Способы и устройства для изготовления цепей с активными и реактивными сопротивлениями, резонансных контуров или резонаторов: ...с обеспечением требуемой частоты и(или) температурного коэффициента – H03H 3/10

Изобретение относится к радиоэлектронике, в частности к частотно-избирательным средствам, и может быть использовано в устройствах частотной селекции радиосигнала. Техническим результатом является создание узкополосного фильтра с повышенной температурной стабильностью. Способ повышения температурной стабильности частоты узкополосного фильтра на ПАВ основан на выборе угла среза пьезоэлектрической подложки, оптимального с точки зрения температурной стабильности частоты, при этом при температуре окружающей среды, ниже которой наблюдают уход частоты выше допустимого предела, подложку нагревает резистивный нагреватель, сформированный по тонкопленочной технологии на диэлектрической пластине и приклеенный к пьезоэлектрической подложке, при достижении температуры на несколько градусов выше той, при которой был включен нагреватель, его выключают, при этом нагреватель включают и выключают посредством ключа, управляемого по сигналам с термодатчика, приклеенного на пьезоэлектрическую подложку. Устройство содержит пьезоэлектрическую подложку, на которой выполнена структура из двухмодовых резонаторов, а также резистивный нагреватель, термодатчик, ключ. 2 н.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии изготовления интегральных пьезоэлектрических устройств (фильтры, резонаторы, линии задержки на поверхностных акустических волнах (ПАВ)), которые находят широкое применение в авионике и бортовых системах, телекоммуникации. Технический результат заключается в увеличении выхода годных за счет уменьшения разброса частот в партии резонаторов, в увеличении стабильности резонаторов на ПАВ, в увеличении производительности процесса за счет поштучной обработки нескольких одновременно вакуумируемых резонаторов методом реактивного ионно-лучевого травления (РИЛТ) в газовом разряде предельного фторуглерода. В качестве предельного фторуглерода используется или тетрафторметан (CF₄), или октафторпропан (C₃F₈), или октафторциклобутан (С₄А₈), или октафторциклобутан (G₁₀ F₁₈). 1 табл.

Изобретение относится к области радиоэлектроники, в частности к пьезотехнике, и может быть использовано при изготовлении кварцевых резонаторов, кварцевых фильтров и кварцевых генераторов. Технический результат - увеличение долговременной стабильности частоты. Достигается тем, что способ изготовления пьезоэлектрического устройства включает изготовление пьезоблока со смонтированным в держателе пьезоэлементом с последующей тренировкой и герметизацией. Тренировка проводится циклами, в каждом цикле измеряют частоту пьезоблока, в нормальных условиях при фиксированной температуре, вакуумируют объем с помещенным в него пьезоблоком до давления порядка 1·10 ^-2...1·10^-3 мм рт.ст., нагревают вакуумированный объем до температуры 110±10°С, выдерживают при этой температуре 120 ч, затем понижают температуру и повышают давление вакуумированного объема, далее измеряют частоту пьезоэлектрического устройства и при той же фиксированной температуре нормальных условий определяют изменение частоты пьезоблока за цикл тренировки. Циклы тренировки повторяют до получения изменения частоты за последний цикл тренировки, равного заданной величине нестабильности частоты за срок эксплуатации. Время пребывания пьезоблока вне вакуумированного объема при измерениях частоты не должно превышать 6-8 ч. Изобретение более чем на порядок увеличит долговременную стабильность частоты пьезоэлектрического устройства.