Устройства сканирования или позиционирования, т.е. устройства для активного управления движением или положением зонда: .грубое сканирование или позиционирование – G01Q 10/02
Патенты в данной категории
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП И СПОСОБ ВЫЯВЛЕНИЯ БЛИЗОСТИ ЕГО ЗОНДОВ
Сканирующий зондовый микроскоп включает в себя первый и второй зонды для сканирования образца при поддержании расстояния до поверхности образца, кварцевые резонаторы, удерживающие каждый из первого и второго зондов, и модулирующий генератор для обеспечения вибрации определенной частоты первого зонда, которая отличается от резонансной частоты каждого кварцевого резонатора. Блок управления контролирует вибрацию определенной частоты первого и второго зондов, выявляет близость первого зонда и второго зонда друг к другу на основании изменения определенных частот и регулирует привод первого и второго зондов. Технический результат - предотвращение столкновений первого и второго зондов при их перемещении. 4 н. и 11 з.п. ф-лы, 45 ил. |
2526295 патент выдан: опубликован: 20.08.2014 |
|