Особые виды SPM (Микроскопии Сканирующего Зонда) или устройства для них, обязательные компоненты для них: .сканирующая туннельная микроскопия (STM) или устройства для нее, например STM зонды – G01Q 60/10

Изобретение относится к области нанотехнологий, в частности к сканирующим туннельным микроскопам. Способ включает определение 3-D профиля полупроводниковой или металлической поверхности при приближении по вертикальной координате Z зонда с металлическим наноострием, при этом облучают поверхность под наноострием зонда перестраиваемым по длине волны оптическим излучением в диапазоне от ИК до УФ с постоянной спектральной мощностью излучения, фиксируют значение длины волны _гр, соответствующее границе резкого возрастания величины туннельного тока и определяют материал полупроводника или металла по значению величины энергетической ширины запрещенной зоны полупроводника E_g или работы выхода А электронов из металла в локальной области поверхности, определяемой наноострием зонда соответственно из соотношения E_g=1238/ _гр, А=1238/ _гр, где _гр - граничная длина волны в нм; Eg, А - ширина запрещенной зоны для зондируемого полупроводника или работа выхода для металла, в электронвольтах, в данной точке поверхности. Технический результат - обеспечение возможности бесконтактно определять элементный состав материала. 1 ил.