Спектрометры элементарных частиц или разделительные трубки: ..статические спектрометры – H01J 49/28

Изобретение относится к области энергетического анализа потоков заряженных частиц, возбуждаемых первичным, например, синхротронным излучением с поверхности твердого тела. Технический результат - улучшение аналитических, эксплуатационных и потребительских свойств электронных спектрометров с угловым разрешением, используемых для исследования объектов микро- и наноэлектроники методами электронной спектроскопии. Аксиальносимметричный энергоанализатор коробчатого типа реализует схему измерений угловых зависимостей в полном диапазоне полярных и азимутальных улов с помощью позиционно-чувствительного детектора. Электронно-оптическая схема энергоанализатора обеспечивает угловую фокусировку четвертого порядка вблизи центральной траектории с начальным полярным углом 90°. Фокусировка четвертого порядка является критерием высокого качества энергоанализатора, поскольку в этом случае значительно ослабляется противоречие, заключенное в требовании одновременно высоких значений светосилы и разрешающей способности, по сравнению со случаем фокусировок более низких порядков. Анализатор с энергетическим и угловым разрешением, построенный по предлагаемой схеме, способен обеспечить относительное энергетическое разрешение менее чем 0.1% и угловое разрешение меньше 0.5 градуса, что более чем на порядок улучшает потребительские и эксплуатационные параметры приборов такого типа при значительно более простой конфигурации электродов. 2 ил.

Изобретение относится к устройствам для проведения реакций между твердотельными материалами и газами в контролируемых условиях и может быть использовано для транспортировки образца в камеры подготовки образца и энергоанализатора с фиксацией образцедержателя в камерах. Техническим результатом является уменьшение газовыделения при подготовке и проведении экспериментов в условиях сверхвысокого вакуума. Устройство для ввода образца в вакуумную камеру включает камеру с фиксатором, магнитный механизм перемещения, соединенный со штоком, выполненным с возможностью соединения с держателем образца. Фиксатор и держатель выполнены с возможностью взаимной фиксации при повороте штока. В фиксаторе выполнено проходное отверстие для держателя, паз для фиксации и проходной паз, на фиксаторе выполнен штырь. Устройство может оснащаться шлюзовой камерой. 3 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к масс-спектрометрическим анализаторам и ионизаторам со скрещенными магнитным и электрическим полями. Масс-спектрометр имеет пару, в общем, планарных параллельных, отстоящих друг от друга электродов, которые имеют выступающие стенки, взаимодействующие для ограничения генерирующей ионы камеры, и выходную апертуру. Регулированием электрического поля, которое ориентировано перпендикулярно приложенному магнитному полю, ионный луч может быть разделен на множество лучей на основе отношения массы к заряду, выходящих из выхода устройства, и при функционировании устройства в качестве масс-спектрометра ионный луч сталкивается с коллектором ионов, который ответно передает информацию взаимодействующему с ним процессору. При необходимости использования прибора в качестве ионизатора удаляют коллектор ионов, расположенный смежно с выходом ионов. 4 н. и 32 з.п. ф-лы, 35 ил.

Использование в области плазменных исследований и масс-спектрометрии. Сущность: устройство состоит из последовательно расположенных по направлению движения частиц ионизатора газовой смеси с ионно-оптической системой, масс-сепаратора со стигматической фокусировкой, твердотельного конвертора, электростатического анализатора и узла регистрации. Конвертор выполнен из ультратонкой алмазоподобной фольги, которая расположена под углом 45° к направлению движения частиц и в одной плоскости с одной из обкладок электростатического анализатора, выполненного в виде плоского конденсатора. Со стороны масс-сепаратора конвертор окружен цилиндром, образуя комбинированный цилиндр Фарадея, ось которого совпадает с направлением движения частиц, причем цилиндр, конвертор и обкладка электростатического анализатора электрически изолированы друг от друга, вход узла регистрации заряженных частиц расположен в той же обкладке электростатического анализатора, что и конвертор. Коллектор заряженных частиц может быть выполнен в виде усилителя на микроканальной пластине или в виде набора вторичных электронных умножителей. Технический результат изобретения заключается в обеспечении анализа водородно-гелиевой смеси с высоким разрешением по атомам с близкими значениями отношения массы к заряду. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.