Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей: ....герметизация, например пленками или покрытиями – H01L 21/56

Изобретение относится к вскрытию поверхности интегральной схемы. Сущность изобретения: способ вскрытия интегральной схемы путем абляции полимерной оболочки, первоначально покрывающей интегральную схему, характеризуется тем, что включает комбинированное воздействие лазерным лучом и плазмой на оболочку, при этом комбинированное воздействие осуществляют в одном и том же замкнутом пространстве. Представлена также установка для осуществления данного способа. 2 н. и 10 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к вариантам прозрачного состава, применяемого, например, в качестве заполнителя под кристаллом, к твердотельному устройству и к способу производства прозрачного состава. По первому варианту прозрачный состав содержит, по меньшей мере, одну отверждаемую ароматическую эпоксидную смолу, по меньшей мере, один растворитель, наполнитель, и, по меньшей мере, один компонент, выбранный из группы, включающей циклоалифатический эпоксидный мономер, алифатический эпоксидный мономер, гидроксиароматические соединения и их комбинации и смеси. Наполнитель представляет собой коллоидную двуокись кремния, функционализированную органосилоксаном, и имеет размер частиц от 20 нм до 100 нм. При необходимости состав содержит, по меньшей мере, один компонент, выбранный из группы, включающей эпоксидные смолы, акрилатные смолы, полиимидные смолы, фторполимеры, бензоциклобутеновые смолы, бисмалеимидные триазиновые смолы, фторированные простые полиаллиловые эфиры, полиамидные смолы, полиимидоамидные смолы, фенолкрезольные смолы, ароматические полиэфирные смолы, смолы полифениленового эфира и полидиметилсилоксановые смолы. По второму варианту прозрачный состав заполнителя под кристаллом содержит крезольно-новолачную эпоксидную смолу, по меньшей мере, один компонент, выбранный из группы, включающей циклоалифатическую эпоксидную смолу, алифатическую эпоксидную смолу, гидроксиароматические соединения и их смеси и комбинации, по меньшей мере, один растворитель, дисперсию функционализированной коллоидной двуокиси кремния, имеющей размер твердых частиц от 50 нм до 100 нм, и, по меньшей мере, один катализатор. Твердотельное устройство содержит кристалл, подложку и прозрачный отверждаемый состав заполнителя, расположенный между кристаллом и подложкой. Состав заполнителя содержит, по меньшей мере, одну ароматическую эпоксидную смолу, дисперсию функционализированной коллоидной двуокиси кремния, по меньшей мере, один растворитель, и, по меньшей мере, один компонент, выбранный из группы, включающей циклоалифатический эпоксидный мономер, алифатический эпоксидный мономер, гидроксиароматические соединения и их комбинации и смеси. Функционализированная коллоидная двуокись кремния имеет размер твердых частиц от 50 нанометров до 100 нанометров. Способ производства прозрачного состава заполнителя под кристаллом включает следующие стадии. Вначале функционализируют коллоидную двуокись кремния. Формируют стабильную концентрированную дисперсию функционализированной коллоидной двуокиси кремния, имеющей размер твердых частиц от 50 нм до 100 нм, содержащей от 15 мас.% до 75 мас.% двуокиси кремния. Смешивают раствор ароматической эпоксидной смолы с, по меньшей мере, одним компонентом, выбранным из группы, включающей циклоалифатический эпоксидный мономер, алифатический эпоксидный мономер, гидроксильные ароматические соединения и их смеси и комбинации, в растворителе, с дисперсией функционализированной коллоидной двуокиси кремния. Далее растворитель удаляют и отверждают состав заполнителя. Изобретение позволяет снизить коэффициент теплового расширения состава и повысить его температуру стеклования. 4 н. 5 з.п. ф-лы, 6 табл.