Измерение объема или массы жидкостей, газов или сыпучих тел путем пропускания их через измерительные устройства непрерывным потоком: .....тонкопленочные устройства – G01F 1/692

Изобретение относится к области микроэлектронных и микромеханических устройств. Датчик содержит кремниевую рамку - основание с мембраной, выполненной из чередующихся слоев двуокиси и нитрида кремния с заданным соотношением толщин слоев. На мембране размещены нагревательный резистор и два платиновых резистора, один из которых является чувствительным элементом (ЧЭ) датчика, а другой служит для температурной коррекции. На рамке - основании размещен платиновый резистор температурной компенсации стационарного режима. Нагревательный резистор выполнен под ЧЭ и изолирован от него слоем Al₂ O₃ или алмазоподобной пленки. В частном случае выполнения в мембране на всю ее длину выполнены сквозные щели шириной более 1 мкм для уменьшения тепловой связи между резисторами. Общая толщина мембраны не превышает 2 мкм. Изобретение обеспечивает существенное (по крайней мере на порядок) снижение энергопотребления при оптимальной механической прочности и температурной стойкости. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.