Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления электронных или газоразрядных приборов, разрядных осветительных ламп или их деталей, восстановление материала из электронных или газоразрядных приборов или ламп: .откачка, дегазация, наполнение или очистка баллонов – H01J 9/38

Изобретение относится к технологическому сверхвысоковакуумному оборудованию, применяемому в электронной промышленности для откачки электровакуумных приборов (ЭВП) различного назначения, в частности крупногабаритных клистронов с размером по высоте до 2-х метров и весом более 100 кг, а также приборов других типов. Техническим результат - повышение надежности и качества откачки ЭВП, упрощение конструкции поста и повышение его производительности. Высоковакуумный пост для откачки электровакуумных приборов содержит защитную камеру и вакуумную систему откачки приборов, включающую турбомолекулярный и безмаслянный форвакуумный насосы. Металлические охлаждаемые стенки камеры по вертикали разделены уплотнительной прокладкой на две части, одна из которых подвижна. На основании неподвижной части расположено с возможностью перемещения по трем координатам юстирующее устройство для крепления приборов. Вдоль стенок камеры по вертикали расположены нагреватели с независимыми источниками питания. Вверху камеры расположен коллектор для подачи азота. В основании установлен кран с ручным управлением потоком азота. Вакуумная система откачки подключена к прибору через прогреваемый кран. Вакуумная система откачки прибора может быть выполнена на безмасляном форвакуумном спирального типа насосе. 3 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к электронной промышленности. Технический результат - снижение трудоемкости наполнения инертным газом прибора и повышение надежности и срока службы прибора. Способ откачки и наполнения прибора газом содержит откачку и прогрев прибора, напуск газа в прибор и герметизацию прибора. Вначале проводят форвакуумную откачку камеры до давления 5-10 ^-2 мм рт.ст. и напуск осушенного азота в прибор до давления не более 2 атмосфер, затем откачку прекращают и измеряют вакуум в камере. Если степень вакуума не изменилась, то ведут безмасляную форвакуумную откачку прибора до давления 5·10^-2 мм рт.ст., а затем откачку турбомолекулярным насосом до давления 5·10^-6 мм рт.ст., прибор во время откачки прогревают до температуры не более 100°C. Насосы отсоединяют, выключают и проводят напуск инертного газа до давления не более 1,3 атмосферы. Камеру заполняют азотом и герметизируют прибор холодным отпаем штенгеля. 1 ил.

Изобретение относится к очистке поверхностей различных диэлектрических изделий, в частности химической и медицинской посуды, и может быть использовано в областях науки и техники, где конечный результат зависит от чистоты исходной поверхности используемых изделий. Способ состоит в том, что очищаемые изделия в кассетах из радиопрозрачного материала помещают в вакуумируемый рабочий объем многомодового цилиндрического резонатора, после вакуумирования которого регулируют напуск рабочего газа до появления стационарного СВЧ-разряда в вакуумируемом объеме резонатора, затем уменьшают напуск газа при постоянной откачке до возникновения СВЧ-разряда внутри изделий, после чего напуск газа прекращают и продолжают откачку до срыва разряда внутри изделий. В другом варианте выполнения способа в отличие от первого напуск рабочего газа регулируют до появления стационарного СВЧ-разряда в объеме резонатора, затем напуск газа прекращают и продолжают откачку до срыва разряда внутри вакуумируемого объема. Изобретение является экономичным и простым. 2 н.з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к электронной технике, а конкретно к способам изготовления мощных электровакуумных приборов (ЭВП). Техническим результатом является упрощение способа измерения парциальных давлений газов в мощном электровакуумном приборе, а также обеспечение возможности исследования процессов, происходящих в его вакуумном объеме. Способ включает возбуждение анализируемых газов путем импульсного энергетического воздействия на электроды. Длительность импульсного энергетического воздействия выбирают меньше, чем время пролета любого из анализируемых газов к манометрическому преобразователю, но больше, чем минимальное время возбуждения любого из анализируемых газов. В качестве манометрического преобразователя используют встроенный в ЭВП магнитный электроразрядный насос. В процессе измерения снимают ступенчатую кривую нарастания тока насоса, определяют количество ступеней k на этой кривой. Используя особенности нарастания тока определяют возрастающую последовательность всех значений t_n - времени, прошедшего от момента импульсного энергетического воздействия до середины фронта нарастания n-ой ступени, где n=1, ..., k,. На основе этих данных определяют массовые числа газов, выделяющихся в объем электровакуумного прибора, и изменение их парциальных давлений. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 2 ил., 1 табл.

Изобретение относится к области газоразрядной техники и может быть использовано в производстве газоразрядных индикаторных панелей (ГИП) переменного тока. Создание ГИП переменного тока с диэлектрическим покрытием электродов высокого качества обеспечивается за счет того, что в процессе ее изготовления перед установкой штенгеля на диэлектрической пластине с откачным отверстием на внутреннюю поверхность штенгеля в промежутке между местом его отпаивания от ваккумной системы и верхним краем слоя герметика, соединяющего штенгель с диэлектрической пластиной, наносят слой тугоплавкого материала.