Вакуумметры: .измеряющие изменение теплопроводности среды, давление которой подлежит измерению – G01L 21/10
Раздел G ФИЗИКА
G01 Измерение
G01L Измерение сил, механического напряжения, крутящего момента, работы, механической энергии, механического коэффициента полезного действия (КПД) или давления газообразных и жидких веществ или сыпучих материалов
G01L 21/00 Вакуумметры
G01L 21/10 .измеряющие изменение теплопроводности среды, давление которой подлежит измерению
Патенты в данной категории
| МЕМБРАННЫЙ ТЕРМОАНЕМОМЕТР
Изобретение относится к микроэлектромеханическим системам для измерения потоков жидкостей и газов и измерения давления. Техническим результатом является уменьшение паразитной теплопередачи и повышение чувствительности термоанемометра. Мембранный термоанемометр содержит нагреватель и термодатчик, газонаполненную герметичную полость кристалла. Газ в полости имеет диапазон значений теплопроводности не выше, чем одна десятая от теплопроводности материала мембраны. Нагреватель и термодатчик расположены внутри этой полости. Термоанемометр может использоваться в качестве датчика давления. 1 з.п. ф-лы, 1 ил. |
2509995 патент выдан: опубликован: 20.03.2014 |
|
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ ГАЗА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ
Изобретения относятся к измерительной технике и могут быть использованы для измерения давления газов в широком диапазоне давлений. Цель: расширение диапазона измеряемых давлений. Сущность изобретения: способ основан на определении интенсивности теплообмена между нагреваемым элементом 4 и газом. Через элемент 4 пропускают электрический ток, измеряют зависимость температуры разогрева эелмента 4 от рассеиваемой мощности и по градуировочной зависимости определяют давление газа. Отличительной особенностью способа является то, что пропускание электрического тока осуществляют в импульсном режиме, при этом длительность импульсов тока tимп выбирают из условия tимп< , где - характерное время установления стационарного распределения температуры в газе при скачкообразном изменении температуры нагреваемого элемента 4. Устройство для осуществления способа содержит кремниевую подложку 1, на которой сформирована диэлектрическая пленка 3 с электрически нагреваемым элементом 4, расположенным на пленке 3, причем в подложке 1 выполнено углубление 2, расположенное под нагреваемым элементом 4. Отличительной особенностью устройства является то, что отношение минимального поперечного размера нагреваемого элемента к суммарной толщине диэлектрической пленки 3 и нагреваемого элемента 4 превышает 50. 2 с.п. ф-лы, 1 ил.
|
2036448 патент выдан: опубликован: 27.05.1995 |
|