датчик перемещений

Классы МПК:H01L27/14 содержащие полупроводниковые компоненты, чувствительные к инфракрасному излучению, свету, коротковолновому электромагнитному или корпускулярному излучению, и специально предназначенные как для преобразования энергии этих излучений в электрическую энергию, так и для управления электрической энергией с помощью таких излучений
Автор(ы):, , ,
Патентообладатель(и):Государственное предприятие "Научно-производственное объединение "Орион",
Институт космических исследований РАН
Приоритеты:
подача заявки:
1991-06-14
публикация патента:

Использование: изобретение относится к полупроводниковым приборам и представляет собой растровый многоэлементный кремниевый фотоприемник (РМКФ), выполненный из светочувствительных полосок на кремниевой подложке, размещаемой в фокальной плоскости объективов. РМКФ работает как пространственно-частотный фильтр. Преимущественная область использования - в навигационных приборах повышенной точности, курсовой и орбитальной ориентации космических аппаратов (КА) и самолетов по освещенному фону планет или фону звездного неба и стабилизации КА в пространстве путем закрутки вокруг осей, проходящих через центр массы КА, а также в наземной аппаратуре для анализа динамики колебаний, перемещений элементов конструкций, протекания физических явлений. Конструкция РМКФ образована кремниевой подложкой, на которой с каждой стороны от оси симметрии под углом 35 - 50к этой оси нанесены автономные фоточувствительные полоски шириной порядка 0,01 мм с промежутками, равными ширине фоточувствительных полосок, при этом последние электрически объединены с правой и левой сторон от оси симметрии проводящими шинами в независимые группы, образуя два независимых растровых фотоприемных канала с общим базовым выводом от кремниевой подложки. Фоточувствительные полосы могут быть соединены с проводящими шинами через разделительные диоды. 3 ил. , 2 табл.
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4

Формула изобретения

1. ДАТЧИК ПЕРЕМЕЩЕНИЙ, состоящий из подложки и размещенных на ней пар фоточувствительных элементов в виде полос, расположенных под углом к оси симметрии, отличающийся тем, что, подложка выполнена из кремния с общим базовым контактом, полосы справа и слева от оси симметрии электрически объединены проводящими шинами в независимые группы, при этом шаг полос равен удвоенной ширине полосы.

2. Датчик по п. 1, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, полосы соединены с проводящими шинами через разделительные диоды.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к фотоприемникам, применяемым в приборах ориентации осей космических аппаратов (КА) и приборов, на них установленных, а также в авиационных приборах для осуществления курсовой ориентации самолетов.

Известны приборы ориентации осей космических аппаратов с использованием частотного растра [1] .

В указанном приборе при ширине непрозрачных и прозрачных полос (промежутков) частотного растра h = 0,25 мм ошибка орбитальной ориентации КА по освещенному (дневному) фону земной поверхности составляет датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747 3о.

Такая ошибка является нижним допустимым пределом для некоторых задач КА и совершенно недопустима для курсовой ориентации самолетов.

Известен датчик перемещений, используемый для определения координат положения цели в пространстве, в состав которого входит детектор ИК-излучения, представляющий собой составной многоэлементный фотоприемник (ФП), состоящий из n автономных фоточувствительных элементов, выполненных в виде полос, расположенных с каждой стороны от оси симметрии под углом к ней [2] .

Ширина промежутков между фоточувствительными полосками значительно больше ширины фоточувствительных полос, что обуславливает невозможность использования известного "многоэлементного" ФП в приборах курсовой орбитальной и инерциальной ориентации.

Целью изобретения является определение скорости вращения и повышение чувствительности.

На фиг. 1 - датчик перемещений с параллельным соединением фоточувствительных полос в каждой группе; на фиг. 2 - датчик перемещений с секционированным соединением фоточувствительных полосок с развязывающими диодами, подключенными к каждой секции и его эквивалентная электрическая схема; на фиг. 3 - датчик перемещений с развязывающими диодами, подключенными к каждой фоточувствительной полоске.

Предлагаемый датчик перемещений выполнен в виде автономных фоточувствительных полосок 1, расположенных с каждой стороны от оси симметрии Х под углом датчик перемещений, патент № 2008747 к ней. Полоски 1 нанесены на кремниевую пластину - подложку 2, причем ширина L полосок 1 равна ширине промежутков 3 между ними. Фоточувствительные полоски (ФЧП) 1 могут быть соединены параллельно с шиной 4 непосредственно через развязывающие диоды 5 секционно (фиг. 2) или каждая в отдельности (фиг. 3).

От способа соединения ФЧП 1 между собой в каждом канале зависит пороговая чувствительность частотно-растрового многоэлементного кремниевого фотоприемника (далее РМКФ) в целом, а следовательно, возможность индикации слабых неравномерностей яркости фона, слабых звезд и образования частот f1 и f2.

Так, на фиг. 1 представлено параллельное соединение ФЧП 1 в каждом канале. В этом случае сигнал, выдаваемый каждой ФЧП, нагружен емкостью и сопротивлением всех остальных N - 1 ФЧП 1 в канале. При таком соединении ФЧП между собой пороговая чувствительность РМКФ - наибольшая, а амплитуды частот f1 и f2 - наименьшие. В реальных многоэлементных фотоприемниках N датчик перемещений, патент № 2008747 100.

На фиг. 2 показано секционированное разделение фоточувствительной поверхности Fдатчик перемещений, патент № 2008747 каждого канала РМКФ - Fдатчик перемещений, патент № 2008747 = nbN, где b - длина одной ФЧП. Число n ФЧП в секции меньше N. В этом случае сигнал, выдаваемый каждой ФЧП в секции, нагружается емкостью и сопротивлением n-1 ФЧП, а не N-1 ФЧП, т. е. нагрузка и шумы в (N-1)/(n-1) раз меньше, а порог чувствительности секции в датчик перемещений, патент № 2008747 раз ниже.

Наименьшая пороговая чувствительность РМКФ, практически достижимая, обеспечивается при снятии сигналов с каждой ФЧП без параллельной паразитной нагрузки другими ФЧП в каждом канале.

Влияние секций или ФЧП одной на другую исключается введением развязывающих (разделяющих) неосвещенных диодов 5 (фиг. 2, 3).

Частота модуляции светового потока растром определяется параметрами модулирующего частотного растра и скоростью vиз перемещения светового потока вдоль оси Х симметрии частотного растра.

Неравномерность светового потока может быть обусловлена как неравномерностью яркости поверхности Земли, планет, так и звездным фоном небесной сферы.

Если ось Х симметрии частотного растра совпадает с вектором датчик перемещений, патент № 2008747относительной скорости перемещения яркостного фона земли, планет, звездного фона, то частоты модуляции f1 = f2 = f0 = 1/T, где Т - период перемещения изображения фона в плоскости частотного растра. Период Т связан с параметрами частотного растра и скоростью vиз перемещения изображения фона в плоскости частотного растра

T= датчик перемещений, патент № 2008747 где l - длина пути изображения в пределах ширины прозрачной полосы или ФЧП 1.

Если угол наклона прозрачных полос к оси Х симметрии датчик перемещений, патент № 2008747 , то длина пути l изображения будет

l= датчик перемещений, патент № 2008747 = датчик перемещений, патент № 2008747 где h - ширина прозрачной полосы, тогда

f0= датчик перемещений, патент № 2008747sinдатчик перемещений, патент № 2008747 Если продольная ось Х КА, с которой совмещена ось Х симметрии частотного растра, отклонится от вектора скорости датчик перемещений, патент № 2008747 (датчик перемещений, патент № 2008747 на угол датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747 , то вследствие изменения длины пути l частоты в левом и правом каналах будут отклоняться от f0:

датчик перемещений, патент № 2008747 датчик перемещений, патент № 2008747 и

f2= датчик перемещений, патент № 2008747sin(датчик перемещений, патент № 2008747-датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747) Разностная частота

датчик перемещений, патент № 2008747 датчик перемещений, патент № 2008747f= f1-f2= датчик перемещений, патент № 2008747[sin(датчик перемещений, патент № 2008747+датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747)-sin(датчик перемещений, патент № 2008747-датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747)] При малых значениях углов sinдатчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747 , тогда

датчик перемещений, патент № 2008747 датчик перемещений, патент № 2008747f= датчик перемещений, патент № 20087472cosдатчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747

датчик перемещений, патент № 2008747 датчик перемещений, патент № 2008747f= датчик перемещений, патент № 2008747cosдатчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747 (1)

Следовательно, разность частот сигналов с двух каналов ФП пропорциональна углу датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747 отклонения оси Х симметрии частотного растра (продольной оси КА) от вектора относительной скорости полета КА.

Знак датчик перемещений, патент № 2008747 разности частот правого f1 и левого f2 каналов определяет знак угла датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747 отклонения оси Х симметрии частотного растра от направления скорости изображения vиз в плоскости частотного растра, а следовательно, отклонения продольной оси Х КА от вектора относительной скорости полета датчик перемещений, патент № 2008747.

Так, если f1 > f2, отклонение датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747- против часовой стрелки. Если f1 < f2, отклонение датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747 - по часовой стрелке.

Примеры использования.

1. Наибольший интерес представляет использование РМКФ по фону звездного неба для ориентации межпланетных КА, стабилизированных вращением вокруг одной из главных осей КА, а также вокруг любой другой оси, проходящей через центр масс КА. Такой вид ориентации используется как для стабилизации положения плоскости вращения вокруг оси, ориентированной в любом заданном направлении в межпланетном пространстве компланарно-перпендикулярной оси симметрии РМКФ, так и для обзорных поисковых научных исследований космического пространства научными приборами, оптические оси визирования которых расположены в плоскости вращения в режиме инерциальной ориентации.

Для такой ориентации КА с вращением величина vиз в формуле (2)

vиз= датчик перемещений, патент № 2008747kaдатчик перемещений, патент № 2008747F

и датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747= датчик перемещений, патент № 2008747 (2) где датчик перемещений, патент № 2008747ка - угловая скорость вращения КА вокруг собственного центра масс;

F - фокусное расстояние объектива.

Угловые скорости датчик перемещений, патент № 2008747ка вращения КА могут задаваться, а также возникать незапланированно при смещении центра массы (ц. м. ) КА или при воздействии внешних возмущений (давление солнечного света, ветра или при отделении КА от ракетоносителя).

Наименьшие значения датчик перемещений, патент № 2008747ка, практически возникающие от непредсказуемых воздействий порядка 0,1-1о/с. Стабилизирующие значения датчик перемещений, патент № 2008747кастаб. могут иметь значения от 0,5о/с и выше до десятка градусов в сек. В специальных случаях это могут быть десятки градусов в секунду.

Кроме обеспечения высокой точности ориентации, использование РМКФ позволяет контролировать, а следовательно, управлять положением плоскости вращения и скоростью вращения КА.

2. Важное значение имеет контроль за скоростью вращения КА и особенно при малых значениях датчик перемещений, патент № 2008747 = (0,1-1)о/c во время проведения исследований.

Определение среднего значения угловой скорости вращения КА по фону звездного неба производится по формуле

f= датчик перемещений, патент № 2008747sinдатчик перемещений, патент № 2008747 (3) или датчик перемещений, патент № 2008747ка= датчик перемещений, патент № 2008747f

Зависимости точности курсовой ориентации датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747 или положения плоскости (оси) вращения, а также угловой скорости вращения по фону звездного неба от величина h при прочих параметрах, принятых в упомянутой ссылке (1), представлены в табл. 1 и 2.

Как следует из (2), точность датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747 определения курсовой ориентации или точности положения плоскости и оси вращения КА (если система фиксирует разность частот датчик перемещений, патент № 2008747 f = 1 Гц) зависит от скорости перемещения изображения датчик перемещений, патент № 2008747 фона неба (земной поверхности) в фокальной плоскости объектива, в которой располагается фоточувствительная поверхность РМКФ, и от ширины ФЧП h.

Для табличных параметров h, датчик перемещений, патент № 2008747 (табл. 1, 2) удобно и наглядно определить значение датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747 методом сравнения различных значений скорости vиз перемещения изображения при h = 0,01 при прочих равных параметрах, приведенных в материале ссылки (1), тогда датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747= датчик перемещений, патент № 2008747

Определим vиз на растре для трех случаев:

1. Для фона освещенной поверхности Земли (см. (1)):

Vиз= Vдатчик перемещений, патент № 2008747 где Rз - радиус Земли;

F - фокус объектива;

Н - высота полета.

2. Для фона звездного неба при орбитальном КА:

Vиз= датчик перемещений, патент № 2008747орб.каF= датчик перемещений, патент № 2008747F где датчик перемещений, патент № 2008747орб.КА - орбитальная угловая скорость КА.

3. Для фона звездного неба при собственном вращении КА вокруг оси, проходящей через центр масс КА:

Vиз= датчик перемещений, патент № 2008747кадатчик перемещений, патент № 2008747F= датчик перемещений, патент № 2008747 датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747ка где датчик перемещений, патент № 2008747ка - угловая скорость вращения КА, о/с. Так, сравнивая случаи 1 и 2, получим: датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 20087471/датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 20087472= h1/h2 H/R3= (0.25/h2)датчик перемещений, патент № 2008747300/6000= 0.0125/h2

Из сравнения случаев 1 и 2 можно сделать следующий вывод.

Курсовая ориентация КА на половине орбиты над освещенной земной поверхностью при ширине ФЧП h1 = 0,25 мм осуществляется с точностью датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 20087471= датчик перемещений, патент № 200874730 . Такую же точность датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 20087472= датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 20087471 можно обеспечить по фону звездного неба на всей орбите, уменьшив ширину ФЧП до h2 = 0,0125 мм. При этом на половине орбиты над освещенной земной поверхностью точность возрастает в 20 раз, т. е. составит датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 20087472= датчик перемещений, патент № 20087476I.

Третий случай по своей информативности не может сравниваться с первыми двумя.

Величины датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 20087473 для третьего случая определяются по формуле

датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 20087473= датчик перемещений, патент № 2008747 = Kдатчик перемещений, патент № 2008747 датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 20087473= датчик перемещений, патент № 2008747 датчик перемещений, патент № 2008747 = 0.287датчик перемещений, патент № 2008747 При h = 0,01 мм и датчик перемещений, патент № 2008747ка = 0,1одатчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 20087473датчик перемещений, патент № 2008747 0,03о = 1,8I .

Величина датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 20087473 для других значений h и датчик перемещений, патент № 2008747ка получаются умножением или делением величины датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 20087473 = 0,03о на 2, 3, 5 и 10 (см. табл. 1).

Для осуществления стабильных контроля или ориентации по фону звездного неба необходимо непрерывное формирование частот f1 и f2 в обоих каналах РМКФ при визировании любого участка небесной сферы 4 датчик перемещений, патент № 2008747cp ( датчик перемещений, патент № 200874742 тыс. кв. град. ).

Пропадание одной из частот f1, f2 кратковременное, а тем более длительное, из-за отсутствия изображения звезды определенной величины m в одном из каналов нарушает (искажает) информацию датчик перемещений, патент № 2008747 f и ухудшает точность ориентации (контроль ориентации).

Чем больше световой энергии достигает поверхности РМКФ от звезды, тем меньше ее численная звездная величина m и тем реже на небесной сфере можно обнаружить такую звезду. Чем меньше световой энергии достигает поверхности РМКФ от звезды, тем больше ее звездная величина и тем чаще на небесной сфере можно обнаружить такую звезду.

Иными словами, чем "слабее" звезда, тем большее количество таких звезд приходится на 1 квадратный градус небесной сферы.

Для стабильной работы РМКФ необходимо выбрать такую звездную величину m, при которой в каждый канал РМКФ (через объектив) попадает достоверно одна звезда.

Так, звезд величиной m = 6 на небесной сфере порядка датчик перемещений, патент № 2008747 6 тысяч или в среднем датчик перемещений, патент № 20087470,14 звезды на 1 квадратный градус небесной сферы.

Таким образом, объектив с полем зрения 10о х 10о = 100 кв. град. обеспечит на поверхности РМКФ ориентировочно датчик перемещений, патент № 2008747 14 звезд. При этом порог чувствительности РМКФ должен быть предельно низким, чтобы фиксировать звезды с m датчик перемещений, патент № 20087476 при соответствующей электронике.

Технико-экономическое обоснование

1. РМКФ с h < 0,25 мм функционально заменяет стеклянные растровые системы, обеспечивая при этом:

- большую точность ориентации и стабилизации управления КА и самолетов;

- упрощение (уменьшение веса) конструктивных приборных решений благодаря уменьшению количества главных элементов конструкций;

- снижение стоимости.

2. РМКФ функционально заменяет гироскопические элементы аналогичных приборных решений, обеспечивая при этом:

- большой ресурс функционирования благодаря отсутствию механических вращающихся элементов-роторов гироскопов;

- меньшую потребную мощность.

3. РМКФ открывает принципиально новые возможности использования его в наземной промышленной аппаратуре строительной, заводской, лабораторной для регистрации перемещений, вращений, колебаний (качений) зданий, элементов конструкций, динамики физических процессов и явлений.

Уменьшение величины h с 0,25 до 0,01 мм и менее позволяет использовать РМКФ в системах обеспечения ориентации плоскости вращения вокруг оси КА, ориентированной в любом заданном направлении пространства компланарно-перпендикулярной оси симметрии многоэлементного фотоприемника с точностью датчик перемещений, патент № 2008747датчик перемещений, патент № 2008747 < 3о до датчик перемещений, патент № 2008747 = 25 раз и более. (56) 1. Изнар А. Н. и др. Оптикоэлектронные приборы космических аппаратов. М. : Машиностроение, 1972, с. 196-200.

2. Патент США N 4627724, кл. 356-141, 1986.

Класс H01L27/14 содержащие полупроводниковые компоненты, чувствительные к инфракрасному излучению, свету, коротковолновому электромагнитному или корпускулярному излучению, и специально предназначенные как для преобразования энергии этих излучений в электрическую энергию, так и для управления электрической энергией с помощью таких излучений

устройство считывания для многоэлементных фотоприемников инфракрасного излучения -  патент 2529768 (27.09.2014)
способ и устройство для управления затворами полевых транзисторов или биполярных транзисторов с изолированными затворами (варианты) -  патент 2523598 (20.07.2014)
многоэлементный ик фотоприемник -  патент 2519024 (10.06.2014)
функционально-интегрированная ячейка фоточувствительной матрицы -  патент 2517917 (10.06.2014)
приемник ик-излучения болометрического типа -  патент 2515417 (10.05.2014)
матрица сверхпроводящих детекторов субмиллиметрового и дальнего инфракрасного излучения -  патент 2515416 (10.05.2014)
концентраторный каскадный фотопреобразователь -  патент 2515210 (10.05.2014)
наноструктурный ик-приемник (болометр) с большой поверхностью поглощения -  патент 2511275 (10.04.2014)
способ детектирования электромагнитного излучения и устройство для его осуществления -  патент 2503090 (27.12.2013)
устройство считывания с временной задержкой и накоплением сигналов с многоэлементных фотоприемников инфракрасного излучения -  патент 2498456 (10.11.2013)
Наверх