Подготовка оригиналов для фотомеханического изготовления рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком – G03F 1/00

Изобретение относится к области микроэлектроники, а точнее к способам изготовления фотошаблонов для контактной фотолитографии с субмикронными и нанометровыми проектными нормами, и может быть использовано при изготовлении фотошаблонов для технологии изготовления акустоэлектронных устройств на поверхностных и объемных акустических волнах. Технический результат - к N раз уменьшение неровности края переносимого на фотошаблон для контактной фотолитографии изображения, по сравнению с неровностью края изображения на изготовленном рабочем фотошаблоне для проекционной фотолитографии, и сократить финансовые затраты на изготовление фотошаблона для контактной фотолитографии из-за формирования первичного изображения на рабочем фотошаблоне для проекционной фотолитографии в укрупненном в N раз масштабе и возможности многократного воспроизведения топологии рабочего фотошаблона на круглых пластинах, используемых в качестве фотошаблонных заготовок для контактной фотолитографии. Достигается тем, что в способе изготовления фотошаблонов для контактной фотолитографии с субмикронными и нанометровыми проектными нормами изготавливают фотошаблон для проекционной фотолитографии с увеличенными в N раз размерами по сравнению с размерами на изготавливаемом шаблоне для контактной фотолитографии и с использованием этого фотошаблона для проекционной фотолитографии и установок для проекционной фотолитографии, уменьшающих переносимый рисунок в N раз, переносят изображение на круглые пластины, изготовленные из прозрачного для ультрафиолетового излучения материала, имеющие линейные размеры, соответствующие линейным размерам кремниевых пластин, применяемых при изготовлении интегральных схем с использованием данных установок для проекционной фотолитографии, и на этих специальных круглых пластинах изготавливают фотошаблоны для контактной фотолитографии. 2 з.п. ф-лы, 1 пр.

Способ содержит следующие этапы. (i) Удаляют трафаретную экранирующую свет пленку с использованной крупноразмерной подложки фотошаблона для предоставления крупноразмерной формирующей фотошаблон заготовки стеклянной подложки, которая должна восстанавливаться. (ii) Повторно очищают поверхность заготовки стеклянной подложки с использованием технологического инструмента пескоструйной обработки. (iii) Повторно полируют подвергнутую повторной очистке поверхности заготовку стеклянной подложки для получения восстановленной заготовки стеклянной подложки. (iv) Накладывают экранирующую свет пленку на восстановленную заготовку стеклянной подложки для получения восстановленной крупноразмерной формирующей фотошаблон заготовки. (v) Обрабатывают экранирующую свет пленку этой заготовки в шаблон, соответствующий требуемому экспонированию маточного стекла, получая восстановленную подложку фотошаблона. Технический результат - улучшение точности экспонирования, особенно точности и разрешения совмещения. 5 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение касается способа структурирования поверхности металлического прессованного листа или бесконечной ленты и устройства для его осуществления. Способ содержит следующие стадии: нанесение маски на прессованный лист или бесконечную ленту с помощью пригодного для этого устройства; осуществление, по меньшей мере, частичного отверждения маски и химической обработки поверхности прессованного листа или бесконечной ленты. При этом для выполнения маски используют отвержденный под воздействием ультрафиолетовых лучей УФ-лак, который непосредственно после нанесения маски, по меньшей мере, частично в течение 60 секунд облучают ультрафиолетовым излучением. Прессованный лист или бесконечную ленту для нанесения и отверждения маски устанавливают на рабочем столе с ровной поверхностью. Устройство содержит: рабочий стол с ровной поверхностью, блок управления, распылительную головку, направляющие салазок для перемещения распылительной головки в любую позицию внутри образованной координатами X и У плоскости, а также независимые приводные элементы для перемещения в эту позицию. Распылительная головка содержит сопловую головку для нанесения отверждаемого под воздействием ультрафиолетового излучения УФ-лака. Сопловая головка снабжена источником ультрафиолетового излучения, причем сопловая головка проходит на расстоянии от 0,1 до 4 мм от поверхности прессованных листов или бесконечных лент. Обеспечивается улучшение разрешающей способности полученных масок. 2 н. и 36 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к фотошаблонным заготовкам, предназначенным для получения шаблонов с последующей передачей рисунка микроизображения на полупроводниковую пластину при изготовлении интегральных схем. Предлагается в процессе нанесения маскирующего слоя окиси железа окислительным пиролизом пентакарбонила железа в газ-носитель вводить окислитель в виде газообразного галогена, что стабилизирует процесс окисления и делает его более полным. Технический результат - получение менее дефектных маскирующих пленок и снижение температуры процесса. 3 з.п. ф-лы, 1 табл.