую поверхность. 3 ил. | 2223570 выдан: опубликован: 10.02.2004 |
|
ЦИРКОНИЕВЫЙ ЭЛЕКТРОКОРУНД, СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ И КРИСТАЛЛИЗАТОР ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ Изобретение предназначено для использования в абразивной промышленности, в частности для получения высокопрочных циркониевых корундов, применяемых для изготовления абразивных кругов. Техническим результатом изобретения является обеспечение стабильности физической структуры при охлаждении, повышение прочности зерна и служебных характеристик абразивного инструмента, снижение трудозатрат и потерь материала в процессе кристаллизации, экономия металла-восстановителя, повышение срока службы кристаллизатора. Циркониевый электрокорунд содержит оксиды алюминия и циркония, последний из которых состоит их высокотемпературной, тетрагональной модификации и низкотемпературной, моноклинной модификации ZrO2, соотношение между высокотемпературной и низкотемпературной модификациями находится в пределах между 20:50 и 50:80. Способ получения циркониевого электрокорунда включает приготовление шихты из оксидов алюминия и циркония, ее плавление под слоем шихты с введением восстановителя - алюминия под поверхность расплава через слой шихты во второй половине плавки, слив расплава, его кристаллизацию и охлаждение, при ограничении контакта материала с кислородом воздуха. Кристаллизатор содержит металлическую емкость, кассету для установки комплекта параллельных пластин, размещенных с зазором друг относительно друга, в верхней части каждой пластины выполнен V-образный вырез, при этом вырезы всех пластин образуют продольный лоток для заливки расплава. Кроме того, емкость кристаллизатора снабжена системой водяного охлаждения. 3 с. и 1 з.п. ф-лы, 1 табл., 1 ил. | 2144502 выдан: опубликован: 20.01.2000 |
|
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ Использование: в производстве ветвей термоэлементов на основе теллурида висмута Bi2Te3. Устройство для получения ТЭМ содержит герметичный контейнер из кварцевого стекла, в котором формообразователь слитка изготовлен заодно с реакторной частью контейнера. Совмещенный контейнер размещен на установке горизонтально и снабжен приводной муфтой, вращающей его в трубчатой печи для синтеза. Кроме того, устройство содержит установку зонной перекристаллизации с механизмом передвижения печи вдоль формообразователя слитка. Данное изобретение позволяет увеличить выпуск материалов за счет увеличения диаметра получаемого кристалла и его длины на существующем оборудовании и производственных площадях, а также снизить стоимость готового материала. 2 ил. | 2107116 выдан: опубликован: 20.03.1998 |
|
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЯЧЕЙКИ ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ РЕАКЦИИ С АГРЕССИВНЫМИ ЛЕТУЧИМИ ВЕЩЕСТВАМИ Изобретение относится к металлургии, препаративной и физической химии и может быть использовано для получения ячеек для проведения реакций с агрессивными летучими веществами. Сущность изобретения: на стенках стеклянного сосуда монтируют контейнер из инертного, гибкого и упругого листового материала с дном и крышкой, которую уплотняют порошком инертного материала. Контейнер подпирают стеклянным вкладышем. Сосуд вакуумируют и запаивают совместно с вкладышем. 2 ил. | 2033255 выдан: опубликован: 20.04.1995 |