Общие аспекты SPM зондов, их изготовление или относящееся к ним оснащение в той мере, в какой эти зонды не являются специально предназначенными для одного конкретного типа техники SPM, охватываемых одной из групп  ,G01Q 60/00: .характеристики зондов – G01Q 70/08

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в ближнеполевой сканирующей СВЧ и оптической микроскопии. Способ изготовления стеклянного зонда с проводящей сердцевиной включает помещение в стеклянную трубку легкоплавкого металла или металлического сплава, температура плавления которого значительно меньше температуры размягчения стекла, из которого изготовлена стеклянная трубка, локальный нагрев стеклянной полой трубки до ее размягчения и последующее растяжение трубки до разрыва. Техническим результатом является повышение разрешающей способности, улучшение механических свойств и долговечности. 3 ил.

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а именно, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, изменение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах. Кантилевер для сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) состоит из основания, к которому прикреплена двухслойная балочка с расположенной на дальнем от основания конце иглой. Балочка выполнена из композитного материала, причем один из слоев выполнен из активного термочувствительного или магниточувствительного материала с эффектом памяти формы (ЭПФ), который чувствителен к внешнему воздействию, а другой слой является упругим. Кантилевер позволяет повысить производительность СЗМ за счет уменьшения непроизводительных затрат времени при проведении исследований. 1 ил.