Насосы и компрессоры, не отнесенные к группам  ,25/00: .для создания вакуума тепловыми средствами – F04B 37/06

Изобретение относится к классу молекулярных газовых насосов, использующих эффект теплового скольжения газа вдоль неравномерно нагретых стенок для создания откачки. Насосы такого типа могут быть использованы для откачки газа из микроустройств или в микроаналитических системах, анализирующих малые объемы газов. Газовый микронасос содержит разделительные цилиндрические непрерывные трубки, состоящие по меньшей мере из двух чередующихся ступеней последовательно соединенных трубок малого и большого радиуса. Один конец трубок является горячей зоной, а противоположный - холодной зоной. Конструкция насоса состоит из чередующихся прямых трубок большого радиуса R и изогнутых трубок U-образной формы малого радиуса r. При этом трубки U-образной формы выполнены из материала аэрогеля, причем горячая и холодная зоны зона представляют собой силиконовые чипы цилиндрической формы, а поверхность силиконового чипа горячей зоны содержит золотую пленку. Газовый насос обладает большей эффективностью, чем его известные аналоги, за счет повышенного эффекта теплового скольжения в изогнутых U-образных трубках. Изогнутые трубки позволяют создавать более гибкие конструкции, уменьшая размеры насосов. 3 з.п.ф-лы, 10 ил.