Мониторинг перемещения или положения зонда: .с помощью оптических средств – G01Q 20/02

МПКРаздел GG01G01QG01Q 20/00G01Q 20/02
Раздел G ФИЗИКА
G01 Измерение
G01Q Техника сканирующего зонда или устройства; различные применения техники сканирующего зонда, например микроскопия сканирующего зонда (SPM)
G01Q 20/00 Мониторинг перемещения или положения зонда
G01Q 20/02 .с помощью оптических средств

Патенты в данной категории

СИСТЕМА ОБНАРУЖЕНИЯ ДЛЯ ДИНАМИЧЕСКОГО ЗОНДА

Система (29) обнаружения динамического зонда предназначена для использования со сканирующим зондовым микроскопом такого типа, который включает в себя зонд (18), который перемещается периодически к поверхности образца и от поверхности образца. При сканировании поверхности образца интерферометр (88) формирует выходной сигнал высоты, указывающий разность хода между светом, отраженным от зонда (80a, 80b, 80c), и опорным лучом высоты. Устройство обработки сигнала отслеживает сигнал высоты и получает измерение для каждого цикла колебаний, которое указывает на высоту зонда. Система обнаружения может также включать в себя механизм обратной связи, который действует для поддержания среднего значения параметра обратной связи на заданном уровне. Технический результат - увеличение точности и скорости сбора данных изображения. 2 н.з. и 37 з. п. ф-лы, 6 ил.

2518859
патент выдан:
опубликован: 10.06.2014
Наверх