Приборы, использующие вторичную электронную эмиссию, электронные умножители: ...катодные устройства – H01J 43/08

Изобретение относится к оптико-электронному приборостроению, в частности к технологии изготовления микроканальных пластин (МКП), и может быть использовано в электронно-оптических преобразователях. Способ восстановления МКП включает обработку вытравленных заготовок МКП в несколько этапов, при этом на первом этапе проводят термообработку в среде сухого азота при 400-445°С в течение 1,0-1,5 ч, а на втором этапе в среде водорода при температуре 400-420°С в течение 6-8 ч. На третьем этапе проводят химическую обработку в растворе азотной кислоты при комнатной температуре в течение 10-20 мин с последующей промывкой в деионизованной воде при этой же температуре в течение 20-30 мин и суховоздушной сушкой при температуре 80-120°С в течение 1,5-2,0 ч. На четвертом этапе термообработку осуществляют в воздушной среде при 450-460°С в течение 1,5-2,0 ч, на пятом в среде водорода при 460-470°С в течение 0,5-1,0 ч, и на шестом в среде сухого азота при 470-500°С в течение 1,5-2,0 ч с последующим охлаждением со скоростью менее 0,5°С в мин до 380°С с дальнейшим инерционным охлаждением до температуры окружающей среды. Способ позволит улучшить чистоту поверхности каналов, внешний вид МКП, снизить остаточное газосодержание и газовыделение, повысить качество и надежность МКП.