Особые виды SPM (Микроскопии Сканирующего Зонда) или устройства для них, обязательные компоненты для них: .сканирующая ёмкостная микроскопия (SCM) или устройства для нее, например SCM зонды – G01Q 60/46
Раздел G ФИЗИКА
G01 Измерение
G01Q Техника сканирующего зонда или устройства; различные применения техники сканирующего зонда, например микроскопия сканирующего зонда (SPM)
G01Q 60/00 Особые виды SPM (Микроскопии Сканирующего Зонда) или устройства для них; обязательные компоненты для них
G01Q 60/46 .сканирующая ёмкостная микроскопия (SCM) или устройства для нее, например SCM зонды