Составы для травления, поверхностного осветления или декапирования – C09K 13/00

Изобретение относится к области микроэлектроники и применимо в фотолитографических процессах. Предложена композиция для химического травления пленок диоксида кремния в фотолитографическом процессе, включающая поливиниловый спирт в качестве полимерной основы и фторид аммония в качестве травящего компонента, а также дополнительно растворитель - воду при следующем соотношении компонентов, мас.%: поливиниловый спирт - 10; фторид аммония - 0,7-2,0; вода - 88,0-89,3. 5 пр.

Изобретение относится к области технологии изготовления металлооксидных анодов на основе титана с электрокаталитическим покрытием и может быть использовано в различных областях прикладной электрохимии при электролизе растворов широкого диапазона минерализации. Способ изготовления металлооксидного анода включает травление титановой основы в растворе кислоты с одновременной модификацией ее поверхности, формирование защитного подслоя титановой основы и нанесение электрокаталитического покрытия, при этом травление и модификацию поверхности титана проводят при введении в травильный раствор гидразинхлорида, а защитный подслой формируют из благородных металлов - иридия, платины. Гидразинхлорид вводят в травильный раствор в количестве 0,1-0,3 г/л. Изобретение позволяет повысить каталитическую активности анодов и их коррозионную стойкость благодаря обеспечению постоянства химического и фазового состава слоя на границе титановой основы и электрокаталитического покрытия. 2 з.п. ф-лы, 2 пр.

Изобретение может быть использовано при производстве интегральных микросхем и других электронных устройств, использующих планарную технологию их изготовления, основанную на фотолитографических процессах. Композиция для фотоактивированного травления пленок диоксида кремния включает полимерную основу - полиметилметакрилат, фоточувствительный компонент - фторид аммония в растворе трифторуксусной кислоты, растворитель - ацетон, протофильный реагент - дифениламин. Изобретение позволяет упростить технологический процесс получения фотолитографического рисунка на слое кремния, увеличить скорость фототравления, существенно уменьшить дефекты получаемых изделий. 1 табл., 4 пр.

Изобретение относится к сельскому хозяйству, в частности к составу для мульчирования различных видов почв, газонов, парковых территорий. Водный состав мульчирующего покрытия содержит лигносульфонат, карбамид, Na-карбоксиметилцеллюлозу, калий хлористый, мох вида Andreaeopsida и хвою можжевельника Juniperus virginiana 'Erecta'. Предложено три варианта указанного состава. Изобретение обеспечивает улучшение экологии при расширении арсенала составов природных материалов для мульчирования почв. 3 н.п. ф-лы, 1 табл.

Изобретение относится к материалам для обработки поверхностей стекла, ситалла и кварца и может быть использовано в оптико-электронной промышленности при изготовлении оптических деталей. Паста содержит гидрофторид аммония (NH₄F·HF), сульфат бария (BaSO₄), серную кислоту (H₂ SO₄), изоамилацетат, гранулированный фторид щелочноземельного металла с размерами гранул 25-63 мкм и воду. Соотношение компонентов следующее, мас.%: гидрофторид аммония - 10-34; сульфат бария - 17-22; серная кислота - 2-4; изоамилацетат - 1-2; фторид щелочноземельного металла - 10-34; вода - остальное. Предлагаемая паста обладает меньшей токсичностью за счет снижения концентрации активных ионов фтора в результате использования гидрофторида аммония вместо фтороводородной кислоты. Использование пасты обеспечивает возможность получения крупнозернистой поверхности с шероховатостью до 65 мкм. 1 табл., 3 пр.

Изобретение относится к энергопередающему кабелю для работы в химически сложных условиях и при очень низкой температуре. Согласно заявленному изобретению энергопередающий кабель содержит: по меньшей мере, один проводник электричества; изолирующий слой, окружающий указанный проводник, с образованием по меньшей мере одного изолированного проводника; огнестойкую защитную оболочку, не содержащую галоген, расположенную в радиально внешнем положении относительно указанного изолированного проводника; указанная оболочка имеет внутренний и внешний слои в контакте друг с другом. Внешний слой имеет толщину по меньшей мере равную толщине указанного внешнего слоя. Внутренний слой содержит полимерный материал, имеющий температуру стеклования, равную или меньшую, чем -30°С. Внешний слой содержит полимерный материал, устойчивый к буровому раствору. Техническим результатом изобретения является создание энергопередающего кабеля с оболочкой, способной противостоять химической агрессии и сохранять механические характеристики при очень низких температурах. 22 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к химической обработке поверхности металлов, в частности удалению защитного покрытия, состоящего из подслоя титана и слоя нитрида титана, нанесенного ионно-плазменным напылением. Раствор содержит, мас.%: хлористо-водородную кислоту 8,0-10,0, аммоний фтористый 4,5-6,0, сульфат натрия 0,5-0,9, добавку «Прогресс 21» или «Прогресс 30» 0,01-0,03, остальное - вода. Скорость растворения покрытия увеличилась в 2,5-3,6 раза без существенного ухудшения качества поверхности основного металла. 2 табл.

Изобретение может быть использовано в стекольной промышленности. Технический результат - увеличение глубины вытравливания стекла без искажения рисунка. Травильный раствор содержит HF, HNO ₃, NH₄F, H₂ O и дополнительно глицерин СН₂ОНСНОНСН ₂ОН, при следующем соотношении компонентов, мас.%: HF 20,0-24,0, HNO₃ 12,0-16,0, NH₄ F 14,0-18,0, СН₂ОНСНОНСН ₂ОН 0,5-1,5, Н₂О - остальное. 1 табл.

Изобретение может быть использовано в полиграфической, электронной и радиотехнической промышленности для регенерации сеткотрафаретных печатных экранов, полученных с помощью фоторезистов. Окислительная композиция для удаления задубленного полимерного слоя на основе поливинилового спирта содержит, мас.%: метапериодат натрия или калия или дигидроортопериодат натрия или калия 20-70; соль или соли магния, или кальция, или алюминия 20-70; одну или более кристаллических органических кислот 5-50. Изобретение позволяет повысить эффективность регенерации сеткотрафаретных печатных экранов, улучшить сохраняемость окислительных композиций.

Изобретение относится к снижению отложений сульфида железа в трубах. Осуществляют контактирование внутренней поверхности трубы с композицией, полученной из водного раствора, содержащего соединения формулы (I)

где Х означает анион с валентностью n, выбранный из определенной группы, и, по крайней мере, один амин, выбранный из группы, включающей алкиламины, диалкиламины, алкилендиамины, циклоалкиламины или их конъюгаты с кислотами. В другом варианте способа используют композицию, включающую трис(гидроксиметил)фосфин, по крайней мере, один амин или его конъюгат с кислотой, а также растворитель. В присутствии композиции происходит быстрое комплексообразование, в результате которого отложения сульфида железа растворяются и удаляются из трубы. Изобретение позволяет использовать безопасные, легко доступные и недорогостоящие материалы, позволяющие исключить связанные с химическими реакциями проблемами, в том числе осаждение полимеров. 4 н. и 68 з.п. ф-лы, 1 табл.