Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей: ...получение скрытых подложек с большим содержанием примесей, например скрытых коллекторных слоев, внутренних соединений – H01L 21/74
Раздел H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
H01 Основные элементы электрического оборудования
H01L Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам
H01L 21/00 Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей
H01L 21/74 ...получение скрытых подложек с большим содержанием примесей, например скрытых коллекторных слоев, внутренних соединений