Вакуумметры: ..с использованием вращающихся элементов, вакуумметры Лэнгмюра – G01L 21/24

Предложенное изобретение относится к области вакуумной техники. Техническим результатом от реализации данного изобретения является расширение диапазона давлений, измеряемых одним вакуумметром, и расширение технологических возможностей измерительной техники путем создания новых приборов, предназначенных для измерения коэффициента покрытия. Предложенный способ измерения остаточного давления газа в исследуемом вакуумном объеме Р и коэффициента покрытия поверхностей объектов, обращенных в вакуум , размещенных в исследуемом объеме, заключается в том, что измеряют силу трения скольжения между двумя подвижными друг относительно друга объектами, помещенными в исследуемый объем, при заданных скорости скольжения и контактной нагрузке, и на основании измеренной силы трения определяют коэффициент трения скольжения между данными объектами, при этом искомый коэффициент покрытия определяют по предварительно построенному тарировочному графику изменения зависимости коэффициента покрытия поверхностей трения объектов, обращенных в вакуум, от коэффициента трения скольжения между данными объектами, а давление остаточного газа в вакуумном объеме Р, определяют расчетным путем на основании определенного по тарировочному графику коэффициента покрытия. 1 ил.

Использование: изобретение относится к вакуумной технике, в частности к приборам для измерения степени вакуума, и может быть использовано при измерении давлений в диапазоне 10⁵ ...10^-10 Па. Сущность: в корпусе расположены первичный и измерительный роторы, на которых установлены фрикционные кольца. Зона контакта фрикционных колец роторов имеет окна, открытые в область вакуума, за счет которых происходит стабилизация толщины равномерного слоя сорбата на поверхности контакта колец. Измерительный ротор подвешен на опорах с малым собственным моментом сопротивления и связан с корпусом c помощью упругого торсиона, угол закручивания которого измеряют с помощью измерительного устройства. Технический результат изобретения заключается в возможности измерения вакуума до 10^-10 Па. 1 ил.