Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки: .элементы конструкции – H01J 37/02

Изобретение относится к источникам ВУФ-фотонов и химически активных частиц, предназначенным для поверхностной обработки ВУФ-излучением, а также для плазмохимического травления и наращивания материалов на подложках с большой общей обрабатываемой площадью. Универсальный дуговой источник ВУФ содержит разрядную трубку из охлаждаемых металлических секций с защитным покрытием, холодный дуговой катод с удержанием катодных пятен дуги внутри рабочей полости, анод, систему откачки и напуска рабочего газа, при этом в секциях трубки перпендикулярно оси разряда выполняются боковые отверстия сравнимого с длиной секции размера, в которых с помощью держателей герметично фиксируются обрабатываемые подложки с масками (либо без масок). Технический результат: возможность облучения, травления и наращивания материалов на подложках с большой общей обрабатываемой площадью за счет использования активных частиц и ВУФ-фотонов, излучаемых почти со всей боковой поверхности разряда. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.