Элементы конструкции: ...отличающиеся по газопоглощающему материалу – H01K 1/56

Изобретение относится к вакуумной технике и представляет собой нанокомпозитную газопоглощающую структуру и способ ее получения, предназначенную для поддержания вакуума в различных приборах, в том числе микроэлектромеханических системах. Нанокомпозитная газопоглощающая структура представляет собой кремниевую подложку с центрами кристаллизации на поверхности, на которых выращен слой активного металла или сплава с развитой поверхностью.Технический результат- повышение сорбционной способности высокоразвитой поверхности газопоглощающей структуры. 2 н.п., 7 ил.

Предложенное изобретение относится к вакуумной технике и представляет собой газопоглощающий материал в виде нанокомпозитной газопоглощающей структуры для поддержания вакуума в различных приборах, в том числе и в микроэлектромеханических системах. Нанокомпозитная газопоглощающая структура представляет собой пористый кремний с порами нанометрового диапазона, которые заполнены газопоглощающим слоем из активного металла или его сплава. Полученная таким образом структура обладает высоким значением эффективной поверхности с высоким значением сорбционной емкости за счет использования пористого кремния с порами нанометрового диапазона и активных металлов и их сплавов с открытой пористостью, размещенных в матрице кремния, что является техническим результатом изобретения. Кроме того, полученная структура исключает образование и осыпание микрочастиц и может быть легко встроена внутрь миниатюрных объемов. 2 ил.