Исследование или анализ материалов с помощью оптических средств, т.е. с использованием инфракрасных, видимых или ультрафиолетовых лучей: ...определение стандартно допустимых дефектов, проверка – G01N 21/93

Способ основан на преобразовании исходного полутонового изображения исследуемой поверхности в бинарное и вычислении двумерной автокорреляционной функции и ее среднего значения амплитуды переменной составляющей. Для заданной вероятности определяют доверительный интервал, в который попадает найденное значение средней амплитуды, и по нему определяют минимальное и максимальное ее значения. По имеющейся зависимости среднего арифметического отклонения профиля образцовых поверхностей от средней амплитуды переменной составляющей автокорреляционных функций для этих поверхностей определяют среднее значение арифметического отклонения профиля исследуемой поверхности, а также минимальное и максимальное его значения для заданной вероятности их определения. Технический результат - повышение быстродействия и независимость получаемых результатов от интенсивности, требований к стабильности, когерентности источника падающего светового потока, угла его падения на исследуемую поверхность и перпендикулярности оптической оси объектива исследуемой поверхности в широких диапазонах их изменения. 12 ил., 1 табл.