Получение или ускорение пучков нейтральных частиц, например пучков молекул или атомов: .генерирование пучков молекул или атомов, например генерирование резонансного пучка – H05H 3/02

МПКРаздел HH05H05HH05H 3/00H05H 3/02
Раздел H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
H05 Специальные области электротехники, не отнесенные к другим классам
H05H Плазменная техника; получение или ускорение электрически заряженных частиц или нейтронов; получение или ускорение пучков нейтральных молекул или атомов
H05H 3/00 Получение или ускорение пучков нейтральных частиц, например пучков молекул или атомов
H05H 3/02 .генерирование пучков молекул или атомов, например генерирование резонансного пучка

Патенты в данной категории

ЗЕЕМАНОВСКИЙ ЗАМЕДЛИТЕЛЬ АТОМНОГО ПУЧКА

Изобретение относится к области квантовой электроники и может быть использовано в атомно-лучевых стандартах частоты на пучках атомов рубидия или цезия. Технический результат заключается в создании зеемановского замедлителя атомного пучка с уменьшенными габаритами и энергопотреблением. Устройство содержит расположенные вдоль оси распространения атомного пучка источник атомного пучка и блок формирования неоднородного магнитного поля, а также последовательно включенные источник встречного оптического излучения и акустооптический модулятор. Между выходом источника атомного пучка и входом блока формирования неоднородного магнитного поля размещен прерыватель атомного пучка, управляющий вход которого соединен с первым выходом блока управления, второй выход которого соединен с управляющим входом блока формирования неоднородного магнитного поля и с управляющим входом источника встречного оптического излучения. Блок управления выполнен таким образом, что длительности управляющих импульсов Тимп1 и Тимп2, формируемых синхронно и с одинаковым периодом на первом и втором его выходах, подчиняются условию Тимп1имп2. Источник встречного оптического излучения содержит последовательно соединенные стабилизированный лазерный источник и прерыватель луча, при этом управляющий вход прерывателя луча образует управляющий вход источника встречного оптического излучения. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.

2490836
патент выдан:
опубликован: 20.08.2013
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБЛУЧЕНИЯ ИЗДЕЛИЙ ПОТОКОМ АТОМОВ ВОДОРОДА С ТЕПЛОВЫМИ СКОРОСТЯМИ

Заявленное изобретение относится к устройствам для генерации потоков атомов водорода с тепловыми скоростями для облучения изделий равномерным по плотности потоком с целью исследования процессов взаимодействия атомов водорода с материалами, а также для решения прикладных задач, в частности определения скорости и характера наводороживания материалов при облучении потоком атомов водорода с тепловыми скоростями. Устройство включает в себя вакуумную камеру, установленные в ней держатель обрабатываемых изделий, вольфрамовый атомизатор, выполненный в виде плоской спирали, систему контролируемого напуска молекулярного водорода, а также формирователь-ограничитель атомарного потока, систему рекомбинации отраженных атомов и систему предварительного прогрева формирователя-ограничителя атомарного потока. Техническим результатом является повышение эффективности технологического процесса обработки изделий потоком атомов водорода с тепловыми скоростями. 7 з.п. ф-лы, 1 ил.

2479167
патент выдан:
опубликован: 10.04.2013
ИСТОЧНИК МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ АТОМАРНЫХ ПОТОКОВ

Изобретение относится к электрофизике, в частности к системам, служащим для получения потоков частиц, используемых, например, для вакуумного нанесения тонких пленок. В качестве источника многокомпонентных атомарных потоков, состоящих из потока тяжелых атомов с энергией распыления, и потока быстрых атомов с энергией, определяемой напряжением на разряде, применяется ловушка с вращающейся плазмой. Изобретение позволяет повысить мощность источника многокомпонентных потоков частиц, упростить его конструкцию, снизить затраты на изготовление и эксплуатацию устройства. 2 ил.
2119730
патент выдан:
опубликован: 27.09.1998
ИСТОЧНИК ИОНОВ С ПЕРИФЕРИЙНЫМ МАГНИТНЫМ ПОЛЕМ

Использование: в ионной технике. Сущность изобретения: в источнике ионов, содержащем ионизационную камеру с апертурой вытягивания, плазменный электрод, магниты, создающие периферийное образование, мультипольное магнитное поле, катоды устанавливающиеся за полюсами магнитов, относительно центральной продольной оси источника. Это приводит к сепарации электронов большой энергии от области формирования пучка и понижает температуру ионов в плазме, из которой извлекается ионный пучок. 2 ил.
2114482
патент выдан:
опубликован: 27.06.1998
ГЕНЕРАТОР АТОМАРНОГО ВОДОРОДА

Использование: в технологии микроэлектроники для генерации атомарного водорода на основе газового разряда постоянного тока. Сущность изобретения: увеличение эффективности получения атомарного водорода достигается путем объединения в одном устройстве различных механизмов диссоциации молекулярного водорода, а также увеличения концентрации электронов в плазме газового разряда. Ток разряда составляет 1 - 2 А, напряжение горения -50 - 100 В, давление водорода в разряде -больше 410-2 Торр. Генератор содержит устройство, создающее магнитное поле для горения пеннинговского газового разряда в разрядной камере. Для увеличения объема области генерации с плотной плазмой полый катод проникает в полость цилиндрического анода. В результате между внешней поверхностью полого катода и внутренней поверхностью анода дополнительно инициируется магнетронный разряд. 3 ил.
2088056
патент выдан:
опубликован: 20.08.1997
Наверх