устройство для нанесения покрытий в вакуумных установках

Формула изобретения

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМНЫХ УСТАНОВКАХ, содержащее камеру, внутри которой размещены испаритель и механизм вращения подложкодержателя с подложкой, включающий электродвигатель с установленным на валу подложкодержателем, отличающееся тем, что механизм вращения подложкодержателя дополнительно снабжен двумя рамками, закрепленными в опорах, неподвижно размещенных в камере, вставленных одна в другую с возможностью независимого вращения, каждая от своего электродвигателя, причем электродвигатель внешней рамки неподвижно закреплен на корпусе камеры, а на внутренней рамке закреплены второй дополнительный электродвигатель и электродвигатель с установленным на валу подложкодержателем.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к области нанесения покрытий в экологически чистых вакуумных технологических установках.

Известно устройство для нанесения покрытий в вакуумных установках, содержащее камеру, внутри которой расположены испаритель и подложкодержатель с подложкой [1]

Недостатком этого устройства является невозможность получения слоев покрытия по выбранному закону распределения толщин для подложек любой объемной формы, а также значительное газовыделение с поверхностей камеры и внутрикамерной оснастки, приводящее к ухудшению состава остаточной газовой среды.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является устройство для нанесения покрытий в вакуумных установках [2] содержащее камеру, внутри которой расположен испаритель и механизм вращения подложкодержателя с подложкой, выполненный в виде электродвигателя с закрепленным на валу подложкодержателем.

Недостатком прототипа является невозможность получения слоев покрытия по выбранному закону распределения толщин для подложек любой объемной формы, а также одновременного и независимого вращения подложки по трем координатным осям. Кроме того, значительное газовыделение с поверхностей камеры и внутрикамерной оснастки приводит к ухудшению состава остаточной газовой среды.

Задачей изобретения является получение слоев покрытия по выбранному закону распределения толщин для подложек любой объемной формы при одновременном и независимом вращении подложки по трем координатным осям, а также утолщение состава остаточной газовой среды.

Для этого механизм вращения подложкодержателя выполнен в виде двух подвижным рам, установленных одна в другую в опорах с возможностью от двух электродвигателей, один из которых установлен на внешней подвижной раме, а другой закреплен неподвижно в камере. Электродвигатель с закрепленным на валу подложкодержателем установлен во внутренней подвижной раме, а поверхности камеры и механизма вращения, обращенные в вакуумный объем, обработаны пескоструйным методом.

Введение в устройство механизма вращения подложкодержателя, выполненного в виде двух подвижных рам, установленных одна в другую в опорах с возможностью вращения от двух электродвигателей, а также установка электродвигателя с закрепленным на валу подложкодержателем во внутренней подвижной раме позволяет получить слои покрытия по выбранному закону распределения толщин для подложек любой объемной формы при возможности одновременного и независимого вращения подложки по трем координатным осям. Обработка поверхностей камеры и механизма вращения, обращенных в вакуумный объем, пескоструйным методом позволяет значительно (в 2,5 3 раза) уменьшить их газовыделение и улучшить состав остаточной газовой среды. При этом повышает качество изделий электронной техники.

На чертеже представлено предложенное устройство для нанесения покрытий в вакуумных установках.

Устройство для нанесения покрытий в вакуумных установках содержит камеру 1, внутри которой расположен испаритель 2 и механизм вращения подложкодержателя 3 с подложкой 4, выполненный в виде двух подвижных рам 5 и 6, установленных одна в другую в опорах 7 с возможностью вращения от двух электродвигателей 8 и 9. Двигатель 9 установлен на внешней подвижной раме 6, а двигатель 9 неподвижно в камере 1. Подложкодержатель 3 с подложкой 4 закреплен на валу электродвигателя 10, установленного во внутренней подвижной раме 5. Поверхности камеры и механизма вращения, обращенные в вакуумный объем, обработаны пескоструйным методом.

Устройство для нанесения покрытий в вакуумных установках работает следующим образом.

При включении электродвигателей 8-10 подложка 4, выполненная например, в форме шара, начинает вращаться в рамках 5 и 6 относительно трех координатных осей. При этом происходит напыление всех поверхностей подложки. Выбранный закон распределения толщин реализуется за счет различных частот вращения электродвигателей 8-10.

При эксплуатации устройства значительно (в 2,5-3 раза) уменьшается газовыделение с поверхностей камеры и внутрикамерной оснастки по отношению к устройству, не обработанному пескоструйным методом.

Применение предлагаемого устройства для нанесения покрытий в вакуумных установках позволяет получать слои покрытия по выбранному закону распределения толщин для подложек любой объемной формы, при этом подложка может одновременно и независимо вращаться по трем координатным осям. Кроме того, при работе устройства уменьшается газовыделение с поверхностей камеры и внутрикамерной оснастки, улучшается состав остаточной газовой среды, что оказывает влияние на повышение качества изделий электронной техники.

Устройство целесообразно использовать при разработке экологически чистого вакуумного технологического оборудования производства электронной техники.