Приборы с ионным пучком: ..с использованием бомбардировки частицами, например ионизаторы – H01J 27/20

Изобретение относится к электронике и может быть использовано для ионизации атомарных или молекулярных потоков и формирования ионных пучков в полупроводниковой технологии в области молекулярно-лучевой эпитаксии. Способ ионизации включает многократную бомбардировку атомов или молекул ускоренными электронами. Поток ионизируемых атомов или молекул проходит внутри анода, вдоль его оси. Многократная бомбардировка электронами осуществляется в поперечном направлении за счет спирального катода, окружающего анод. Анод выполнен в виде цилиндра из металлической сетки для свободного прохождения сквозь него атомов или молекул и электронов. Электроны многократно проходят область ионизации, отражаясь от границы области, определяемой потенциальным барьером, создаваемом анод-катодной разностью потенциалов. Ускорение ионов происходит на коротком участке за счет анодного потенциала и осуществляется с помощью ускоряющей сетки, расположенной над анодом и находящейся под нулевым потенциалом. Технический результат - повышение эффективности и однородности ионизации за счет увеличения числа соударений электронов с ионизируемыми атомами или молекулами; повышение равномерности распределения плотности электронов в ионизируемом объеме; уменьшение разброса по энергиям ионов за счет создания узкой зоны для их ускорения между двумя эквипотенциальными объемами. 2 н. и 5 з.п. ф-лы, 1 ил.