Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие: ....с помощью тлеющего разряда постоянного тока – C23C 14/38

Изобретение относится к области получения и производства фильтрующих материалов для очистки воздуха промышленных помещений на основе полимерных волокон, обладающих антибиотическими свойствами. Осуществляют синтез полимера на фильтрующем материале в низкотемпературной плазме тлеющего разряда в парах адамантана. Вначале камеру с фильтрующим материалом вакуумируют, подают аргон и проводят газоразрядную очистку материала. После очистки камеру вновь вакуумируют и напускают пары адамантана с последующим зажиганием тлеющего разряда для получения тонкого покрытия на поверхности материала. Изобретение позволяет придать поверхности фильтрующего материала антибиотические (антифунгальные) свойства. 1 пр.

Изобретение относится к получению углеродных наноструктур и позволяет получить углеродные частицы в виде порошка, что значительно расширяет их применение, упростить способ и устройство получения углеродных наноструктур, а также повысить коэффициент полезного действия. В способе получения углеродных наноструктур, включающем зажигание в вакуумной камере тлеющего разряда при постоянном электрическом токе, в прикатодную область вакуумной камеры в канал разряда аксиально и тангенциально подают углеводородный газ, а обработку углеводородного газа осуществляют при определенных параметрах тлеющего разряда. Во втором варианте способа в прикатодную область вакуумной камеры в канал разряда аксиально подают смесь инертного газа с частицами порошка углерода и тангенциально подают инертный газ. В устройстве для получения углеродных наноструктур, содержащем вакуумную камеру с размещенными в ней электродами, блок питания постоянного тока, подключенный к аноду и катоду, вакуумная камера имеет первые тангенциальные входы в прикатодную область для подачи углеводородного газа и второй аксиальный вход со стороны катода для подачи углеводородного газа, электроды размещены в вакуумной камере на расстоянии R=20÷100 мм друг от друга. Во втором варианте устройства вакуумная камера имеет первые тангенциальные входы в прикатодную область для подачи инертного газа, и второй аксиальный вход со стороны катода для подачи смеси инертного газа с частицами порошка углерода. 4 н. и 2 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к нанотехнологии, в частности к плазменным методам осаждения наночастиц на подложку, которые могу быть использованы в качестве катализаторов, как чувствительные элементы датчиков и как магнитные запоминающие среды. Устройство для получения магнитных наночастиц на подложке содержит вакуумную камеру с размещенными в ней катодом с мишенью и анодом, на котором расположена подложка, систему откачки, вакуумметр и систему подачи плазмообразующего газа. Устройство также содержит манипулятор для перемещения подложки с осажденными наночастицами в зазор магнитопровода постоянного магнита или электромагнита, используемого для намагничивания наночастиц в заданном направлении после их осаждения или после травления поверхности подложки с осажденными наночастицами. Способ получения магнитных наночастиц на подложке включает размещение исходной подложки внутри вакуумной камеры, откачку вакуумной камеры, напуск плазмообразующего инертного газа, зажигание плазмы, бомбардировку мишени и проведение цикла, включающего осаждение на поверхность подложки наночастиц, перемещение подложки посредством манипулятора в зазор магнитопровода, в котором создают магнитное поле с помощью постоянного магнита или электромагнита, и намагничивание осажденных наночастиц в заданном направлении. Упомянутый цикл повторяют до получения требуемого среднего размера наночастиц. Получают магнитные наночастицы заданного размера, заданной плотности рассеяния по поверхности подложки и заданной формы, а также получают аморфные наночастиц. 2 н. и 9 з.п. ф-лы, 8 ил., 1 пр.

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для нанесения покрытия на поверхность металлических изделий, таких как лопатки компрессора газотурбинных двигателей и установок, с целью повышения их служебных характеристик. Способ включает подготовку поверхности изделия, размещение в зоне обработки изделия и токопроводящего материала, создание вакуума, подачу отрицательного потенциала на изделие и отдельно на токопроводящий материал, возбуждение на токопроводящем материале вакуумной дуги с образованием плазмы, бомбардировку, очистку и нагрев изделия ионами токопроводящего материала, накопление и диффузию ионов на поверхности изделия в среде реакционного газа с образованием покрытия, кроме того, перед размещением изделия в зоне обработки на его поверхность наносят слой сплава на основе никеля толщиной 4-10 мкм, в качестве токопроводящего материала используют хром или его сплав, при этом одновременно с накоплением и диффузией ионов токопроводящего материала проводят бомбардировку поверхности ионами инертного газа с энергией 10-40 кэВ. Технический результат - повышение стойкости металлического изделия к солевой коррозии, повышение жаростойкости при сохранении эрозионной стойкости. 2 з.п. ф-лы, 1 табл.

Изобретение относится к металлургии и может быть использовано в авиационном и энергетическом турбиностроении для защиты лопаток турбин от высокотемпературного окисления и сульфидной коррозии. Размещают изделие и сплав на основе алюминия в зоне обработки. Создают вакуум в зоне обработки, подают отрицательный потенциал на изделие и отдельно на сплав на основе алюминия. Проводят принудительное охлаждение сплава. Возбуждают на нем вакуумную дугу, горящую в парах этого сплава с образованием плазмы сплава на основе алюминия. Проводят бомбардировку поверхности изделия ионами плазмы сплава на основе алюминия для очистки и нагрева поверхности изделия. Диффузию и накопление этого сплава на поверхности изделия проводят с удельным привесом (20-140) г/м² при отрицательном потенциале на изделии, выбираемом в диапазоне от потенциала плавания до -50 В. Затем проводят охлаждение изделия в вакууме. Нагрев изделия в вакууме для формирования диффузионного алюминидного покрытия осуществляют вне зоны его обработки. Затем проводят финишную обработку поверхности покрытия диффузионного алюминидного покрытия. В качестве сплава на основе алюминия используют сплав, содержащий два или более легирующих элементов из ряда: кремний, иттрий, бор, никель, кобальт, хром. Сплав на основе алюминия перед размещением в зону обработки припаивают к водоохлаждаемой оправке. Повышают качество алюминидного покрытия за счет снижения доли микрокапельной фазы в потоке плазмы сплава на основе алюминия и за счет повышения циклической жаропрочности, термостойкости и долговечности покрытия. 10 з.п. ф-лы, 1 табл.

Изобретение относится к металлургии, а именно к химико-термической обработке металлов и сплавов, в частности к ионному азотированию в плазме тлеющего разряда, и может быть использовано в машиностроении для поверхностного упрочнения деталей машин, в том числе деталей сложной конфигурации, режущего инструмента и штамповой оснастки. Изобретение направлено на интенсификацию процесса очистки и повышение качества обрабатываемых изделий, особенно изделий сложной геометрической формы, за счет минимального дугообразования на начальной стадии очистки в режиме катодного распыления. На стадии очистки обрабатываемых изделий в режиме катодного распыления длительность импульса отрицательного напряжения, прикладываемого к изделию, дискретно и последовательно увеличивают в две стадии при неизменной частоте следования импульсов. На первой стадии длительность импульса составляет 18-20 мкс до достижения температуры изделий 45-50°С, на второй стадии - 38-40 мкс до достижения температуры изделий 140-150°С. Далее, в процессе нагрева в тлеющем разряде до температуры насыщения длительность импульса составляет 75-80 мкс, которую поддерживают на этом уровне в течение всего процесса насыщения. 1 табл.

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для модифицирования поверхности деталей машин с целью повышения их служебных характеристик. Осуществляют предварительную подготовку поверхности изделия. Очистку и нагрев изделия проводят бомбардировкой ионами плазмы токопроводящего материала. Диффузию ионов токопроводящего материала в поверхность изделия, в котором в качестве токопроводящего материала используют сплав на основе алюминия, проводят на глубину до 30 мкм при отрицательном потенциале на изделии в диапазоне 220-600 В. Затем проводят осаждение токопроводящего материала на поверхность изделия на величину до 12 мкм при отрицательном потенциале на изделии не более 100 В, после чего проводят термообработку. В качестве токопроводящего материала используют сплав на основе алюминия при следующем соотношении компонентов, мас.%: кремний 4-12; кобальт 5-15; иттрий 0,1-0,6; алюминий - остальное. Термообработку металлического изделия проводят на воздухе при температуре 600-620°С в течение 4-6 часов. Применение изобретения в промышленности для обработки поверхности лопаток компрессора значительно снижает стоимость процесса ионной обработки поверхности изделий. 3 з.п. ф-лы, 1 табл.