Регулируемые резисторы: .содержащие несколько резистивных элементов – H01C 10/16
Раздел H ЭЛЕКТРИЧЕСТВО
H01 Основные элементы электрического оборудования
H01C Резисторы
H01C 10/00 Регулируемые резисторы
H01C 10/16 .содержащие несколько резистивных элементов
Патенты в данной категории
| ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ Использование: изобретение относится к полупроводниковой технике и предназначено для передачи электрического сигнала посредством тепловой энергии. Устройство обеспечивает высокую точность и стабильность работы при малой инерционности. Сущность изобретения: преобразователь состоит из терморезистора 1 и нагревателя 2 с контактными площадками 3 к ним. Терморезистор 1 и нагреватель 2 выполнены из одного и того же материала - монокристаллического кремния - в виде шин и размещены в подложке 4 из высокоомного поликремния. Причем терморезистор 1 и нагреватель 2 изолированы от подложки 4 слоем 5 из диоксида кремния. Поверх монокристаллической шины нагревателя 2 сформирован слой 6 из силицида переходного металла, например Ni, Cr, Ti, Мо. Слой 6 и контактные площадки 3 к нагревателю 2 и терморезистору 1 формируются в едином цикле, например, напылением, без усложнения технологического процесса. 3 ил., 1 табл. | 2074429 патент выдан: опубликован: 27.02.1997 |
|