Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие: ..держатели подложек – C23C 14/50

МПКРаздел CC23C23CC23C 14/00C23C 14/50
Раздел C ХИМИЯ; МЕТАЛЛУРГИЯ
C23 Покрытие металлических материалов; покрытие других материалов металлическим материалом; химическая обработка поверхности; диффузионная обработка металлического материала; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще; способы предотвращения коррозии металлического материала, образования накипи или корок вообще
C23C Покрытие металлического материала; покрытие других материалов металлическим материалом; поверхностная обработка металлического материала диффузией в поверхность путем химического превращения или замещения; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще
C23C 14/00 Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие
C23C 14/50 ..держатели подложек

Патенты в данной категории

УСТАНОВКА ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ПРЕЦИЗИОННЫЕ ДЕТАЛИ УЗЛОВ ГИРОПРИБОРОВ

Изобретение относится к установке для напыления покрытий на прецизионные детали узлов гироприборов и может быть использовано в точном приборостроении. Мишень-распылитель создает кольцевую зону потока испаряемого материала средним диаметром Dм . Держатели с узлами крепления напыляемых деталей установлены на штоках количеством n. Штоки вращаются с угловой скоростью w1 в одном направлении, а блок редукции вращается с угловой скоростью w2 в другом направлении и на нем равномерно на одинаковом расстоянии 1/2·Dш от его оси вращения размещены указанные штоки. Для наиболее оптимальной ориентации рабочих поверхностей к потоку напыляемого материала плоскость, в которой лежат центры узлов крепления деталей, наклонена к оси симметрии этого потока под углом. Для обеспечения условий постоянного перемещения деталей в зоне испаряемого материала держатели, в которых устанавливают детали, выполнены в виде консольных элементов со смещением центра узла крепления каждой детали относительно оси штока. Для одной пары противолежащих штоков, расположенных на большой оси эллиптической траектории их перемещения, направление смещения L ориентировано к центру эллипса, а для второй пары противолежащих штоков, расположенных на малой оси этой траектории, направление смещения L ориентировано в сторону, противоположную центру указанного эллипса. Такое конструктивное выполнение позволяет повысить качество и функциональные характеристики напыляемых покрытий. 3 ил.

2507306
патент выдан:
опубликован: 20.02.2014
КАССЕТА ДЛЯ ОБРАБАТЫВАЕМЫХ ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий, в частности к кассете для обрабатываемых деталей. Несколько дисков (7) кассеты расположены вдоль центрального вала и снабжены держателями (8), равномерно распределенными по окружности, наклоненными в направлении наружу и предназначенными для установки в них обрабатываемых деталей. Диски (7) опираются на окружающее их кольцо (5). Расположенные последовательно кольца (5) образуют приблизительно цилиндрическую оболочку, предотвращающую нежелательное нанесение покрытия на диски (7). Оболочка имеет группу отверстий для держателей (8) диска (7), равномерно распределенных по окружности на одной и той же высоте, и каждое из отверстий образовано верхним вырезом (14) в кольце (5), на котором установлен диск (7), и смежным нижним вырезом (15) на следующем кольце. Граничные линии (17) между последовательно установленными кольцами (5) начинаются несколько ниже самых узких точек перемычек, разделяющих смежные отверстия, таким образом, чтобы нижние вырезы (15) не сужались в направлении кромки кольца (5), и верхние вырезы (14) слегка сужались таким образом, чтобы обеспечивалась простая сборка кассеты для обрабатываемых деталей снизу вверх. В результате обеспечивается быстрота установки и демонтажа дисков и легкая их очистка без риска повреждения компонентов устройства. 14 з.п. ф-лы, 3 ил.

2499080
патент выдан:
опубликован: 20.11.2013
УСТРОЙСТВО НОСИТЕЛЯ ОБРАБАТЫВАЕМЫХ ДЕТАЛЕЙ

Изобретение представляет устройство носителя обрабатываемых деталей (2), которое включает роторную раму (3) и приводную деталь (22). Обе упомянутые детали способны вращаться вокруг ведущей оси (4). На роторной раме (3) установлены держатели обрабатываемых деталей (13), расположенные вокруг ведущей оси (4) с возможностью вращения. В приводной детали (22) на опоре установлено малое зубчатое колесо (25), вступающее в зацепление со стационарным центральным зубчатым колесом (21) и кольцевым зубчатым колесом (27) трансмиссионной детали (26), на которой имеются приводные отверстия (28), через которые выступают приводные цапфы (19) держателей обрабатываемых деталей (13). При вращении роторной рамы (3) приводная деталь (22) вращается вокруг ведущей оси (4) и дополнительно сообщает движение трансмиссионной детали (26), которая вращается одновременно с роторной рамой (3). Этим создается эксцентрическое движение таким образом, чтобы точка выхода (29) вращалась вокруг ведущей оси (4), в результате чего осуществляется соответствующее вращение держателей обрабатываемых деталей (13). Обеспечивается простота конструкции и ее надежность. 15 з.п. ф-лы, 5 ил.

2485211
патент выдан:
опубликован: 20.06.2013
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ НАНОКОМПОЗИТНОГО ПОКРЫТИЯ НА ПЛОСКИЕ ПОВЕРХНОСТИ ДЕТАЛИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ (ВАРИАНТЫ)

Изобретение относится к способу нанесения нанокомпозитных покрытий на плоские поверхности деталей и устройству для его реализации. Технический результат - повышение качества покрытия и однородности его свойств на всей площади обрабатываемой поверхности плоской детали. Способ включает установку на держателе карусели в вакуумной камере по крайней мере одной плоской детали, приведение карусели во вращение и формирование нанокомпозитного покрытия на плоской детали с помощью установленных в вакуумной камере источников распыляемого материала. При прохождении детали перед источником распыляемого материала ее ориентируют с расположением обрабатываемой плоской поверхности перпендикулярно плоскости, проведенной через оси вращения карусели и держателя, параллельные друг другу и фиксируют деталь относительно оси держателя. При этом вне области осаждения распыляемого материала осуществляют разворот детали на 180° относительно оси держателя. 3 н. и 5 з.п. ф-лы, 3 ил.

2450086
патент выдан:
опубликован: 10.05.2012
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА БУТЫЛКИ И ТРАНСПОРТИРУЮЩИЙ ОРГАН ДЛЯ БУТЫЛОК

Изобретение относится к устройству для нанесения покрытия на бутылки и к транспортирующему средству для них. Данное изобретение может быть использовано для производства пластиковых бутылок в безалкогольной промышленности. Предложенное устройство содержит блок для нанесения покрытия, содержащий, по меньшей мере, один участок транспортного тракта для транспортирующих бутылки средств, бутылкодержатель в каждом транспортирующем средстве, взаимодействующие с транспортирующими средствами закрывающие элементы для бутылкодержателя, установленные с возможностью перемещения каждый между пассивным положением и положением закрывания, и бутылочный щуп, который устанавливает наличие или отсутствие бутылки на бутылкодержателе и взаимодействует с исполнительным механизмом закрывающих элементов. Закрывающие элементы расположены непосредственно на транспортирующих средствах с ориентацией по бутылкодержателям. Заявлено также транспортирующее средство для бутылок, устройство для нанесения покрытия на бутылки, состоящее из бутылкодержателя и воздействующих на транспортный тракт транспортных звеньев. Техническим результатом изобретения является создание усовершенствованного устройства для нанесения покрытия и транспортирующего средства для бутылок, связанного с ним. 2 н. и 13 з.п. ф-лы, 4 ил.

2259315
патент выдан:
опубликован: 27.08.2005
УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

Изобретение относится к области аппаратурного оформления технологий нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности. Установка включает вакуумную камеру, по меньшей мере, один магнетронный распылитель, системы эвакуации, подачи и регулирования расхода газа, вращаемое устройство для перемещения подложек карусельного типа цилиндрической формы с закрытыми торцами, внутренней полостью и герметично сочлененным с вакуумной камерой валом, при этом устройство для перемещения подложек выполнено герметичным, заполненным охладителем, с полым валом, один конец которого соединен с внутренней полостью устройства для перемещения подложек, второй размещен вне пределов вакуумной камеры, внутри полого вала размещены каналы для ввода и вывода охладителя, на стенках вакуумной камеры размещен, по меньшей мере, один магнетронный распылитель, обращенный к наружной поверхности устройства для перемещения подложек. Форма внутренней полости устройства для перемещения подложек выполнена с возможностью размещения охладителя непосредственно у цилиндрической стенки устройства для перемещения подложек. Устройство для перемещения подложек электрически изолировано от вакуумной камеры. Установка снабжена устройством для изменения разности потенциалов между устройством для перемещения подложек и вакуумной камерой. Герметичное сочленение полого вала с вакуумной камерой снабжено нагревателем. Технический результат изобретения заключается в обеспечении технологической возможности формирования покрытий при низких температурах. 4 з.п. ф-лы, 1 ил.
2213159
патент выдан:
опубликован: 27.09.2003
ЛЕВИТИРУЮЩЕЕ ТРАНСПОРТНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ИЗДЕЛИЙ ВНУТРИ ВАКУУМНОГО ОБЪЕМА

Изобретение относится к вспомогательным устройствам, входящим в технологический комплекс для нанесения покрытий при производстве изделий электронной техники. Предлагается транспортное устройство, содержащее транспортную тележку с подложками, расположенную внутри вакуумной камеры, в котором применены постоянные магниты, расположенные одноименными полюсами друг к другу, причем часть из них, образующая транспортные несущие дорожки, расположена снаружи под днищем вакуумной камеры, а четыре расположены внутри вакуумной камеры в углах транспортной тележки для осуществления ее левитации, и удерживающие управляемые электромагниты постоянного тока, расположенные под днищем вакуумной камеры и обеспечивающие пошаговое перемещение транспортной тележки вдоль пути следования, а также удержание ее от боковых перемещений, управляемые автоматической системой с помощью датчиков перемещения. В качестве датчиков, выдающих сигнал об изменении положения транспортной тележки, применены конструкционные элементы тяговых электромагнитов постоянного тока с расположенными на них дополнительными измерительными обмотками, питаемыми от автономной сети повышенной частоты, магнитный поток которых замыкается попарно внутри этих обмоток и направлен перпендикулярно магнитному потоку тягового электромагнита. Изобретение направлено на улучшение качества наносимых пленок. 1 з.п. ф-лы, 4 ил.
2198241
патент выдан:
опубликован: 10.02.2003
УСТРОЙСТВО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЯ

Изобретение относится к нанесению тонких пленок в вакууме и направлено на снижение неравномерности толщины пленки. Цель достигается тем, что подложкодержатель установлен на упругом элементе - сильфоне, жестко связанном с неподвижным основанием с возможностью вращения относительно горизонтальных осей координат, между подложкодержателем и неподвижным основанием шарнирно закреплены в вертикальном направлении две тяги-привода, устройство также снабжено вторым подложкодержателем, установленным на первом с возможностью осевого вращения, который связан с вводом вращательного движения посредством дополнительного упругого сильфона, герметично связанного с вводом вращения и вторым подложкодержателем. 2 ил.
2115764
патент выдан:
опубликован: 20.07.1998
СИСТЕМА ОХЛАЖДЕНИЯ ПОДЛОЖЕК В ВАКУУМЕ

Сущность изобретения является система охлаждения подложек в вакууме, содержащая подложкодержатель, механические прижимы и теплопроводящее вещество. В объеме теплопроводящего вещества размещена рубашка охлаждения. Охлаждение осуществляется путем подачи охлаждающего вещества от рубашки на подложку посредством теплопроводящего вещества. 2 ил.
2089662
патент выдан:
опубликован: 10.09.1997
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ НА ВНУТРЕННЮЮ ПОВЕРХНОСТЬ ПОДЛОЖЕК ПОЛУСФЕРИЧЕСКОЙ ФОРМЫ

Сущность изобретения заключается в том, что для нанесения покрытия на несколько полусфер одновременно недорогим способом с одинаково высоким качеством несколько камер для нанесения покрытия объединены в станцию покрытия полусфер, которая с помощью симметричной системы газопроводов соединена с общим газогенератором и с общим вакуумным насосом. Газопроводы имеют площади поперечного сечения и форму поперечного сечения, которая в зависимости от расстояния "х" от газогенератора или от вакуумного насоса одинакова. Благодаря этому во всех камерах для нанесения покрытий обеспечиваются одинаковые условия потока. Системы газопроводов могут быть образованы из прецизионных трубок или с помощью штабеля монолитных плит, в которых выполнены сверлением или фрезерованием каналы для газа. Несколько станций в свою очередь могут быть объединены в блок, имеющий симметричную систему трубопроводов для газа, соединенную с общим вакуумным насосом и общим газогенератором. 23 з.п. ф-лы, 25 ил.
2087587
патент выдан:
опубликован: 20.08.1997
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАКРЕПЛЕНИЯ ПОДЛОЖЕК В ВАКУУМНЫХ УСТАНОВКАХ

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме. В основу изобретения положена задача повышения надежности закрепления подложек при обеспечении возможности изменения их ориентации в пространстве. Сущность изобретения: каждые штыри выполнены в виде 3-х винтов, установленных в резьбовых отверстиях основания, на концах штырей, на шаровых шарнирах жестко закреплены цилиндрические диски, выполненные из электретных материалов, с возможностью контактного взаимодействия с подложкодержателем. 2 ил. ,05035572,0569,RU,02075157,C1, 6H 05B 3/60 A,0,Aт
2075136
патент выдан:
опубликован: 10.03.1997
КАССЕТА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ НА ИЗДЕЛИЯ, ПРЕИМУЩЕСТВЕННО НА СВЕТОВОДЫ

Использование: изобретение касается нанесения покрытий в вакууме, в частности конструкции кассеты для изделия, и может быть использовано для двусторонней металлизации концов световодов при создании элементов волоконно-оптических линий связи, волоконно-оптических датчиков. Сущность изобретения: кассета представляет собой прямоугольную рамку, имеющую основание с окном и крышку. По всей площади кассеты поверх крышки и основания за исключением области окна установлены отражатели и тепловые экраны, которые являются преградой для прохождения тепловых лучей внутрь кассеты и нагрева оболочек кабеля. 2 ил.
2039847
патент выдан:
опубликован: 20.07.1995
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМНЫХ УСТАНОВКАХ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в экологически чистых вакуумных технологических установках. Задачей изобретения является получение слоев покрытия по выбранному закону распределения толщин для подложек любой объемной формы при одновременном и независимом вращении подложки по трем координатным осям, а также улучшение состава остаточной газовой среды. Для этого механизм вращения подложкодержателя выполнен в виде двух подвижных рам, установленных одна в другую в опорах с возможностью вращения от двух электродвигателей, один из которых установлен на внешней подвижной раме, а другой закреплен неподвижно в камере. Электродвигатель с закрепленным на валу подложкодержателем установлен во внутренней подвижной раме, а поверхности камеры и механизма вращения, обращенные в вакуумный объем, обработаны пескоструйным методом. 1 ил.
2038416
патент выдан:
опубликован: 27.06.1995
УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к изготовлению вакуумных установок для нанесения ионно-плазменным напылением защитно-упрочняющих и декоративных покрытий на изделиях. Устройство содержит кольцевую вакуумную камеру, в которую через вертикальные и горизонтальные люки введены источники ионно-плазменного напыления. Подложки загружаются на кольцевую направляющую на катки, шарнирно соединенные в виде замкнутого конвейера, и поочередно, циклично передвигаются с помощью пульта управления мимо загрузочных люков. Выполнение крышки кольцевой камеры цельносъемной позволяет быстро открыть доступ к любому механизму, не разбирая всего устройства, что обусловливает простоту эксплуатации и позволяет проводить производительную обработку изделий и наносить качественные покрытия. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.
2036246
патент выдан:
опубликован: 27.05.1995
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ

Устройство для электронно-лучевой обработки изделий может быть использовано для полировки изделий оптики и микроэлектроники. Устройство содержит электронную пушку с вертикально расположенным нитевидным катодом и блок загрузки, в котором изделия размещены обрабатываемой поверхностью вертикально, направляющие и узлы для перемещения кассет с изделиями по направляющим, узел для перемещения источников предварительного нагрева относительно кассет, а также дополнительный тепловой экран. Новым в предложенном устройстве является то, что оно снабжено направляющими, образующими замкнутый путь перемещения кассет с изделиями, и узлами для осуществления указанного перемещения, а на участке направляющих, противолежащему катоду электронной пушки, изделия размещены с соблюдением параллельности их обрабатываемой поверхности и направляющих. Узел перемещения кассет по направляющим выполнен в виде тележек с приводом, снабженных узлами для загрузки, крепления и разгрузки кассет. Устройство снабжено также узлом для перемещения источников предварительного нагрева относительно кассет с изделиями и дополнительным тепловым экраном, который расположен внутри объема, закрытого основным экраном, и выполнен закрывающим от источников предварительного нагрева щель в основном экране, пропускающую внутрь объема электронный луч. 3 з.п.ф-лы, 1 ил.
2023746
патент выдан:
опубликован: 30.11.1994
Наверх