Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки: ...электронно- или ионно-оптические устройства для разделения электронов или ионов в соответствии с их энергией – H01J 37/05

Изобретение относится к создающему изображение энергетическому фильтру для электрически заряженных частиц с тороидальным энергетическим анализатором (30), предпочтительно, с полусферическим анализатором, с входной плоскостью (4) и выходной плоскостью (1). Технический результат - повышение разрешения по месту и углу и обеспечение возможности использоваться с большим допустимым углом. Зеркальный элемент (2) для электрически заряженных частиц предусмотрен и расположен так, что заряженные частицы, которые покидают тороидальный энергетический анализатор через выходную плоскость, отражаются зеркальным элементом назад в тороидальный энергетический анализатор так, что заряженные частицы проходят через тороидальный энергетический анализатор еще раз в обратном направлении движения. 2 н. и 13 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к спектрометрии ионной подвижности в газах и масс-спектрометрии. Основой изобретения является разделение ионов из внешнего источника в спектрометре приращения ионной подвижности (СПИП) цилиндрически симметричной геометрии с секционированным внешним электродом, к секциям которого приложены независимо изменяемые напряжения дисперсии и компенсирующие напряжения. Эти напряжения таковы, чтобы обеспечить фокусировку целевых ионов в начальном участке канала дрейфа около середины аналитического промежутка СПИП, их контролируемый сдвиг к внутренней поверхности внешнего электрода в средней части канала дрейфа и управляемое смещение к центральному электроду в конечной части канала дрейфа. Этим обеспечивается преимущественное пропускание целевых ионов с отстройкой от примесных ионов из-за их более вероятной гибели на электродах СПИП. Выжившие ионы под действием электрического поля и малой части газового потока, входящего внутрь капилляра, формирующего сверхзвуковой газовый поток, дрейфуют к этому капилляру и внутри сверхзвукового газового потока, выходящего из этого капилляра, поступают в последующий масс-анализатор. Возможно разделение сигналов от всех ионов, сфокусированных внутри СПИП, на основе регистрации двумерных или четырехмерных распределений интенсивностей потоков зарегистрированных ионов при сканировании напряжений, сдвигающих ионы к электродам СПИП. Изобретение позволяет дополнительное к масс-спектрометрическому разделение ионов альтернативно или в развитие известных методов разделения и структурно-химического анализа. 21 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к корпускулярно-оптическому приборостроению. Энергофильтр (ЭФ) для корпускулярно-оптической системы формирования и передачи изображения содержит расположенные по направлению передачи изображения первый магнитный дефлектор (МД₁) с поворотом оптической оси на 90°, первый блок согласующих линз (БСЛ₁), энергоанализатор (ЭА), второй блок согласующих линз (БСЛ₂), второй магнитный дефлектор (МД₂) и энергетическую диафрагму (ЭД). Входным плечом ЭФ служит первое входное плечо МД₁, первая оптическая ось МД₁ проходит от первого входа к первому выходу МД₁, первое выходное плечо МД₁ и входное плечо ЭА лежат на оси БСЛ₁, выходное плечо ЭА и входное плечо МД₂ лежат на оси БСЛ₂ , выходное плечо МД₂ соосно первому входному плечу МД₁, а ЭД установлена на выходном плече ЭФ. Между МД₁ и МД₂ введен блок направляющих линз (БНЛ). БСЛ₁, БСЛ₂ и БНЛ выполнены на базе осесимметричных линз. МД выполнен с двумя входами, двумя выходами и тремя идентичными оптическими осями, при этом его второй вход расположен на прямой, соосной его первому входному плечу, а второй выход - на прямой, соосной его первому выходному плечу; вторая оптическая ось проходит от второго входа ко второму выходу, а третья оптическая ось - от первого входа ко второму выходу. МД ₁ подключен к источнику тока изменяемой полярности. Выходное плечо МД₂ направлено в сторону МД₁, а второе выходное плечо МД₁ служит выходным плечом ЭФ. В БСЛ ₁ и БСЛ₂ могут быть установлены замедляющая и ускоряющая электростатические линзы соответственно, а ЭА может быть выполнен на базе полусферического конденсатора. Возможно выполнение ЭФ с третьим МД, выход которого связан с первым входом МД₁. МД₂ может иметь оптическое сопряжение с МД₁ через блок транспортирующих линз с возможностью вариации энергетической дисперсии ЭФ и быть выполнен с дополнительным входом и дополнительной оптической осью для освещения образца электронной пушкой по нормали к его поверхности. Технический результат - расширение функций ЭФ за счет возможности вариации его энергетической дисперсии в широком диапазоне. 6 з.п. ф-лы, 2 ил.