Вакуумметры: ..с использованием электрических разрядных приборов с термокатодами – G01L 21/32
Раздел G ФИЗИКА
G01 Измерение
G01L Измерение сил, механического напряжения, крутящего момента, работы, механической энергии, механического коэффициента полезного действия (КПД) или давления газообразных и жидких веществ или сыпучих материалов
G01L 21/00 Вакуумметры
G01L 21/32 ..с использованием электрических разрядных приборов с термокатодами
Патенты в данной категории
| СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ВАКУУМА Изобретение относится к технике измерения глубокого вакуума в диапазоне давлений 10-4 - 10-12 Торри и может быть использовано при создании соответствующих вакуумметров. Данный способ заключается в том, что в полость, в которой проводят измерение вакуума, инжектируют электронный пучок, формируя в нем виртуальный катод, измеряют длительность времени его релаксации, происходящих за счет ионизации остаточного газа, а по длительности времени релаксации вычисляют давление, при этом длительность времени релаксации виртуального катода определяют путем измерения длительности импульса СВЧ-излучения из области виртуального катода. Данное изобретение позволяет обеспечить дистанционность измерения вакуума. 1 ил. | 2175438 патент выдан: опубликован: 27.10.2001 |
|