Вакуумметры: ..с использованием резонанса вибрирующего тела – G01L 21/22

Изобретение относится к технике измерения среднего и низкого вакуума и может быть использовано при создании вакуумметров с пределами измерения от 0,1 до 10⁵ Па. Теплоэлектрический вакуумметр содержит аналого-цифровой преобразователь, аналоговый коммутатор, микропроцессор, цифровое индикационное и интерфейсное устройства, при этом в вакуумную камеру помещается два нагреваемых электрическим током терморезистора, каждый из которых включен в одну из двух отдельных мостовых схем, одну ветвь каждой мостовой схемы составляют последовательно включенный терморезистор и соответствующий ему образцовый резистор, а вторую образуют пара постоянных резисторов, в каждую из мостовых схем дополнительно вводится по одному операционному усилителю, входы которого подключены к измерительной диагонали соответствующей мостовой схемы, а выход - к диагонали ее питания, таким образом, чтобы изменение напряжения питания мостовой схемы, вызванное ее разбалансом, приводило к ее уравновешиванию за счет изменения тока разогрева терморезистора, при этом вход аналого-цифрового преобразователя поочередно подключается коммутатором к образцовому резистору каждой мостовой схемы. Технический результат - существенное повышение быстродействия вакуумметра. 1 ил.

Изобретение относится к технике измерения среднего и низкого вакуума и может быть использовано при создании вакуумметров с пределами измерения от 0,1 до 10⁵ Па. Технический результат достигается тем, что измерения мощности рассеяния нагреваемого терморезистора проводятся при двух различных фиксированных температурах терморезистора, превышающих максимально возможную температуру окружающего газа, и по результатам этих измерений вычисляется дифференциальный коэффициент теплового рассеяния, не зависящий от температуры окружающего газа, по величине которого судят о величине измеряемого давления. Вакуумметр содержит терморезистор, измерительный мост, образцовый постоянный резистор, вспомогательные постоянные резисторы, аналоговый коммутатор и операционный усилитель, при этом вакуумметр дополнительно содержит аналого-цифровой преобразователь, микропроцессор, цифровое индикационное устройство и интерфейсное устройство. Технический результат - полное устранение влияния вариаций температуры окружающего газа на показания вакуумметра. 2 н.п. ф-лы, 1 ил.