Радиационная пирометрия: ..биметаллических элементов – G01J 5/40

Изобретение относится к области создания приемников инфракрасного излучения. В приемнике биматериальная консоль формируется из пленок материалов с разными термическими коэффициентами расширения, поэтому при изменении температуры незакрепленная часть консоли смещается относительно подложки. Считывание этого смещения позволяет проводить визуализацию распределения температуры наблюдаемого объекта. В качестве элемента, считывающего смещение незакрепленной части консоли, применен МДП-транзистор, затвор которого закреплен за консоль, а исток и сток размещены в подложке, за консоль также закреплены электроды для электростатического управления исходным положением консоли относительно подложки. Зазоры между затвором и подложкой и электродами электростатического управления и подложкой меньше, чем между консолью и подложкой. Техническим результатом изобретения является повышение чувствительности приемника и возможность уменьшения площади фоточувствительной ячейки. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.