Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей: .....для подразделения полупроводниковой подложки на отдельные части, например образование перегородок – H01L 21/301
Раздел H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
H01 Основные элементы электрического оборудования
H01L Полупроводниковые приборы; электрические приборы на твердом теле, не отнесенные к другим классам или подклассам
H01L 21/00 Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей
H01L 21/301 .....для подразделения полупроводниковой подложки на отдельные части, например образование перегородок
Патенты в данной категории
УСТАНОВКА ДЛЯ ПЛАЗМОСТРУЙНОЙ ОБРАБОТКИ ПЛАСТИН
Использование: в электротехнической и электронной технологии, в частности в установках для плазмо-струйной обработки пластин. Сущность изобретения: установка включает замкнутую камеру с системой газообмена, размещенный в камере по крайней мере один держатель пластин, соединенный с вертикальным валом углового перемещения, генератор плазменной струи и по крайней мере один центрователь пластин. Последний размещен под держателем. Каждый держатель снабжен приводом вращения вокруг своей вертикальной оси. Ось каждого держателя, ось генератора и ось, проходящая через центр масс центрователя, равноудалены от оси вертикального вала. Генератор плазменной струи расположен относительно центрователя под углом  , измеряемым между двумя радиусами, один из которых соединяет оси генератора плазменной струи, а другой - ось, проходящую через центр масс центрователя, с осью того же вала, и удовлетворяющим условию: g > n/360/N/+2arcsin[(D+d)/4R] или g < (n+1)/360/n/-2arcsin[(D+d)/4R] , где n - 0,1...(N-1); D - наибольший размер центрователя вдоль линии, проходящей через его центр масс; d - поперечный размер плазменной струи; R - расстояние от оси вертикального вала до осей генератора плазменной струи, держателя пластин и оси, проходящей через центр масс центрователя. 4 з.п. ф-лы, 5 ил.
|
2067338 патент выдан: опубликован: 27.09.1996 |
|