Фотомеханическое, например фотолитографическое, изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например печатные поверхности, материалы для этих целей, например содержащие фоторезисты, устройства, специально приспособленные для этих целей: ..неплоских поверхностей – G03F 7/24
Раздел G ФИЗИКА
G03 Фотография; кинематография; аналогичное оборудование, использующее волны иные, чем оптические; электрография; голография
G03F Фотомеханическое изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например для печати, для изготовления полупроводниковых приборов; материалы для этих целей; оригиналы для этих целей; устройства, специально приспособленные для этих целей
G03F 7/00 Фотомеханическое, например фотолитографическое, изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например печатные поверхности; материалы для этих целей, например содержащие фоторезисты; устройства, специально приспособленные для этих целей
G03F 7/24 ..неплоских поверхностей
Патенты в данной категории
ФОТОШАБЛОН (ВАРИАНТЫ) И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ (ВАРИАНТЫ)
Фотошаблон для проецирования рисунка на полупроводниковую пластину, имеющую ступенчатый вид, содержит непроницаемый рисунок фотошаблона и подложку, имеющую ступени, сопряженные со ступенчатой структурой полупроводниковой пластины. Ступени имеют толщину, величина которой зависит от квадрата увеличения проекционной линзы и обеспечивает разность фаз 360 5o между излучениями, проходящими через зону ступени и зону без ступени. В одном из вариантов фотошаблона ступени состоят из рисунка на оптически прозрачной пленке. При изготовлении фотошаблона ступени формируют протравливанием или наложением оптически прозрачного материала на всю подложку фотошаблона и выполнением на нем рисунка. Слой непроницаемого материала накладывается перед или после формирования ступеней из слоя прозрачного материала. Боковые стенки ступеней подложки фотошаблона выполнены перпендикулярными или в виде лестницы с множеством ступеней, или с наклоном. Наклон выполняют наклонным протравливанием с использованием наклона материала фоторезиста или формирования наклонной прокладки из прозрачной пленки. Обеспечиваются упрощение изготовления фотошаблона и формирование рисунка с высоким разрешением. 5 с. и 18 з.п. ф-лы, 22 ил.
|
2144689 патент выдан: опубликован: 20.01.2000 |
|