Конструктивные элементы электронных вакуумных приборов, отнесенных к группе  ,21/00: ..необходимые для этого трубопроводы, например для откачки, вакуумные затворы для них – H01J 19/72

Изобретение относится к области вакуумной техники и может быть использовано в лабораторных условиях для гашения вибраций в вакуумных установках при использовании различных ротационных откачивающих устройств. Устройство содержит свободно подвешенный к вакуумной камере виброгасящий сильфон с откачивающим устройством на конце. Под откачивающим устройством размещена платформа и уравновешивающий груз, обеспечивающие в интервале рабочих давлений условия зависания насоса и перемещения его вдоль вертикальной оси в пределах, ограниченных режимами упругой деформации сильфона. Для повышения эффективности гашения вибраций откачивающее устройство содержит дополнительно виброгасящую пружину и второй уравновешивающий груз, свободно подвешенный с помощью данной пружины к основанию откачивающего устройства. При этом виброгасящая пружина с грузом размещены вдоль оси, проходящей через центр тяжести откачивающего устройства, а параметры виброгасящей пружины с подвешенным на ней грузом должны удовлетворять условию: С=m ², где С - жесткость виброгасящей пружины, m - масса груза и - циклическая частота вращения ротора откачивающего устройства. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к области вакуумной техники и может быть использовано в лабораторных условиях для гашения вибраций в вакуумных установках при использовании различных ротационных откачивающих устройств. Сущность: способ гашения вибраций в вакуумных установках основан на применении сильфона, размещаемого между камерой вакуумной установки и ротационным откачивающим устройством. Ротационное откачивающее устройство размещают непосредственно под рабочей камерой и подключают к ней снизу через виброгасящий сильфон. При этом откачку газов из камеры в интервале рабочих давлений ведут при условиях зависания ротационного откачивающего устройства и перемещении его вдоль вертикальной оси в пределах, ограниченных режимами упругой деформации сильфона. Сила разрежения, действующая при этом на нижнюю часть сильфона, компенсируется силой тяжести ротационного откачивающего устройства и прикладываемой к нему дополнительной уравновешивающей нагрузкой. Технический результат: повышение эффективности гашения вибраций, передаваемых рабочей камере ротационным откачивающим устройством. 1 ил.