Насосы и компрессоры, не отнесенные к группам  25/00 – F04B 37/00

Изобретение относится к области насосостроения и предназначено для создания сверх высокого вакуума. Комбинированная откачивающая система, содержащая геттерный насос (120; 220) и ионный насос (130; 230). Геттерный насос и ионный насос (120, 130; 220, 230) смонтированы последовательно на одном и том же фланце (111; 211) и размещены, соответственно, на его противоположных сторонах, так что проводимость как геттерного насоса, так и ионного насоса увеличивается в направлении источников газового потока в вакуумной камере. Повышается уровень вакуума системы. 10 з.п. ф-лы, 5 ил., 2 табл.

Изобретение относится к газопоглощающим материалам, в частности к спеченным неиспаряющимся геттерам, и может быть использовано в вакуумной технике и микроэлектронике, в частности в разрядных приборах. Спеченный неиспаряющийся геттер содержит три слоя, при этом первый и третий слои выполнены из порошка сплава титан - ванадий при их соотношении, вес.%, 70:30, второй слой - из смеси упомянутого порошка сплава и интеркалированного углерода при их соотношении, вес.%, (80:20)-(99:1), толщина первого и третьего слоя составляет 20-200 среднего размера порошка сплава, толщина второго слоя составляет 1-6 толщины первого или третьего слоя, активная площадь слоев эквивалентна геометрической площади геттера не менее 500-кратного значения, при этом пористостью спеченного геттера составляет 30-60%. Техническим результатом изобретения является расширение функциональных возможностей, повышение сорбционных свойств и механической прочности. 6 пр., 1 табл., 1 ил.

Изобретение относится к холодильной технике, а точнее к области проектирования и эксплуатации компрессионных термических устройств (термокомпрессоров). Термокомпрессионное устройство содержит источник газа высокого давления с подключенным к нему баллоном-компрессором, устройство для термоциклирования баллона-компрессора и магистраль прокачки теплоносителя. Баллон-компрессор выполнен в виде теплоизолированной двустенной емкости с оребрением внутреннего сосуда, размещенным в межстенной полости, подключенной к устройству для термоциклирования баллона-компрессора, выполненному в виде разнотемпературных теплообменников, параллельно включенных в магистраль прокачки теплоносителя. Двустенная емкость снабжена внешней герметичной оболочкой, образующей с наружной стенкой двустенной емкости теплоизоляционную полость, в которой размещена экранно-вакуумная теплоизоляция в виде ленты, намотанной по спирали с перекрещиванием каждого последующего слоя с предыдущим и закрепленного на наружной стенке двустенной емкости. Непосредственно на наружной стенке с тепловым контактом закреплена угольная ткань, а между угольной тканью и теплоизоляцией проложены жгуты из стекловуали. Техническим результатом изобретения является улучшение конструкции термокомпрессионного устройства, повышение эффективности работы теплоизоляции и снижение теплопритоков в баллоне-компрессоре. 1 ил.

Изобретение относится к холодильной технике, а точнее к области проектирования и эксплуатации компрессионных термических устройств. Термокомпрессионное устройство содержит источник газа высокого давления с подключенным к нему баллоном-компрессором, устройство для термоциклирования баллона-компрессора и магистраль прокачки теплоносителя. Баллон-компрессор выполнен в виде теплоизолированной двустенной емкости с оребрением внутреннего сосуда, размещенным в межстенной полости, подключенной к устройству для термоциклирования баллона-компрессора, выполненному в виде разнотемпературных теплообменников. Внутренний сосуд баллона-компрессора заполнен аккумулирующей насадкой из высокотеплопроводного материала. Техническим результатом настоящего изобретения является улучшение конструкции термокомпрессионного устройства и повышение эффективности теплообмена при работе баллона-компрессора. 1 ил.

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для сжатия, нагнетания и транспортирования газов, повышения взрывобезопасности сжатия газов. Компрессор состоит из корпуса, цилиндра с поршнем, всасывающего и нагнетательного трубопроводов с клапанами, системы жидкостного охлаждения и расположенного в системе жидкостного охлаждения газораспределительного коллектора, выполненного в виде изогнутого по дуге трубопровода с равномерно расположенными отверстиями. Повышается взрывобезопасность сжатия газов. 1 ил.

Изобретение относится к холодильной технике, а точнее к области проектирования и эксплуатации компрессионных термических устройств. Термокомпрессионное устройство содержит источник газа высокого давления, подключенный к баллонам-компрессорам, устройство для термоциклирования баллонов-компрессоров с набором разнотемпературных емкостей, магистраль заправки и магистраль подачи газа в баллоны потребителя, снабженную теплообменником-охладителем. В магистраль подачи газа в баллоны потребителя введен предохранительный клапан, установленный на выходе из баллонов-компрессоров, размещенный в герметичном кожухе, сообщенном через запорное устройство с емкостью для сбора сбрасываемого газа. Техническим результатом является обеспечение защиты от повышения давления газа в магистрали подачи газа в баллоны потребителя, повышение надежности и экономичности при обеспечении заправки баллонов потребителя, исключающей загрязнение закачиваемого газа. 1 ил.

Изобретение относится к вакуумированной солнечной панели с геттерным насосом, в частности согласно изобретению геттерный насос представляет собой насос с неиспаряющимся геттером (NEG). Вакуумированная солнечная панель (1) содержит раму (2), вмещающую в себя множество распорок (3), несущих прозрачную стенку (4). Прозрачная стенка (4) с рамой (2) определяет закрытую камеру (6), вмещающую распорки (3), абсорбер (8) и геттерный насос (15). Геттерный насос (15) содержит оболочку, имеющую избирательно зачерненные внешние поверхности и содержащую один или более неиспаряющихся геттерных элементов. Изобретение должно снизить стоимость и увеличить надежность вакуумированной солнечной панели с NEG насосом. 8 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к классу молекулярных газовых насосов, использующих эффект теплового скольжения газа вдоль неравномерно нагретых стенок для создания откачки. Насосы такого типа могут быть использованы для откачки газа из микроустройств или в микроаналитических системах, анализирующих малые объемы газов. Газовый микронасос содержит разделительные цилиндрические непрерывные трубки, состоящие по меньшей мере из двух чередующихся ступеней последовательно соединенных трубок малого и большого радиуса. Один конец трубок является горячей зоной, а противоположный - холодной зоной. Конструкция насоса состоит из чередующихся прямых трубок большого радиуса R и изогнутых трубок U-образной формы малого радиуса r. При этом трубки U-образной формы выполнены из материала аэрогеля, причем горячая и холодная зоны зона представляют собой силиконовые чипы цилиндрической формы, а поверхность силиконового чипа горячей зоны содержит золотую пленку. Газовый насос обладает большей эффективностью, чем его известные аналоги, за счет повышенного эффекта теплового скольжения в изогнутых U-образных трубках. Изогнутые трубки позволяют создавать более гибкие конструкции, уменьшая размеры насосов. 3 з.п.ф-лы, 10 ил.

Изобретение относится к холодильной технике, а точнее к области проектирования и эксплуатации компрессионных термических устройств. Термокомпрессионное устройство, содержащее источник газа высокого давления с подключенным к нему баллоном-компрессором, устройство для термоциклирования баллона-компрессора и магистраль прокачки теплоносителя. Баллон-компрессор выполнен в виде теплоизолированной двустенной емкости с оребрением внутреннего сосуда, размещенным в межстенной полости, подсоединенной к устройству для термоциклирования баллона-компрессора, выполненному в виде разнотемпературных теплообменников, параллельно включенных в магистраль прокачки теплоносителя. Оребрение внутреннего сосуда выполнено спиралевидной формы с образованием спирального канала между стенкой внутреннего сосуда и наружной стенкой двустенной емкости. Техническим результатом настоящего изобретения является улучшение конструкции термокомпрессионного устройства и повышение эффективности теплообмена при работе баллона-компрессора. 1 ил.

Изобретение относится к термоциклическим испытаниям. Теплопоглощающая панель выполнена в виде плоской полой прямоугольной криопанели. Поглощающая поверхность криопанели снабжена микровыступами и продольными плоскими параллельными ребрами, размещенными на ней под углом 45° и с шагом, равным длине их горизонтальной проекции. Обеспечивается повышение «черноты» поглощающей поверхности и стойкости к разрушению поверхности криопанели, обращенной к тепловому излучению. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к области компримирования газов, а точнее к компрессорным установкам, использующим для своей работы тепловую энергию, и может использоваться в химической, нефтеперерабатывающей, газоперерабатывающей и других отраслях промышленности. Установка содержит два попеременно охлаждаемых и нагреваемых генератора-адсорбера, каждый из которых представляет собой вертикальный цилиндрический корпус, внутри которого установлен теплообменный блок радиально-спирального типа, причем в аксиальные щелевые каналы загружается твердый адсорбент, а в радиально-спиральные щелевые каналы подаются попеременно теплоноситель и хладоноситель. Генераторы-адсорберы подключаются в режиме адсорбции к линиям газа низкого давления и хладоносителя, а в режиме десорбции - к линиям газа высокого давления и теплоносителя. Перевод адсорберов-генераторов с режима адсорбции на режим десорбции осуществляется с помощью обратных и трехходовых переключающих клапанов. Изобретение позволяет повысить эффективность и производительность установок такого типа, а также снизить габариты и металлоемкость. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к холодильной технике, а точнее к области проектирования и эксплуатации компрессионных термических устройств. Техническим результатом является улучшение конструкции и компоновки термокомпрессионного устройства и повышение эффективности путем улучшения теплообмена при прокачке теплоносителя. Технический результат достигается тем, что в термокомпрессионном устройстве, содержащем источник газа высокого давления с подключенным к нему баллоном-компрессором, устройство для термоциклирования баллона-компрессора и магистраль прокачки теплоносителя, в отличие от прототипа, баллон-компрессор выполнен в виде теплоизолированной двустенной емкости с оребрением внутреннего сосуда, размещенным в межстенной полости, подсоединенной к устройству для термоциклирования баллона-компрессора, выполненному в виде разнотемпературных теплообменников и параллельно включенных в контур магистрали прокачки теплоносителя, при этом теплообменники выполнены в виде змеевиков из трубки с оребрением, причем один теплообменник снабжен рубашкой для прокачки хладагента, а другой снабжен подогревателем, нагревательный элемент которого расположен в пазах между ребер трубки, контактируя с ней, при этом каждый теплообменник снабжен внешним кожухом с теплоизоляцией. 2 ил.

Изобретение относится к холодильной технике, а точнее к области проектирования и эксплуатации компрессионных термических устройств. Термокомпрессионное устройство содержит источник газа высокого давления с подключенным к нему баллоном-компрессором, устройство для термоциклирования баллона-компрессора и магистраль прокачки теплоносителя. Баллон-компрессор выполнен в виде теплоизолированной двустенной емкости с оребрением внутреннего сосуда, размещенным в межстенной полости, подсоединенной к устройству для термоциклирования баллона-компрессора, выполненному в виде теплообменников, параллельно включенных в магистраль прокачки теплоносителя. Один теплообменник снабжен рубашкой для прокачки хладагента, а другой - подогревателем теплоносителя. В одном варианте устройства магистраль прокачки теплоносителя выполнена в виде замкнутого контура, в который включены побудитель циркуляции теплоносителя и ресивер. В другом варианте магистраль прокачки теплоносителя выполнена в виде разомкнутого контура и на входе подключена к источнику подачи теплоносителя. 2 н.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к холодильной технике. Термокомпрессионное устройство содержит источник газа высокого давления, подключенный посредством магистрали подачи газа к баллонам-компрессорам, устройство для термоциклирования баллонов-компрессоров из набора разнотемпературных емкостей, включающего низкотемпературную емкость с теплообменником, подключенным к источнику холода, и установочное устройство, выполненное в виде цилиндрического корпуса, закрепленного с возможностью поворота на оси, жестко закрепленной на платформе. На боковой поверхности цилиндрического корпуса посредством разъемных кронштейнов закреплены разнотемпературные емкости на равных расстояниях от оси. К входу в теплообменник низкотемпературной емкости гибким трубопроводом подключен источник холода в виде сосуда Дьюара с криогенным продуктом, закрепленного на боковой поверхности цилиндрического корпуса посредством кронштейна с установочной площадкой. На платформе жестко закреплена неподвижная стойка, оснащенная механизмом подъема разнотемпературных емкостей, в верхней части неподвижной стойки на кронштейне закреплена крышка, размеры которой соответствуют размеру горловин разнотемпературных емкостей и на которой подвешены баллоны-компрессоры, а также побудитель циркуляции теплоносителя в разнотемпературных емкостях. Техническим результатом является улучшение конструкции и компоновки термокомпрессионного устройства, а также упрощение его эксплуатационных качеств. 1 ил.

Изобретение относится к области разработки, создания и эксплуатации компрессоров для газообразных сред. Все преобразования энергии проводят в рабочем объеме одного цилиндра, который разделяют на камеру нагнетания, куда при работе в компрессорном режиме подают компремируемый газ из магистрали низкого давления и камеру сгорания, куда при работе в компрессорном режиме подают воздух, а топливо подают из камеры нагнетания. Тепловую энергию, получаемую в камере сгорания, преобразуют в потенциальную энергию газа камеры нагнетания, причем на такте расширения часть потенциальной энергии компремированного газа используют для подачи его в магистраль высокого давления, а остальную часть - для обеспечения двигательного режима. Перевод в двигательный режим осуществляют переключением подач воздуха в камеру нагнетания, а топлива в камеру сгорания. Такой способ работы может быть реализован в компрессоре поршневого типа. В цилиндре компрессора установлены: дополнительный поршень, не связанный с валом компрессора, который разделяет рабочий объем цилиндра на камеры нагнетания и сгорания, упор, ограничивающий перемещение дополнительного поршня, магистраль и управляемый клапан подачи топлива из камеры нагнетания в камеру сгорания, клапана выпуска отработавших газов и подачи воздуха в камеру сгорания. В этом случае камера сгорания работает как в поршневом ДВС. При этом тепловая энергия расходуется не только на создание крутящего момента вала, но и на компремирование и подачу газа в магистраль высокого давления. Для перевода двигателя-компрессора из работы в компрессорном режиме на двигательный, установлены клапана переключения подачи в камеру нагнетания вместо газообразного топлива - воздуха и в камеру сгорания вместо воздуха - топлива. Снижаются потери энергии, улучшаются массогабаритные и эксплуатационные характеристики, при этом обеспечивается перевод режима работы двигателя-компрессора с компрессорного на двигательный. 2 н. и 2 з.п.ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к области разработки, создания и эксплуатации компрессоров для перекачки или компремирования газообразных сред. Преобразование тепловой энергии в потенциальную энергию газа для наполнения, сжатия и подачи в магистраль высокого давления проводят в одном рабочем объеме, который разделяют на камеры нагнетания и сгорания. Получаемую в камере сгорания тепловую энергию преобразуют в потенциальную энергию газа камеры нагнетания, причем на такте расширения часть потенциальной энергии газа камеры нагнетания используют для подачи газа в магистраль высокого давления, а остальную часть для обеспечения двигательного режима. Такой способ работы может быть реализован в компрессоре поршневого типа. В цилиндре компрессора установлены дополнительный поршень, не связанный с валом компрессора, который разделяет рабочий объем цилиндра на камеры нагнетания и сгорания и перемещается под действием разности давлений между камерами. В цилиндре установлены форсунка подачи топлива, клапана впуска воздуха и выпуска отработавших газов. В этом случае камера сгорания двигатель-компрессора работает аналогично камере сгорания поршневого двигателя внутреннего сгорания, тепловая энергия которого идет не только на создание вращательного момента вала, но и на сжатие и подачу газа в магистраль высокого давления. Для двигатель-компрессора с количеством цилиндров более одного установлены переключающие клапана на магистралях сообщения камер нагнетания с магистралями высокого и низкого давлений, обеспечивающие параллельное, для повышения объемной производительности, или последовательное, для повышения давления, соединения камер нагнетания разных цилиндров. 2 н. и 3 з.п.ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к компрессионным термическим устройствам. Термокомпрессионное устройство содержит источник газа высокого давления, подключенный к баллонам-компрессорам, устройство для термоциклирования баллонов-компрессоров, из набора разнотемпературных емкостей и источника холода. Источник холода в виде сосуда Дьюара, заполненного хладагентом, совместно с разнотемпературными емкостями расположен на установочном устройстве. Установочное устройство закреплено с возможностью вращения. Низкотемпературная емкость теплоизолирована, заполнена жидким теплоносителем и снабжена размещенным в теплоносителе теплообменником. Теплообменник выполнен в виде змеевика с бифилярной намоткой трубки и диаметром образующей намотки, превышающим диаметр окружности, охватывающей баллоны-компрессоры. Один конец трубки через боковой вывод из емкости подключен посредством гибкой связи и переходника к сосуду Дьюара, снабженному системой наддува. Другой конец трубки сообщен с атмосферой. Баллоны-компрессоры и источник формирования потока жидкого теплоносителя в емкости подвешены на крышке емкости, прикрепленной к кронштейну в верхней части стойки подъемного механизма. Подъемный механизм расположен совместно с установочным устройством на платформе, снабженной устройствами для ее перемещения и фиксации. Техническим результатом является упрощение конструкции (компоновки), улучшение эксплуатации и повышение эффективности термокомпрессионного устройства. 3 н.п.ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к компрессионным термическим устройствам. Термокомпрессионное устройство содержит источник газа высокого давления, подключенный к баллонам-компрессорам, и устройство для термоциклирования баллонов-компрессоров. Устройство для термоциклирования баллонов-компрессоров выполнено в виде набора разнотемпературных емкостей с одинаковыми горловинами, закрепленных на держателе, установленном на стойке. В верхней части стойки установлен кронштейн с прикрепленной к нему крышкой. Размер крышки соответствует размеру каждой из горловин разнотемпературных емкостей. На крышку подвешены баллоны-компрессоры. Расстояние от продольных осей разнотемпературных емкостей до оси неподвижной стойки, а также расстояние между центром крышки и осью неподвижной стойки равны. Держатель по первому варианту установлен с возможностью вращательно-поступательного перемещения относительно стойки, а кронштейн закреплен в верхней части неподвижной стойки жестко. По второму варианту держатель установлен с возможностью вращательного перемещения относительно неподвижной стойки, а кронштейн установлен с возможностью поступательного перемещения вдоль неподвижной стойки. По третьему варианту держатель закреплен жестко, а кронштейн установлен с возможностью поступательного и вращательного перемещения относительно стойки. Трубопровод, подключающий источник газа высокого давления к баллонам-компрессорам, по второму и третьему вариантам снабжен гибкой связью. Техническим результатом является упрощение конструкции и эксплуатации устройства. 3 н.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к компрессионным термическим устройствам. Термокомпрессионное устройство содержит источник газа высокого давления, подключенный к баллонам-компрессорам, и устройство для термоциклирования баллонов-компрессоров. Устройство для термоциклирования баллонов-компрессоров выполнено в виде набора разнотемпературных емкостей с одинаковыми горловинами, закрепленных на держателе. Держатель установлен с возможностью вращательно-поступательного перемещения относительно пустотелой стойки. Введен подъемно-поворотный механизм, трос которого одним концом закреплен в центре тяжести держателя разнотемпературных емкостей. Другой конец троса пропущен через блок и прикреплен к расположенному внутри пустотелой стойки противовесу. Блок установлен на шарикоподшипниковом подпятнике в верхней части стойки. Противовес перемещается вдоль оси стойки. К верхней части пустотелой стойки жестко прикреплен кронштейн с закрепленной на нем крышкой. На крышке подвешены баллоны-компрессоры. Размеры крышки соответствуют размерам горловин разнотемпературных емкостей. Расстояния между продольными осями разнотемпературных емкостей и осью пустотелой стойки, а также между центром крышки и осью пустотелой стойки равны. Техническим результатом является упрощение конструкции и эксплуатации устройства. 1 ил.

Изобретение относится к области компрессионных термических устройств (термокомпрессоров). Термокомпрессионное устройство содержит источник газа высокого давления, баллоны-компрессоры, устройство для термоциклирования баллонов-компрессоров, баллоны потребителя, теплообменник-охладитель, магистраль, трубопровод и пускоотсечные устройства. К магистрали, соединяющей источник газа высокого давления с баллонами потребителя, между установленными на ней первым и вторым пускоотсечными устройствами подключен одним концом трубопровод. Другой конец трубопровода подключен к баллонам-компрессорам. На трубопровод установлен теплообменник-охладитель. Между теплообменником-охладителем и устройством термоциклирования установлено третье пускоотсечное устройство. Техническим результатом является обеспечение перекачки газа из баллонов-потребителя в баллоны газа высокого давления и повышение экономичности. 1 ил.

Устройство предназначено для использования в области машиностроения. Приспособление для получения вакуума с помощью сжатого воздуха содержит связанные штоком два оппозитно расположенных поршня, помещенных в цилиндры. Содержит также клапаны и устройство подачи сжатого воздуха. Устройство подачи сжатого воздуха выполнено в виде установленных оппозитно на днищах цилиндров двух клапанных камер, сообщающихся между собой трубкой. Первые камеры подключены к патрубкам подачи сжатого воздуха и имеют отверстия для сброса последнего. Они содержат соединенные штоком клапан и поршень, разделенные перегородкой с сальником. Вторые камеры содержат клапан, установленный с возможностью осевого перемещения совместно со штоком поршней насоса и с жестко закрепленными на нем с двух сторон от клапана дисками. Создающий вакуум поршень перемещается поршнем, который движется под действием сжатого воздуха. Создается непрерывная, без автоматических остановок, работа поршневых пар. 2 ил.

Изобретение относится к двигателестроению, в частности к устройствам, создающим в определенных объемах разрежение газовых и парогазовых сред. Изобретение позволяет получать вакуум при откачивании вакуумным насосом газовых или парогазовых сред. Вакуумный насос содержит кривошипно-шатунный механизм, механизм газораспределения, устройство для воспламенения свежего заряда в цилиндре, системы питания, смазки, охлаждения и пуска, дроссельную заслонку системы питания, устройство дозирования топлива, вакуумную магистраль, снабженную дроссельным устройством, выполненным с возможностью изменения проходного сечения. Насос снабжен системой регулирования разрежения во впускном коллекторе, взаимодействующей с дроссельным устройством, дроссельной заслонкой и устройством дозирования топлива и выполненной с возможностью ограничения минимального и максимального разрежения при работе. Система выполнена с возможностью регулирования разрежения или по частоте вращения коленчатого вала или по сигналу датчика разрежения во впускном коллекторе. В качестве устройства для воспламенения заряда в цилиндре может быть использована дизельная аппаратура подачи топлива. Узлы механизма газораспределения выполнены таким образом, что отсутствует перекрытие впускных и выпускных клапанов. При откачивании воздуха он имеет степень сжатия больше 15 при искровом зажигании и степень сжатия больше 30 при использовании дизельной аппаратуры подачи топлива. На вакуумной магистрали на участке впускной коллектор - полость, в которой создается вакуум, установлен фильтр. На вакуумной магистрали установлен нагнетатель, который может быть выполнен, например, с турбинным приводом или с приводом от коленчатого вала. Насос имеет несколько ступеней сжатия, причем сгорание происходит в последней ступени. 6 з.п. ф-лы, 2 ил.

Устройство предназначено для использования в области энергетических машин, для преобразователей тепловой энергии газового носителя в энергию сжатого или разреженного воздуха, например, в вакуумном насосе. Содержит источник газового теплоносителя, соединенный с проточным теплообменником, размещенным в камере охлаждения, сообщающейся с атмосферным воздухом через рабочий патрубок. На входе в теплообменник установлен входной клапан для периодической подачи нагретого газа. На выходе - выходной клапан, нормально закрытый при давлении газа в теплообменнике, равном или меньше атмосферного. В рабочем патрубке камеры охлаждения установлен входной клапан, нормально закрытый при давлении в камере, равном или более атмосферного. Сама камера соединена с атмосферой через выходной клапан, нормально закрытый при давлении в камере, равном или менее атмосферного. Полость теплообменника соединена с рабочим патрубком камеры охлаждения через клапан, нормально закрытый при давлении в теплообменнике, равном или более атмосферного. Повышается срок службы насоса и упрощается его работа. 1 ил.

Изобретение относится к области криогенной и вакуумной техники и касается конструкции вымораживающих ловушек, используемых в вакуумных технологиях. Вымораживающая ловушка содержит цилиндрический корпус, в котором соосно размещена емкость с криогенной жидкостью, с винтовым оребрением на внешней поверхности. Цилиндрический экран установлен с зазором относительно стенки корпуса. В емкости расположен стержень с винтовой нарезкой, вершины которой примыкают к цилиндрической стенке емкости с образованием винтового канала для отходящих паров криогенной жидкости, причем поступающая в ловушку парогазовая смесь проходит сначала вдоль поверхности, охлаждаемой отходящими парами криогенной жидкости, а затем вдоль поверхности охлаждаемой непосредственно криогенной жидкостью. Вымораживающая ловушка имеет упрощенную конструкцию и обладает более эффективным использованием отходящих паров криогенной жидкости за счет увеличения площади поверхности, охлаждаемой парами криогенной жидкости, и изменением направления прохождения парогазовой смеси сначала вдоль поверхности, охлаждаемой парами криогенной жидкости, а после вдоль поверхности, охлаждаемой кипящей криогенной жидкостью, что обеспечивает снижение расхода криогенной жидкости. 1 ил.

Изобретение относится к способу изготовления пористых газопоглотительных устройств с пониженной потерей частиц и к устройствам, изготавливаемым этим способом. Предложенный способ включает формирование покрытия с толщиной по меньшей мере 0,5 мкм на поверхности пористого газопоглотительного тела. Покрытие формируют из материала, совместимого с условиями использования газопоглотительного устройства и выбранного из числа переходных металлов, редкоземельных элементов и алюминия, путем испарения, осаждения из генерируемой дуговым разрядом плазмы, осаждения из ионного пучка или катодного осаждения, при этом частицы газопоглотительного тела покрывают покрытием частично на внешней поверхности указанного газопоглотительного тела. Предложенное устройство изготавливают заявленным способом. Техническим результатом изобретения является разработка способа, обеспечивающего изготовление пористых газопоглотительных устройств со сниженной потерей частиц. 2 н. и 17 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к устройствам для создания вакуума и может быть использовано для обеспечения предварительного разрежения в вакуумных системах. Насос содержит полый корпус, две соосные части которого размещены каждая внутри соответствующей катушки электромагнита. В одной из указанных частей с возможностью осевого перемещения размещен впускной клапан, а в другой части корпуса закреплен выпускной клапан и размещен с возможностью осевого перемещения полый шток, являющийся якорем электромагнита, с двумя открытыми торцами и с мембраной, центральной частью герметично закрепленной на штоке со стороны впускного клапана, а периферийной частью на корпусе. В части корпуса, в которой расположен выпускной клапан, могут быть дополнительно размещены два обратных клапана, один из которых разделяет переменный объем, ограниченный указанной частью корпуса и мембраной, и постоянный объем корпуса выпускного клапана, а другой разделяет указанный переменный объем и атмосферу. Насос обладает высокой надежностью и прост в изготовлении. 5 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к процессам осаждения тонких пленок. Может применяться при производстве интегральных микросхем, носителей для хранения информации, плоских дисплеев и т.п. Предложен способ осаждения тонких пленок на подложку. Газопоглощающее устройство в активированном состоянии вводят во взаимодействие с рабочей газовой средой в вакуумируемой рабочей камере. Сумма парциальных давлений химически активных газов в камере не более 10^-3 мбар (0,1 Па). Перед началом процесса осаждения газопоглощающее устройство удаляют из рабочей камеры с использованием автоматизированного оборудования и операций для манипулирования подложками. При этом в рабочей камере поддерживается вакуум или давление, требующееся для процесса осаждения. Техническим результатом является увеличение выхода годного продукта при осаждении тонких пленок на подложку за счет уменьшения загрязнения рабочей среды и времени на откачку камеры. 10 з.п. ф-лы, 8 ил.