Спектрометры элементарных частиц или разделительные трубки: ...с использованием электростатических анализаторов, например цилиндрических секторов, фильтров Вьена – H01J 49/48

МПКРаздел HH01H01JH01J 49/00H01J 49/48
Раздел H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
H01 Основные элементы электрического оборудования
H01J Электрические газоразрядные и вакуумные электронные приборы и газоразрядные осветительные лампы
H01J 49/00 Спектрометры элементарных частиц или разделительные трубки
H01J 49/48 ...с использованием электростатических анализаторов, например цилиндрических секторов, фильтров Вьена

Патенты в данной категории

СПОСОБ АНАЛИЗА ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ ПО МАССАМ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

Изобретение относится к способам и устройствам, обеспечивающим анализ потоков заряженных частиц по массам с помощью электромагнитных полей, и может быть использовано для определения элементного или изотопного состава плазмы рабочего вещества. Технический результат изобретения - расширение функциональных возможностей масс-анализаторов заряженных частиц - достигается тем, что в фильтре Вина пластины конденсатора, создающие электрическое поле, выполнены не плоскими, а цилиндрическими, что обеспечило возможность фокусировки заряженных частиц в области выходной диафрагмы «секторного фильтра Вина», а входная диафрагма секторного фильтра Вина помещена в точку фокуса энергоанализатора Юза-Рожанского, имеющего радиус оптической оси, равный радиусу оптической оси секторного фильтра Вина, и размещенного перед секторным фильтром Вина. 2 н.п. ф-лы, 3 ил.

2431214
патент выдан:
опубликован: 10.10.2011
ФОКУСИРУЮЩАЯ СИСТЕМА (ВАРИАНТЫ)

Группа изобретений относится к области фокусирующих систем электронной и ионной оптики. Фокусирующая система направлена на прецизионную фокусировку потоков заряженных частиц (электронов, ионов) большой интенсивности при использовании линейно-протяженных источников. Указанная задача достигается тем, что фокусирующая система содержит вакуумную камеру, систему электрических круговых контуров или постоянных магнитов, источник заряженных частиц. Источник заряженных частиц выполнен линейным, а система электрических круговых контуров или постоянных магнитов выполнена с возможностью создания магнитного поля вида: Bz ( ,0)=B0 - , где =0,75-0,85 - горизонтальное расположение линейного источника; либо Bz ( ,0)=В0 - , где =0,15-0,25 - вертикальное расположение линейного источника. Группа изобретений обеспечивает высокоточную фокусировку потоков заряженных частиц (электронов, протонов) большой интенсивности, при использовании линейно-протяженных источников. 2 н.п. ф-лы, 3 ил.

2427056
патент выдан:
опубликован: 20.08.2011
ЭЛЕКТРОННЫЙ МАГНИТНЫЙ СПЕКТРОМЕТР

Изобретение относится к области исследования и анализа материалов радиационными методами и может быть применено для диагностики структуры и состава поверхности и приповерхностных слоев твердых и жидких тел. Электронный магнитный спектрометр содержит вакуумную камеру, энергоанализатор в виде круговых электрических контуров, щелевую диафрагму и детектор электронов. Электрические контуры энергоанализатора выполнены с возможностью создания в вакуумной камере магнитного поля, зависящего от радиуса орбиты электронов в соответствии с выражением Н˜ - , где Н - напряженность магнитного поля, =0,62-0,76. Кроме того, щелевая диафрагма и детектор электронов выполнены с возможностью перемещения в плоскости поперечного сечения энергоанализатора и фиксации в заданном положении. Технический результат: упрощение устройства, снижение его габаритов и веса, расширение функциональных возможностей. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

2338295
патент выдан:
опубликован: 10.11.2008
ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ ЭНЕРГОАНАЛИЗАТОР ДЛЯ ПАРАЛЛЕЛЬНОГО ПОТОКА ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ

Изобретение относится к спектроскопии потоков заряженных частиц и может быть использовано при создании электростатических энергоанализаторов с высокой разрешающей способностью по энергии, высокой чувствительностью, простых в конструктивном исполнении и экономичных, для исследований потоков заряженных частиц в космосе или в плазме. Электростатический энергоанализатор содержит внешний и внутренний цилиндрические коаксиальные электроды, плоский ограничивающий электрод, перпендикулярный оси симметрии, имеющий потенциал внутреннего цилиндрического электрода, с выполненным в нем входным окном, выходное окно, выполненное во внутреннем цилиндрическом электроде, приемную диафрагму и детектор, расположенные вне поля в полости внутреннего цилиндрического электрода, поток заряженных частиц, направленных параллельно оси симметрии цилиндрических электродов и расположенный за выходным окном, ограничивающий плоский электрод, перпендикулярный оси симметрии, имеющий потенциал внутреннего цилиндрического электрода. Технический результат: повышение чувствительности и разрешающей способности анализатора. 5 з.п. ф-лы, 2 ил.

2327246
патент выдан:
опубликован: 20.06.2008
СПЕКТРОМЕТР ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ

Назначение: электронная и ионная спектроскопия поверхности твердых тел или газов. Сущность изобретения: спектрометр состоит из осесимметричного энергоанализатора типа "электростатического зеркала" с осью симметрии Z, плоского позиционно-чувствительного детектора (ПЧД), расположенного перпендикулярно оси Z, и образца, центр области эмиссии которого находится на оси Z. Полезадающие электроды имеют вид двух электрически изолированных друг от друга соосных круговых конических поверхностей с общей вершиной. Входная и выходная кольцевая диафрагмы вырезаны во внутреннем электроде так, что границы их располагаются в плоскостях, перпендикулярных оси Z. Входная диафрагма уже, чем выходная и расположена ближе к общей вершине конусов. Центр источника эмиссии находится на оси, в средней плоскости входной диафрагмы. Воспринимающая поверхность ПЧД находится дальше от вершины конусов, чем любая из плоскостей, ограничивающих размеры диафрагм, в направлении точек пересечения этих плоскостей с осью Z. Устройство позволяет одновременно регистрировать спектры эмиссии частиц, летящих из источника в любом направлении вблизи определенной плоскости, перпендикулярной оси Z. 2 ил.
2076387
патент выдан:
опубликован: 27.03.1997
АНАЛИЗАТОР ЭНЕРГИЙ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ ДЛЯ РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА

Использование: изобретение относится к растровой электронной микроскопии (РЭМ) и предназначено для получения изображений отдельных тонких глубинных слоев исследуемого объекта в режиме регистрации отраженных электронов (ОЭ). Целью изобретения является создание компактного и практичного анализатора энергий ООЭ, располагаемого в непосредственной близости от первичного пучка РЭМ и использующего при своей работе относительно низкие анализирующие напряжения и пригодного таким образом для визуализации отдельных глубинных слоев исследуемого объекта для целей неразрушающей диагностики и тестирования. Сущность изобретения: цель достигается тем, что в анализаторе, содержащем экранирующий корпус, снабженный входной и выходной диафрагмами, и размещенную внутри него аксиально-симметричную систему из двух электродов, один из которых заземлен, а другой подсоединен к источнику высокого напряжения, внутренний заземленный электрод представляет собой соосную с электронным зондом растрового элекронного микроскопа усеченную конусообразную сужающуюся к исследуемому объекту фигуру вращения с вогнутой боковой поверхностью, по оси которой выполнено сквозное отверстие для прохождения электронного зонда, внешний электрод, подсоединенный к источнику высокого напряжения, представляет собой соосный с электронным зондом цилиндр, по оси которого выполнено отверстие, имеющее форму усеченной конусообразной сужающейся к исследуемому объекту фигуры вращения с вогнутой к оси боковой поверхностью, таким образом, внешняя поверхность внутреннего электрода и внутренняя поверхность внешнего образуют канал, обеспечивающий фокусировку приосевой части потока отраженных электронов в соосное с электронным зондом кольцо, расположенное на противоположной по отношению к объекту поверхности корпуса анализатора, при этом входная и выходная диафрагмы выполнены в виде щелей кольцевой формы. 1 ил.
2055414
патент выдан:
опубликован: 27.02.1996
ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ СПЕКТРОМЕТР ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ

Использование: относится к спектрометрии корпускулярных излучений, преимущественно к исследованию энергетических спектров на космических аппаратах. Анализатор образован двумя плоскими конденсаторами. За ними расположен детектор. Повышение его чувствительности достигается путем указания ограничений на его геометрические параметры и выполнения его в виде пакета из одинаковых анализаторов. 1 з.п. ф-лы, 8 ил.
2022395
патент выдан:
опубликован: 30.10.1994
СПОСОБ ИССЛЕДОВАНИЯ СПЕКТРОВ УПРУГОГО ОТРАЖЕНИЯ ЭЛЕКТРОНОВ

Использование: относится к физической электронике и может быть использовано в электронных спектрометрах, предназначенных для записи зависимости коэффициента упругого отражения электронов от их энергии с угловым разрешением порядка нескольких десятых долей градуса и меньше, энергетическим разрешением порядка нескольких десятых долей электронвольта и меньше. Сущность изобретения состоит в том, что первичный поток электронов с энергетическим разбросом Ep= 0,2-0,6 эВ , формируемый электронной пушкой, направляют в изофокусирующую линзовую систему, замедляют (ускоряют) с ее помощью в K1= 1-100 раз по энергии, одновременно фокусируя на исследуемой мишени. Пучок, отраженный от мишени, фокусируют с помощью второй изофокусирующей системы на входной диафрагме энергоанализатора, одновременно ускоряя или замедляя его в K2= 1-100 раз до энергии настройки анализатора Ea . Далее электроны анализируемого потока, прошедшие через энергоанализатор, регистрируются при попадании на коллектор (ПЧД). Энергоанализ электронов производится в диапазоне энергий E порядка величины энергетического разброса в первичном пучке Ep . 1 з.п.фл-ы.
2020647
патент выдан:
опубликован: 30.09.1994
Наверх