Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления резисторов: .предназначенные для точной подстройки – H01C 17/22

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных микросборок, а более конкретно для конструирования и изготовления тонкопленочных резисторов на диэлектрических подложках. Способ изготовления тонкопленочного резистора включает напыление на диэлектрическую подложку резистивного слоя, формирование контактных площадок, формирование методом фотолитографии резистивных элементов, определение величины сопротивления тонкопленочных резистивных элементов, подгонку до требуемой величины сопротивления и ТКС интегрального резистора на основании расчетных соотношений между сопротивлениями тонкопленочных структур, их ТКС и ТКС интегрального резистора, который выполняют в виде последовательной электрической цепи участков этого резистора, состоящей из первого и второго прямоугольных резистивных элементов с различными ТКС, по краям которой расположены две токовые контактные площадки, а третий резистивный элемент выполняют из основного резистивного материала и соединяют с телом интегрального резистора на стыке первого и второго резистивного элемента и третьей потенциальной контактной площадкой, причем все резистивные элементы формируют одновременно в результате операции травления резистивного покрытия, в ходе которой также формируют выступы различной длины в теле интегрального резистора, примыкающие к токовым контактам и позволяющие снизить пиковое значение выделяемой в области контакта мощности, доводят ТКС последовательно соединенных участков интегрального резистора до значений, имеющих различные знаки, методом термообработки, а затем доводят до нуля ТКС интегрального резистора методом лазерной подгонки, используя аналитическое соотношение R1/R2=( 2- )/( - 1), где R1, R2 - сопротивления соответственно первого и второго резистивных тонкопленочных элементов, 1, 2 - ТКС соответственно первого и второго резистивных тонкопленочных элементов, - ТКС интегрального резистора, при попеременном измерении сопротивлений последовательных участков интегрального резистора. Техническим результатом является создание обладающего технологической простотой способа прецизионного тонкопленочного резистора. 3 ил.

Изобретение относится к области микроэлектроники, а также измерительной техники и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных микросборок, а более конкретно для конструирования и изготовления преобразователя температуры в напряжение электрического сигнала. В преобразователе «температура-напряжение», содержащем операционный усилитель и два резистивных делителя напряжения, выполненных по тонкопленочной технологии, выход первого из которых подключен к прямому входу операционного усилителя, выход второго делителя напряжения подключен к инверсному входу, вход первого резистивного делителя подключен к выходу источника опорного напряжения, а вход второго - к выходу операционного усилителя, делители напряжения изготавливают как отдельную микросборку, в которой между выводом подключения источника опорного напряжения и выводом подключения к инверсному входу операционного усилителя устанавливают дополнительный резистор, выполненный по единой технологии и из одного и того же материала, что и второй делитель напряжения, с сопротивлением, равным сопротивлению цепи обратной связи операционного усилителя. 4 ил.

Изобретение относится к прецизионным пленочным резисторам. Техническим результатом является повышение точности и производительности подгонки. Устройство содержит первый источник опорного напряжения (1), устройство сравнения (2), измеритель сопротивления (3), дифференцирующее устройство (4), аналого-цифровой преобразователь (АЦП) (5), блок выделения абсолютного значения напряжения (6), компаратор (7), второй источник опорного напряжения (8), регистр сдвига (9), ждущий одновибратор (10), элементы И (11-1) (11-n), цифроаналоговый преобразователь (ЦАП) (12), генератор факельного разряда (13), коммутатор (14), рабочие электроды (15-1) (15-n), подгоняемый резистор (16), подложкодержатель (17). Вершина излучающего конуса каждого из рабочих электродов расположена на фиксированном расстоянии от поверхности резистора (16), уменьшающемся с ростом порядкового номера рабочего электрода (15-1) (15-n). повышенные точность и производительность подгонки, что проявляется в наибольшей степени в области малых приращений сопротивления. Устройство содержит дифференцирующее устройство (4), блок выделения абсолютного значения напряжения (6), компаратор (7), второй источник опорного напряжения (8) и ждущий одновибратор (10). Указанные блоки обеспечивают учет температурных изменений подгоняемого сопротивления (16) и формирование минимального временного интервала между двумя циклами выжигания (учитывающего время остывания пленки и уменьшающегося с ростом номера разряда), в соответствии с чем устройство производит подгонку. Техническим результатом является повышение точности и производительности подгонки. 1 ил.

Изобретение относится к прецизионным пленочным резисторам. Устройство содержит первый источник опорного напряжения (1), устройство сравнения (2), измеритель сопротивления (3), аналого-цифровой преобразователь (АЦП) (4), блок повторного включения разряда (5), регистр сдвига (6), мультивибратор (7), элементы И (8-1) (8-n), второй источник опорного напряжения (9), цифроаналоговый преобразователь (ЦАП) (10), блок выбора наименьшего значения напряжения (11), генератор факельного разряда (12), коммутатор (13), рабочие электроды (14-1) (14-n), подгоняемый резистор (15), подложкодержатель (16), компаратор (17), дополнительный электрод (18), третий источник опорного напряжения (19). Вершина излучающего конуса дополнительного и каждого из рабочих электродов расположена на фиксированном расстоянии от поверхности резистора (15), уменьшающемся с ростом порядкового номера рабочего электрода (14-1) (14-n). В устройстве использован умножающий ЦАП (10) и введен второй источник опорного напряжения (9) (обеспечивающих автоматическое задание энергии факельного разряда в зависимости от температуры испарения резистивной пленки), также устройство снабжено коммутатором (13), дополнительными входом и выходом и введен третий источник опорного напряжения (19), блок выбора наименьшего значения напряжения (11), компаратор (17) и дополнительного электрода (18), кроме этого, использован реверсивный регистр сдвига 6 и введен блок повторного включения разряда (5). Техническим результатом является повышение точности подгонки и расширение ее функциональных возможностей. 1 ил.

Изобретение относится к технологии изготовления резисторов, в частности к стабилизации и подгонке тонкопленочных резисторов, и может быть использовано при производстве металлопленочных тензорезисторных датчиков давления, силы, деформации и гибридных интегральных схем в радиотехнической и приборостроительной промышленности. Способ стабилизации и подгонки тонкопленочных резисторов импульсами напряжения определенной амплитуды, длительности и скважности включает стабилизацию и подгонку в едином технологическом цикле при неизменной амплитуде, длительности и скважности импульсов напряжения. Стабилизацию проводят "пакетами" импульсов напряжения до нижнего не изменяющегося значения сопротивления, которое фиксируют контрольным "пакетом" импульсов напряжения, после чего осуществляют подгонку сопротивлений резисторов подачей на них "пакетов" импульсов напряжения, в которых количество импульсов увеличивают в несколько раз, а в промежутках между "пакетами" импульсов непрерывно контролируют изменение сопротивлений резисторов. Устройство для реализации указанного способа содержит источник питания постоянного тока, релейный блок управления устройством, формирователь импульсов с элементом, регулирующим амплитуду импульсов напряжения и блок управления измерением и структурированием, который содержит счетчик количества импульсов, переключатель диапазонов, счетчик времени индикации, логические элементы "ИЛИ-НЕ", "ИЛИ" и триггер, а также ключевую схему. Изобретение позволяет расширить функциональные возможности и проводить стабилизацию структуры резистивного слоя за счет исключения скрытых дефектов и подгонку тонкопленочных резисторов в одном технологическом цикле при неизменной амплитуде, длительности и скважности импульсов напряжения с постоянным контролем изменения величины сопротивления резисторов, а также упростить конструкцию устройства для осуществления процесса. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 5 ил.