Исследование устройств на герметичность: .с помощью электрических устройств, например путем наблюдения электрических разрядов – G01M 3/40

Изобретение относится к области испытания устройств на герметичность и позволяет оперативно обнаруживать микротечи в вакуумных камерах электрофизических устройств, использующих в качестве теплоносителя или охладителя воду, и направлено на оперативное бесконтактное обнаружение в них микротечей как в процессе обработки внутренней поверхности камеры вспомогательным разрядом, так и непосредственно в штатном режиме работы установки, что обеспечивается за счет того, что при воздействии на стенку камеры плазмы или потока электронов происходит разложение вытекающих паров воды, образуются электронно-возбужденные молекулы гидроксила OH(A² ), спектр излучения которых регистрируется спектральным прибором. Интенсивность излучения пропорциональна скорости натекания, соответственно скорость натекания может быть измерена по величине регистрируемого сигнала. Способ позволяет обнаруживать натекание на уровне 3·10^-5 Па·м³с^-1 . 1 з.п. ф-лы, 1 ил.